扩散机台制造技术

一种扩散机台，其特征在于，包含：一炉管，包括一开口与一第一表面，该第一表面位于该开口的外周围；一炉门，包括与该第一表面对应的一第二表面，其中该第二表面可与该第一表面相互接触；及一护盖，设于该第一表面与该第二表面中的至少一者上。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术揭露一种扩散机台。此扩散机台包含一炉管、一炉门及一护盖。炉管包括一开口与一第一表面，此第一表面位于开口的外周围。炉门包括与第一表面对应的一第二表面，其中第二表面可与第一表面相互接触。护盖设于第一表面与第二表面中的至少一者上。【专利说明】扩散机台
本专利技术是有关于一种半导体制程机台，且特别是有关于一种扩散机台。
技术介绍
在一般的扩散制程中，通常是将反应气体导入炉管中，反应气体在炉管中扩散并与基材表面产生所需的反应。然而，由于炉门与炉管的界面的封闭性不足，驱使部分的反应气体流向炉门与炉管的界面，而这些反应气体容易在炉门与炉管的交界处凝结，进而在此交界处形成液体甚至固体的残留。这些制程液体与固体的残留极易腐蚀炉门与炉管的交界处的石英，而使炉门与炉管受损。炉门与炉管口受损后，保养人员需拆卸炉管与炉门。然，由于炉管与炉门的拆卸与安装需耗时超过二个的工作天，甚至若送修炉管，整个的维修时间更超过二周，严重影响生产或实验的进行。因为，炉管与炉门的拆卸与安装实在太过耗时，所以目前在进行扩散机台的维修保养时，并不会拆卸炉管与炉门，而是以通入去离子水并于高温中形成水蒸气来清洗。但是，去离子水的清洗并无法有效去除炉门与炉管口的交界处残留的制程液体与固体，致使炉门与炉管口的交界处仍是容易受到制程液体与固体的腐蚀。
技术实现思路
因此，本专利技术的一方面就是在提供一种扩散机台，其在炉管开口处及/或炉门上设有护盖，可保护炉管与炉门。故，可大幅缩减炉管与炉门的拆卸更换时间，进而可增加产量。本专利技术的另一方面是在提供一种扩散机台，其可有效避免炉管损伤，因此可无需送修炉管或是降低送修的次数，进而可避免生产或实验中断，大幅缩减机台的停机时间。根据本专利技术的上述目的，提出一种扩散机台。此扩散机台包含一炉管、一炉门及一护盖。炉管包括一开口与一第一表面，此第一表面位于开口的外周围。炉门包括与第一表面对应的一第二表面，其中第二表面可与第一表面相互接触。护盖设于第一表面与第二表面中的至少一者上。依据本专利技术的一实施例，上述的护盖设置在第一表面上。依据本专利技术的另一实施例，上述的护盖具有二延伸部，此二延伸部分别垂直第一表面且同向延伸。依据本专利技术的又一实施例，上述的二延伸部分别接触炉管的开口处的内管壁与外管壁。依据本专利技术的再一实施例，上述的护盖配置在第二表面上。依据本专利技术的再一实施例，上述的护盖包括一第一单元与一第二单元，第一单元设置在第一表面上，第二单元设置在第二表面上。依据本专利技术的再一实施例，上述的护盖的材质包括石英。依据本专利技术的再一实施例，上述的炉门闭合于炉管的开口时，第一表面、护盖与第二表面依序彼此接触。依据本专利技术的再一实施例，于上述的炉门闭合于炉管的开口时，第一表面与第二表面相互平行。【专利附图】【附图说明】为让本专利技术的上述和其他目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附附图的说明如下:图1是绘示依照本发 明的一实施方式的一种扩散机台的剖面示意图；图2是绘示图1的扩散机台的局部放大图；图3是绘示依照本专利技术的一实施方式的一种护盖的第一单元的立体图；图4是绘示依照本专利技术的一实施方式的一种护盖的第二单元的立体图。【主要元件符号说明】100:扩散机台102:炉管104:开口106:进气口108:炉门110:第一单元112:第二单元114:护盖116:第一表面118:第二表面120:延伸部122:延伸部124:内管壁126:外管壁128:保护部130:保护部132:延伸部134:卡勾136:反应腔室138:外侧面140:底面【具体实施方式】请参照图1与图2，其是分别绘示依照本专利技术的一实施方式的一种扩散机台的剖面示意图、以及图1的扩散机台的局部放大图。