一种电子元件检测设备及其检测方法技术

本发明专利技术公开一种电子元件检测设备及其检测方法，包括：移载梭车的进料承置部位于进料区，而装填部分待测电子元件，且出料承置部位于测试区，而测完电子元件被搬至出料承置部上；出料承置部移入出料区而部分测完电子元件被搬至出料承载盘；进料承置部移入进料区而填满进料承置部；出料承置部移入出料区内而清空出料承置部，此时进料承置部上全部的待测电子元件搬运至检测装置进行测试。本发明专利技术充分利用检测时间、以及搬运过程的空档，而多批次的装填及清空电子元件，以减少各装置的闲置时间，进而大幅提高检测效率。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开，包括：移载梭车的进料承置部位于进料区，而装填部分待测电子元件，且出料承置部位于测试区，而测完电子元件被搬至出料承置部上；出料承置部移入出料区而部分测完电子元件被搬至出料承载盘；进料承置部移入进料区而填满进料承置部；出料承置部移入出料区内而清空出料承置部，此时进料承置部上全部的待测电子元件搬运至检测装置进行测试。本专利技术充分利用检测时间、以及搬运过程的空档，而多批次的装填及清空电子元件，以减少各装置的闲置时间，进而大幅提高检测效率。【专利说明】
本专利技术涉及，尤指一种适用于测试积体电路良麻的检测设备与检测方法。
技术介绍
随着半导体制造产业蓬勃发展的需求，除了追求制造设备的产能效率外，半导体测试设备厂商也极力地朝向提升测试效率的趋势发展。然而，半导体测试设备制造商于提升测试效率的目标下，不外乎通过包括缩短测试时间、减少闲置时间、以及减少晶片的移载次数或移载时间等手段来进行调整。再者，上述众多因素中唯一最难以调控的大概就是测试时间的长短，因为测试时间关乎于测试的项目以及测试的流程。然而，一旦测试的项目、以及测试的流程经确定后，测试时间几乎也无可调整了。因此，半导体测试设备厂商大多朝向减少测试装置的闲置时间、以及减少晶片的移载次数或移载时间等方向着手改良。举例而言，例如中华民国公告第1372135号「电子元件测试分类机的测试装置」一案所载，其主要目的也是为了缩短测试装置闲置的等待时间。其中，该专利技术专利主要是因针对测试时间较短的电子元件，其通过增加每次移载的数量，来减少测试站待机时间，进而增加机器产能利用率。然而，当针对测试时间较长的测试方式时，如系统级测试(SYSTEM LEVEL TEST),而上述专利技术专利所载的技术手段则无法适用，一旦采用上述技术则反而会造成晶片取放装置、以及移载装置闲置的等待时间过长，严重影响产能利用率。
技术实现思路
本专利技术的主要目的是提供，其适用于测试时间较长的电子元件，能显著减少包括测试装置、取放装置、以及移载梭车的闲置等待时间，进而有效提升广能效率。为达成上述目的，本专利技术一种电子元件检测方法，包括以下步骤:首先，一移载梭车移动使一移载梭车的一进料承置部位于一进料区内，一进料取放装置自一进料承载盘搬运至少一待测电子元件至一移载梭车的一进料承置部，且移载梭车的出料承置部位于一测试区内，至少一取放臂将一检测装置上的至少一测完电子元件搬至出料承置部上；接着，移载梭车移动，使移载梭车的出料承置部移入一出料区内，一出料取放装置自出料承置部搬出至少一测完电子元件至一出料承载盘；再者，移载梭车移动使进料承置部移入进料区内，进料取放装置自进料承载盘搬运至少一待测电子元件而填满进料承置部；接着，移载梭车移动使出料承置部移入出料区内，出料取放装置搬出至少一测完电子元件而清空出料承置部；以及，进料承置部位于测试区内，至少一取放臂将进料承置部上全部的待测电子元件搬运至检测装置进行测试。据此，本专利技术的移载梭车利用进料、出料取放装置于每次搬运过程的时间空档、以及检测装置上进行检测的时间空档，往返于进料区、测试区、及出料区间，进行多批次装填或清空电子元件，可充分利用并大幅降低进料、出料取放装置、以及取放臂的闲置等待时间，进而显着提升产能之测试效率。此外，本专利技术一种电子元件检测方法可通过多批次的搬运待测、或测完电子元件，以因应需较长测试时间的检测态样，进而减少设备需求，降低设备成本。较佳的是，本专利技术一种电子元件检测方法的进料承置部所承载的待测电子元件数量、及出料承置部所承载的测完电子元件数量可分别为进料取放装置、及出料取放装置所搬运的电子元件数量的倍数。换言之，进料取放装置可分批次搬运填满进料承置部，且出料取放装置可分批次搬运清空出料承置部中的电子元件，进而减少设备需求，降低设备成本。