一种射线摄影装置，具有：载置对象物的载物台；夹着该载物台而相互相对配置的射线照射单元以及射线检测单元；和运算单元，所述运算单元基于多个投影图像对断层图像进行运算，所述多个投影图像是通过用所述射线检测单元对由所述射线照射单元照射并透过了所述对象物的射线进行检测得到的，所述射线摄影装置的特征在于，具有：合成驱动单元，所述合成驱动单元由两个以上的线性驱动机构的组合构成，利用各线性驱动机构进行的轨道的合成按照以圆轨道为基准的轨道，驱动所述射线照射单元和所述载物台中的至少一个；和控制单元，所述控制单元对该合成驱动单元进行控制，控制单元将每单位步子的移动量设定为正实数的规定值以上的值或者“0”，对各直线驱动机构分别进行控制，且控制单元对各直线驱动机构分别进行控制，将为所述圆轨道的同心圆且具有所述圆轨道一半大小的小圆轨道至为所述圆轨道的同心圆且具有所述圆轨道两倍大小的大圆轨道的范围的轨道作为所述以圆轨道为基准的轨道，驱动所述射线照射单元和所述载物台中的至少一个。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】作为本专利技术的射线摄影装置，在实施例中以X射线检查装置为例进行说明，在对载置对象物的载物台（2）进行驱动时，利用由两个以上的线性驱动机构（X轴/Y轴线性马达（7a）和（7b））的组合构成的载物台驱动机构（7），使通过各线性驱动机构（X轴/Y轴线性马达（7a）和（7b））进行的轨道的合成按照以圆轨道为基准的轨道驱动载物台（2）。此时，由于将每单位步子的移动量的绝对值（驱动量）设定为正实数的规定值以上或者“0”，并对各线性驱动机构（X轴/Y轴线性马达（7a）和（7b））分别进行控制，将为圆轨道的同心圆且具有其一半大小的小圆轨道至为圆轨道的同心圆且具有其两倍大小的大圆轨道的范围的轨道作为以圆轨道为基准的轨道对载物台（2）进行驱动，因此能够以低成本保持驱动精度。【专利说明】射线摄影装置
本专利技术涉及一种基于多个投影图像取得断层图像进行射线摄影的射线摄影装置。
技术介绍
作为射线摄影装置，以X射线检查装置为例进行说明。以往，这种X射线检查装置如图7所示，具有载置对象物O的载物台S、将该载物台S夹于其间并相互相对配置的X射线管T (射线照射单元)以及X射线检测器D (射线检测单元)。载物台S是具有旋转机构的旋转载物台，绕着旋转轴Ax的轴心对旋转载物台进行旋转驱动。另外，作为X射线检查的对象物，有安装基板，多层基板的通孔/图案/焊锡接合部、配置在托盘上的集成电路(IC Jntegrated Circuit)那样的安装前的电子零件、金属等铸件以及录像机那样的铸模品等。特别是，在通过对球栅阵列(BGA)、布线等具有十分微细的结构的对象物断层摄影而进行X射线检查时，需要增大放大率进行摄影。但是，由于要增大放大率就需要使以X射线管为代表的射线源接近对象物进行摄影，因此在对象物是平面上宽阔的形状的情况下，存在X射线管和对象物相互干涉的担忧。其结果是，为了避免干涉，不怎么能提高放大率。因此，如图8所示，配置旋转载物台S，并在相对于对旋转载物台S进行旋转驱动的旋转轴Ax倾斜一定角度(断层角)的轴方向上配置X射线管T和X射线检测器D (例如，参照专利文献I)。在图8的情况下，将X射线管T固定配置，绕着旋转轴Ax的轴心对旋转载物台S进行旋转驱动。在数据取得时，由X射线管T从断层角倾斜的倾斜方向照射并透过了对象物O的X射线被X射线检测器D检测出，基于检测器D的检测取得被投影于X射线检测器D的检测面上的投影图像。通过在每次对旋转载物台S进行旋转驱动时取得投影图像，取得来自多个角度的投影图像。这样一来，其优点在于:通过将X射线管和X射线检测器配置在断层角倾斜的倾斜方向上并从倾斜方向进行摄影，能够使X射线管接近旋转载物台进而接近对象物，使X射线管和对象物相互不干涉地得到高放大率的投影图像。但是，其缺点在于:由于存在驱动系统的自由度的约束，因此难以从任意的位置取得对象物的投影图像，其用途就被限定于CT(计算机断层扫描(Computed Tomography))上。因此，例如如图9所示，已知有用在载物台S上不具有特别的旋转机构的装置来实现从倾斜方向摄影的方法(例如，参照专利文献2、3)。在图9中，通过使载物台S与对象物O—起在垂直于旋转轴Ax的平面(图9中的水平面)上描圆轨道地平行移动(线性移动)，并与载物台S的移动同步地绕着相同旋转轴Ax的轴心对X射线检测器D进行旋转驱动，取得多个投影图像，并基于多个投影图像取得断层图像。这样一来，通过对图9中的摄影时的X射线管、对象物以及X射线检测器分别同步驱动，以使它们的相对几何关系与图8的情况(对象物以及旋转载物台绕着旋转轴Ax的轴心被旋转驱动的情况)一样，从而实现从倾斜方向的摄影。另外，图9的情况与图8不同，能够将载物台S的方向固定为一定的方向。又，关于实现从倾斜方向的摄影的装置结构，除了图9以外还存在有多种，例如对载物台(以及对象物)进行固定，对X射线管以及X射线检测器进行驱动的方法等(例如，参照专利文献4)。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2005-106515号公报专利文献2:日本特开2010-2221号公报专利文献3:日本特开2006-162335号公报专利文献4:专利第4409043号
