一种三自由度精密定位平台制造技术

本发明专利技术公开了一种三自由度精密定位平台，包括基座和设置在其内部的动平台，基座和动平台通过三个沿动平台的周向均布的铰链放大机构和三个板形柔性铰链机构连接；每个铰链放大机构的一端与基座柔性连接，另一端和动平台柔性连接，中部设有一输入端，输入端与压电陶瓷驱动器连接；每个板形柔性铰链机构包括一块弧形柔性板和垂直固定在其上的1～5块径向柔性板。本发明专利技术能够实现两平动一转动，结构简单紧凑；利用铰链放大机构进行位移放大和力的传递，使得板形柔性铰链机构发生弹性变形，从而带动动平台运动，实现微纳米位移的输出，输出位移较大，轴向刚度较高；可作为纳米微操作系统的辅助定位平台实现微量进给和精密定位。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种三自由度精密定位平台，包括基座和设置在其内部的动平台，基座和动平台通过三个沿动平台的周向均布的铰链放大机构和三个板形柔性铰链机构连接；每个铰链放大机构的一端与基座柔性连接，另一端和动平台柔性连接，中部设有一输入端，输入端与压电陶瓷驱动器连接；每个板形柔性铰链机构包括一块弧形柔性板和垂直固定在其上的1～5块径向柔性板。本专利技术能够实现两平动一转动，结构简单紧凑；利用铰链放大机构进行位移放大和力的传递，使得板形柔性铰链机构发生弹性变形，从而带动动平台运动，实现微纳米位移的输出，输出位移较大，轴向刚度较高；可作为纳米微操作系统的辅助定位平台实现微量进给和精密定位。【专利说明】一种三自由度精密定位平台
本专利技术属于微纳米
，具体为一种可应用于微操作系统的两平动一转动三自由度柔性精密定位工作平台。
技术介绍
随着科技的发展，在超精密加工、微电子工程、生物工程、纳米技术等领域都迫切需要亚微米级甚至纳米级的精密定位技术。最典型的应用在于纳米器件的制造生产。纳米器件包括纳米电子器件和纳米光电器件，可广泛应用于电子学、光学、微机械装置、新型计算机等，是当今新材料与新器件研究领域中最富有活力的研究领域，也是元器件小型化、智能化、高集成化等的主流发展方向。纳米器件由于具有潜在的巨大市场和国防价值，使得其设计和制造的方法、途径、工艺等成为众多科学家、政府和大型企业研究和投资的热点。所以大力发展精密定位技术是大势所趋，是创新科技进步的具体体现。但是，目前微纳米级精密定位平台主要以两自由度平动居多，即使设计的三自由度精密定位平台，也具有结构复杂、行程小、轴向承载能力较低等缺陷，难以满足实际应用的需求。
技术实现思路
本专利技术为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种结构简单紧凑、行程较大、轴向承载能力较高的一种三自由度精密定位平台。本专利技术为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是:一种三自由度精密定位平台，包括基座和设置在其内部的动平台，所述基座和所述动平台通过三个沿所述动平台的周向均布的铰链放大机构和三个板形柔性铰链机构连接；每个所述铰链放大机构的一端与所述基座柔性连接，另一端和所述动平台柔性连接，中部设有一输入端，铰链放大机构的输入端通过柔性铰链和球型接头与压电陶瓷驱动器连接，所述压电陶瓷驱动器安装在所述基座上，所述压电陶瓷驱动器沿所述动平台的径向设置，在所述压电陶瓷驱动器的输出端上固接有所述球型接头，所述球型接头与所述柔性铰链相切接触，所述柔性铰链固定在所述铰链放大机构的输入端上；每个所述板形柔性铰链机构包括一块弧形柔性板和垂直固定在其上的I?5块径向柔性板，所述弧形柔性板沿所述动平台的周向设置，所述弧形柔性板的两端固定在所述基座上，所述径向柔性板的内端固定在所述动平台上；三个所述板形柔性铰链机构和三个所述压电陶瓷驱动器间隔均布在所述动平台的周向上。所述动平台为圆盘形。每块所述弧形柔性板上固定有2?3块均布的所述径向柔性板。在所述基座上设有定位孔。本专利技术具有的优点和积极效果是:通过采用将圆盘形动平台设置在基座内部，且将二者通过间隔均匀设置的三个铰链放大机构和三个板形柔性铰链机构连接在一起，并在铰链放大机构上设置输入端的结构，实现两平动一转动，结构简单紧凑；利用铰链放大机构进行位移放大和力的传递，使得板形柔性铰链机构发生弹性变形，从而带动动平台运动，实现微纳米位移的输出，输出位移较大，轴向刚度较高；可作为纳米微操作系统的辅助定位平台实现微量进给和精密定位。为纳米器件的制造生产提供了有效的辅助手段，具有非常重要的应用意义。【专利附图】【附图说明】图1为本专利技术的主视图；图2为本专利技术的立体图。图中:1 一压电陶瓷驱动器，2—球型接头，3—预紧螺栓，4一柔性铰链，5—铰链放大机构，6—板形柔性铰链，6-1、弧形柔性板，6-2、径向柔性板，7—动平台，8—定位孔，9—基座。【具体实施方式】为能进一步了解本专利技术的
