一种制备超长一维单晶硅纳米/微米结构的方法技术

技术编号:9933249 阅读:127 留言:0更新日期:2014-04-17 23:00
一种制备超长一维单晶硅纳米/微米结构的方法,包括如下步骤:1)将前驱体放入第一容器中,并将第一容器放入反应器的高温区;取催化剂放入第二容器中,并将第二容器放入反应器的低温区,使反应器为真空状态;2)加热反应器,自然冷却至室温,然后向所述反应器的腔内充入空气,打开反应器,在所述第二容器中得到超长一维单晶硅纳米/微米结构。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种制备超长一维单晶硅纳米/微米结构的方法,包括如下步骤:1)将前驱体放入第一容器中,并将第一容器放入反应器的高温区;取催化剂放入第二容器中,并将第二容器放入反应器的低温区,使反应器为真空状态;2)加热反应器,自然冷却至室温,然后向所述反应器的腔内充入空气,打开反应器,在所述第二容器中得到超长一维单晶硅纳米/微米结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张晓宏张丙昌王辉
申请(专利权)人:中国科学院理化技术研究所
类型:发明
国别省市:

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