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，如图9所示，在从倾斜方向进行CT摄影的情况下，在CT专用装置中，相比于载物台旋转的仅一个自由度，驱动系统的自由度较多，各驱动系统的驱动精度就变得很重要。特别是，由于是载物台和X射线检测器相互独立的驱动机构，因此为了得到理想的断层摄影的扫描轨道，需要能够实现高精度的定位、能同步的机构和控制，存在价格很高的问题。具体来说，越使X射线管和载物台接近并以高放大率进行摄影，载物台的驱动精度对投影图像造成的影响就越大。因此，在采用高放大率从倾斜方向进行CT摄影的情况下，需要载物台高精度地描圆轨道动作。为了实现这种载物台的高精度的驱动，需要高刚性的机构和能够进行微小的位置控制(定位)的机构，存在成本变高的问题。又，要使得载物台描圆轨道动作，只要像图10所示的那样，用正交的两个轴(直角坐标系的X轴、Y轴)的驱动系统进行分别的位置控制，形成偏移了 90°相位的正弦波(sin波)即可。图10中的Px是X坐标值，Py是Y坐标值。但是，在摄影时用某旋转角度等间隔地取样的情况下，在sin波的增益变大的位置(图10中的Y坐标的角度Θ在0°、180°、360°附近，X坐标的角度Θ在90°、270°附近)，各轴的驱动量变小，而且需要反转驱动方向。这样一来，由于在驱动方向反转的位置进行微小驱动，因此静摩擦、反冲的影响就会变大，存在难以确保驱动精度的问题。这些问题不仅限于驱动载物台和X射线检测器以从倾斜方向进行CT摄影的情况。例如，即使在驱动X射线管和X射线检测器以从倾斜方向进行CT摄影的情况下，也存在为了采用高放大率实现倾斜CT功能，需要X射线管高精度地描绘圆轨道这样的相同问题。本专利技术正是鉴于这种情况而做出的，其目的在于，提供一种能以低成本保持驱动精度的射线摄影装置。用于解决课题的手段本专利技术为了达成这种目的，采用如下所述的结构。也就是说，本专利技术的射线摄影装置具有:载置对象物的载物台；夹着该载物台而相互相对配置的射线照射单元以及射线检测单元；和运算单元，所述运算单元基于多个投影图像对断层图像进行运算，所述多个投影图像是通过用所述射线检测单元对由所述射线照射单元照射并透过了所述对象物的射线进行检测得到的，所述射线摄影装置的特征在于，具有:合成驱动单元，所述合成驱动单元由两个以上的线性驱动机构的组合构成，利用各线性驱动机构进行的轨道的合成按照以圆轨道为基准的轨道，驱动所述射线照射单元和所述载物台中的至少一个；和控制单元，所述控制单元对该合成驱动单元进行控制，控制单元将每单位步子的移动量设定为正实数的规定值以上的值或者“O”，对各直线驱动机构分别进行控制，且控制单元对各直线驱动机构分别进行控制，将为所述圆轨道的同心圆且具有所述圆轨道一半大小的小圆轨道至为所述圆轨道的同心圆且具有所述圆轨道两倍大小的大圆轨道的范围的轨道作为所述以圆轨道为基准的轨道，驱动所述射线照射单元和所述载物台中的至少一个。在此，本专利技术中的上述断层图像是指包含多个断层图像的三维断层图像，当然，也包含一张断层图像本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种射线摄影装置，具有：载置对象物的载物台；夹着该载物台而相互相对配置的射线照射单元以及射线检测单元；和运算单元，所述运算单元基于多个投影图像对断层图像进行运算，所述多个投影图像是通过用所述射线检测单元对由所述射线照射单元照射并透过了所述对象物的射线进行检测得到的，所述射线摄影装置的特征在于，具有：合成驱动单元，所述合成驱动单元由两个以上的线性驱动机构的组合构成，利用各线性驱动机构进行的轨道的合成按照以圆轨道为基准的轨道，驱动所述射线照射单元和所述载物台中的至少一个；和控制单元，所述控制单元对该合成驱动单元进行控制，控制单元将每单位步子的移动量设定为正实数的规定值以上的值或者“0”，对各直线驱动机构分别进行控制，且控制单元对各直线驱动机构分别进行控制，将为所述圆轨道的同心圆且具有所述圆轨道一半大小的小圆轨道至为所述圆轨道的同心圆且具有所述圆轨道两倍大小的大圆轨道的范围的轨道作为所述以圆轨道为基准的轨道，驱动所述射线照射单元和所述载物台中的至少一个。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：田川雄介，上野功裕，大原博志，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：
国别省市：
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