技术实现思路
、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下:请参阅图1和图2，一种三自由度精密定位平台，包括基座9和设置在其内部的动平台7，所述基座和所述动平台7通过三个沿所述动平台的周向均布的铰链放大机构5和三个板形柔性铰链机构6连接；每个所述铰链放大机构5的一端与所述基座9柔性连接，另一端和所述动平台7柔性连接，中部设有一输入端，铰链放大机构的输入端通过柔性铰链4和球型接头5与压电陶瓷驱动器I连接，所述压电陶瓷驱动器I安装在所述基座9上，所述压电陶瓷驱动器I沿所述动平台7的径向设置，在所述压电陶瓷驱动器I的输出端上固接有所述球型接头2，所述球型接头2与所述柔性铰链4相切接触，所述柔性铰链4固定在所述铰链放大机构5的输入端上；每个所述板形柔性铰链机构6包括一块弧形柔性板6-1和垂直固定在其上的I?5块径向柔性板6-2，所述弧形柔性板6-1沿所述动平台7的周向设置，所述弧形柔性板6-1的两端固定在所述基座9上，所述径向柔性板6-2的内端固定在所述动平台7上，所述径向柔性板6-2的外端固定在弧形柔性板6-1上；三个所述板形柔性铰链机构6和三个所述压电陶瓷驱动器I间隔均布在所述动平台7的周向上。为了使结构更加紧凑，所述动平台7最好采用圆盘形的。由于径向柔性板6-2的个数与圆盘形动平台7的有效行程和轴向承载能力息息相关，径向柔性板6-2个数的增多将提高动平台7的承载能力，但是其有效行程会一定程度的减小；而径向柔性板6-2个数的减少，虽然能增大动平台7的有效行程，但是其轴向承载能力却会一定程度地降低。所以，综合考虑动平台7的有效行程和承载能力，较优的方案为:每块所述弧形柔性板6-1上固定有2?3块均布的所述径向柔性板6-2。在本实施例中，在所述基座9上设有定位孔8。在所述基座9上以动平台7的中心为圆心的同一圆周上设置三个凹槽，且两两夹角分别为120°。三个压电陶瓷驱动器I分别安装在三个凹槽中，压电陶瓷驱动器I设有预紧螺栓3，预紧螺栓3安装在基座9上，用于保证压电陶瓷驱动器I与基座9和铰链放大机构5不分离，压电陶瓷驱动器I的输出端通过螺纹连接球形接头2，球形接头顶在柔性铰链4弧形侧壁上，二者相切，以实现赫兹接触。铰链放大机构5是根据杠杆放大原理设计的，两端分别与基座9和动平台7实现柔性连接。在铰链放大机构上设计有柔性铰链4，与连接在压电陶瓷驱动器I输出端上的球形接头2相接触，实现传递输入位移和力的过渡与缓冲作用。板形柔性铰链机构6由4个柔性板组成，其中弧形柔性板6-1的两端与基座9连接，3块径向柔性板6-2的一端连接在柔性板I上，另一端连接在动平台7上，三个板形柔性铰链机构6分别布置在以动平台7的中心为圆心的同一圆周上，两两夹角为120°，且与压电陶瓷驱动器I的夹角为60°。动平台7通过三个铰链放大机构5和三个板形柔性铰链机构6与基座9实现连接，提高了动平台7轴向承载能力。本专利技术所实现的工作过程:由计算机输出的控制电压信号，驱使压电陶瓷驱动器I按照指定的运动轨迹产生伸缩运动，经过柔性铰链4的过渡和缓冲，作用在铰链放大机构5上，使得输入位移得到放大，通过克服板形柔性铰链机构6的弹性力，达到使动平台7产生位移输出的效果。通过控制三个压电陶瓷驱动器I的伸长量，可以实现动平台7不同本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三自由度精密定位平台，其特征在于，包括基座和设置在其内部的动平台，所述基座和所述动平台通过三个沿所述动平台的周向均布的铰链放大机构和三个板形柔性铰链机构连接；每个所述铰链放大机构的一端与所述基座柔性连接，另一端和所述动平台柔性连接，中部设有一输入端，铰链放大机构的输入端通过柔性铰链和球型接头与压电陶瓷驱动器连接，所述压电陶瓷驱动器安装在所述基座上，所述压电陶瓷驱动器沿所述动平台的径向设置，在所述压电陶瓷驱动器的输出端上固接有所述球型接头，所述球型接头与所述柔性铰链相切接触，所述柔性铰链固定在所述铰链放大机构的输入端上；每个所述板形柔性铰链机构包括一块弧形柔性板和垂直固定在其上的1～5块径向柔性板，所述弧形柔性板沿所述动平台的周向设置，所述弧形柔性板的两端固定在所述基座上，所述径向柔性板的内端固定在所述动平台上；三个所述板形柔性铰链机构和三个所述压电陶瓷驱动器间隔均布在所述动平台的周向上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡坤海，田延岭，张大卫，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：天津;12