另外，本专利技术一种电子元件检测方法可使用二取放臂，其可包括一第一取放臂、及一第二取放臂；其中，第一取放臂、及第二取放臂交替执行将进料承置部上全部的待测电子元件搬运至一检测装置进行测试、以及将检测装置上的至少一测完电子元件搬至出料承置部上。此外，在本专利技术所提供的电子元件检测方法中，当第一取放臂执行将进料承置部上全部的待测电子元件搬运至一检测装置进行测试时，该第二取放臂则执行将检测装置上的至少一测完电子元件搬至出料承置部上。据此，本专利技术可设置多个取放臂，以提高测试效率，减少等待移载电子元件的闲置时间。本专利技术一种电子元件检测设备，主要包括一进料区、一出料区、一测试区、以及一移载梭车。其中，进料区内设置有一进料承载盘、及一进料取放装置；出料区内设置有一出料承载盘、及一出料取放装置；测试区内设置有一检测装置、及至少一取放臂；移载梭车移动于进料区、出料区、以及测试区之间。其中，测试区位于进料区与出料区之间；而进料取放装置于进料区内，并用以搬运至少一待测电子元件于进料承载盘与移载梭车之间；出料取放装置于出料区内，并用于搬运至少一测完电子元件于出料承载盘与移载梭车之间。另夕卜，至少一取放臂于测试区内，并用于搬运至少一待测电子元件、及至少一测完电子元件于检测装置与移载梭车之间。本专利技术电子元件检测设备的移载梭车可包括一进料承置部、及一出料承置部，而进料承置部移动于进料区与测试区之间，出料承置部移动于出料区与测试区之间。换言之，本专利技术可采用单一移载梭车往返于进料区、出料区、及测试区之间，据此可更提高移载效率、以及降低设备成本。此外，进料承置部、及出料承置部所分别承载的待测电子元件、及测完电子元件的数量分别为进料取放装置、及出料取放装置所能搬运数量的倍数。再且，本专利技术电子元件检测设备中，进料取放装置可于搬运至少一待测电子元件至进料承置部，且至少一取放臂将检测装置上全部的测完电子元件移载至移载梭车的出料承置部后；移载梭车移动而出料承置部移入出料区内，且出料取放装置搬出至少一测完电子元件至出料承载盘。接着，移载梭车移动而进料承置部可移入进料区内，而进料取放装置搬运至少一待测电子元件而填满进料承置部。再者，移载梭车移动而出料承置部移入出料区内，而出料取放装置搬出至少一测完电子元件而清空出料承置部，且至少一取放臂将进料承置部上全部的待测电子元件移载至检测装置进行测试。简单的说，本专利技术的电子元件检测设备为配合较久的电子元件检测时间，可利用每一批电子元件的检测时间的空档、以及进出料取放装置于每次搬运过程的空档，采用多批次的装填进料承置部、以及多批次的清空出料承置部，以减少各装置间的闲置等待时间，大幅提闻检测效率。较佳的是，本专利技术电子元件检测设备的至少一取放臂可包括一第一取放臂、及一第二取放臂，而第一取放臂、及第二取放臂可交替地运行将进料承置部上全部的待测电子元件移载至检测装置进行测试、以及将检测装置上全部的测完电子元件移载至移载梭车的出料承置部。据此，本专利技术可采用二取放臂交替地移载电子元件进行测试，同样可显着减少检测装置的闲置时间，提高测试效率。此外，本专利技术电子元件检测设备的进料区、测试区、以及出料区大致呈一直线配置，藉此可缩短并简单化移载梭车的移动路径，以提高检测效率。【专利附图】【附图说明】图1为本专利技术一较佳实施例的设备俯视示意图。图2为本专利技术一较佳实施例的设备前视示意图。图3为本专利技术一较佳实施例的测试流程图。其中:2 移本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子元件检测方法，其特征在于，包括以下步骤：(A)一移载梭车的一进料承置部位于一进料区内，一进料取放装置自一进料承载盘搬运至少一待测电子元件至该移载梭车的该进料承置部；该移载梭车的一出料承置部位于一测试区内，至少一取放臂将该测试区内的一检测装置上的至少一测完电子元件搬至该出料承置部上；(B)该移载梭车移动，使该出料承置部移入一出料区内，一出料取放装置自该出料承置部搬出该至少一测完电子元件至一出料承载盘；(C)该移载梭车移动使该进料承置部移入该进料区内，该进料取放装置自该进料承载盘搬运该至少一待测电子元件而填满该进料承置部；以及(D)该移载梭车移动使该出料承置部移入该出料区内，该出料取放装置搬出该至少一测完电子元件而清空该出料承置部；该进料承置部位于该测试区内，该至少一取放臂将该进料承置部上全部的该待测电子元件搬运至该检测装置进行测试。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林汉勳，蔡译庆，
申请(专利权)人：致茂电子苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：