单晶炉快速冷却装置制造方法及图纸

单晶炉快速冷却装置，包括冷却管及其驱动装置，冷却管设有冷却介质进口和冷却介质出口；在单晶炉运行过程中，将冷却管下降到单晶炉外部、保温层以下；在单晶炉拉晶结束后，冷却管在驱动装置的驱动下升高至单晶炉主室的高温区，通过冷却介质与炉内高温热场部件及环境之间进行热交换；冷却结束后，冷却管受驱动装置的驱动下降至单晶炉外部。本实用新型专利技术快速冷却单晶炉装置结构简单，使用方便，冷却效果好。本实用新型专利技术冷却方法简单易行，可及时对单晶炉主室进行强制冷却，与自然冷却相比，可以缩短2-4h（或30-40%）的停炉冷却时间，提高了单晶炉设备利用率及生产效率，降低了晶体生长成本。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周锐，李侨，李定武，
申请(专利权)人：西安隆基硅材料股份有限公司，无锡隆基硅材料有限公司，宁夏隆基硅材料有限公司，银川隆基硅材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：