在本实施方式中，扩散机台100主要可包含炉管102、炉门108与护盖114。在一实施例中，扩散机台100可适用以进行太阳能电池的扩散制程。由于扩散制程的反应温度通常相当高，因此炉管102、炉门108与护盖114的材质可包含石英。炉管102呈中空管状体，其内部具有反应腔室136。如图1所示，炉管102的一端具有开口 104，欲进行扩散处理的基材可装载于晶舟上，再从此开口 104进入炉管102的反应腔室136中，来进行扩散处理。炉管102的相对的另一端则具有进气口 106。此进气口106可供气体喷嘴设置，而朝反应腔室136内的待处理基材上方喷射反应气体。如图2所示，炉管102的开口 104的外周围更包含第一表面116。炉门108可活动地设置在炉管102的开口 104上，以开启或关闭炉管102的开口104。如图2所示，炉门108包含第二表面118。其中，炉门108的第二表面118与炉管102的第一表面116对应，且随着炉门108的关与开，第二表面118可与炉管102的第一表面116相互靠近接触或远离。在一实施例中，如图2所示，护盖114可包含第一单元110与第二单元112。第一单元110与第二单元112的材质可均包含石英。第一单元110可呈环状而设置在炉管102的第一表面116上，以完全遮蔽住第一表面116。请一并参照图3,配合炉管102的第一表面116的形状，第一单元110可为圆环状结构。在一示范实施例中，如图2所示，护盖114的第一单元110可包含保护部128、以及二延伸部120与122。此二延伸部120与122可分别设置于保护部128的相对二侧边，且可垂直保护部128并朝同向延伸。因此，在此示范实施例中，保护部128以及二延伸部120与122所构成的第一单元110的剖面形状可呈类C字型结构。当护盖114的第一单元110设置在炉管102的第一表面116上时，保护部128可与炉管102的第一表面116接触,而盖住整个第一表面116。另一方面,延伸部120与122则分别接触炉管102的开口 104处的外管壁126与内管壁124。在一例子中，此时第一单元110的延伸部120与122均可垂直炉管102的第一表面116。请再次参照图2，第二单元112可呈环状而设置在炉门108的第二表面118上，以完全遮蔽住第二表面118，或是仅遮蔽在与该第一表面116有接触的范围处。请一并参照图4，配合炉门108的第二表面118的形状，第二单元112可为圆环状结构。在一示范实施例中，如图2所示，护盖114的第二单元112可包含保护部130、多个延伸部132与卡勾134。在第二单元112中，保护部130与卡勾134分别设在延伸部132的相对二侧边上，且朝同向延伸，其中卡勾134只凸伸于延伸部132的侧边一小段距离。当护盖114的第二单元112设置在炉门108的第二表面118上时，保护部130可与炉门108的第二表面118接触，而盖住整个第二表面118。另外，延伸部132接触炉门108的外侧面138，而卡勾134则接触炉门108的底面140，以更稳固地将整个第二单元112设置在炉门108上。在另一实施例中，第二单元112可不包含卡勾134，而可利用保护部130与延伸部132和炉门108之间的紧配合，来将第二单元112稳固地设置在炉门108上，如图4所示。请再次参照图2，当炉门108闭合在炉管102的开口 104时，炉管102的第一表面116、护盖114的第一单元110及第二单元112、与炉门108的第二表面11本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扩散机台，其特征在于，包含：一炉管，包括一开口与一第一表面，该第一表面位于该开口的外周围；一炉门，包括与该第一表面对应的一第二表面，其中该第二表面可与该第一表面相互接触；及一护盖，设于该第一表面与该第二表面中的至少一者上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邱世维，
申请(专利权)人：茂迪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：