【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种电化铝坩埚蒸镀装置。它包括内部的坩埚（1）和外部的玻璃丝布（4），所述坩埚（1）与玻璃丝布（4）之间从内而外依次设置有保护碳毡（2）和瓷外锅（3），所述玻璃丝布（4）外侧设置有感应线圈（5）。本技术一种电化铝坩埚蒸镀装置，此装置可适用于金属如铝、铜、金、银和锡的镀覆，以及非金属如硫化砷和氧化硅的镀覆，适用范围广；跟电极加热镀覆相比，由于蒸发在坩埚内进行，溶解充分，因此镀覆过程中不会产生跳点和溅点，从而保证了镀覆的质量；此装置镀覆的蒸镀层较厚，金属感强，稳定性好。【专利说明】电化铝坩埚蒸镀装置
本技术涉及蒸镀装置，尤其涉及一种用于电化铝的坩埚蒸镀装置，属于镀覆
。
技术介绍
在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之附着在在工件或基片表面的过程。现有的用于电化铝的蒸镀装置是利用电极加热氮化硼，然后送丝至氮化硼上使其熔化，最后进行镀覆，采用此装置存在以下不足：①用电极加热时，蒸发基材熔化后变软，挺度不够，故在送丝过程中会被送丝管卡住，此时需停机重新处理，造成损耗，进而影响生产效率此装置只能用于镀铝，适用范围小；③此装置蒸镀的镀层较薄（仅为450埃左右），且金属感较差；④在镀覆过程中，经常有跳点和溅点出现，会形成空洞，影响镀覆质量。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述不足，提供了一种电化铝坩埚蒸镀装置，此装置镀覆质量好，可蒸镀基材的种类多，同时蒸镀层厚，金属感强，稳定性好。本技术的目的是这样实现的：一种电化铝坩埚蒸镀装置，其特点是：所述装置包括...
【技术保护点】
一种电化铝坩埚蒸镀装置，其特征在于：所述装置包括内部的坩埚（1）和外部的玻璃丝布（4），所述坩埚（1）与玻璃丝布（4）之间从内而外依次设置有保护碳毡（2）和瓷外锅（3），所述玻璃丝布（4）外侧设置有感应线圈（5）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：何松武，钱耕建，
申请(专利权)人：江阴新光镭射包装材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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