一种单头激光蚀刻机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单头激光蚀刻机，包括有机柜底座和工作平台，所述机柜底座设置有控制系统，所述工作平台上方设置有立柱、光源控制系统、CCD视觉系统、XY轴工作滑台和Z轴升降系统，所述光源控制系统包括有激光发生器、扩束镜、振镜和场镜，所述扩束镜位于激光发生器与振镜之间，所述激光发生器、扩束镜和振镜的水平轴线重合；所述Z轴升降系统与XY轴工作滑台交叉呈十字状，所述Z轴升降系统上方水平安装有真空吸附平台；所述振镜、场镜、CCD视觉系统和Z轴升降系统的中心轴线平行或重合。本实用新型专利技术采用激光制程代替黄光制程，通过电脑制图将图纸直接导入蚀刻机中，无需制版以及昂贵的光刻模版，设备投入的成本较低，加工程序简单快捷。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种单头激光蚀刻机，包括有机柜底座和工作平台，所述机柜底座设置有控制系统，所述工作平台上方设置有立柱、光源控制系统、CCD视觉系统、XY轴工作滑台和Z轴升降系统，所述光源控制系统包括有激光发生器、扩束镜、振镜和场镜，所述扩束镜位于激光发生器与振镜之间，所述激光发生器、扩束镜和振镜的水平轴线重合；所述Z轴升降系统与XY轴工作滑台交叉呈十字状，所述Z轴升降系统上方水平安装有真空吸附平台；所述振镜、场镜、CCD视觉系统和Z轴升降系统的中心轴线平行或重合。本技术采用激光制程代替黄光制程，通过电脑制图将图纸直接导入蚀刻机中，无需制版以及昂贵的光刻模版，设备投入的成本较低，加工程序简单快捷。【专利说明】一种单头激光蚀刻机
本技术涉及激光蚀刻机
，尤其涉及一种单头激光蚀刻机。
技术介绍
电容屏是一种利用电容触控技术来工作的四层复合玻璃屏，广泛应用于手机等电子设备。在电容屏的网版印刷过程中，主要采用的是银浆丝印蚀刻和ITO膜蚀刻。但目前针对电容屏的网版印刷的设备中，无论是在银浆丝印或ITO膜的蚀刻中，一般均采用黄光制程，即需要通过电脑设计电路图，然后将图纸导出、出菲林，待菲林出完后再进行丝印或曝光、显影等，步骤较多，每次机型变更都需要重新出具菲林，变更麻烦且周期较长。由于在黄光制程的限制下，目前电容屏的网版印刷的设备只能单独进行银浆丝印或ITO膜的蚀亥IJ，耗材较多，成本投入太高，严重制约了电子行业的发展。
技术实现思路
本技术的目的在于针对要解决的技术问题而提供一种单头激光蚀刻机，该单头激光蚀刻机的精度稳定性高，可同时实现ITO膜和银浆的激光蚀刻，生产效率及良品率闻。为了解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案:一种单头激光蚀刻机，包括有机柜底座和工作平台，所述工作平台位于机柜底座上方，所述机柜底座设置有控制系统，所述工作平台上方设置有立柱、光源控制系统、CCD视觉系统、XY轴工作滑台和Z轴升降系统，所述光源控制系统、CCD视觉系统、XY轴工作滑台和Z轴升降系统分别与控制系统电连接，所述立柱垂直安装于工作平台，所述立柱的上表面与工作平台平行，所述光源控制系统`包括有激光发生器、扩束镜、振镜和场镜，所述激光发生器和振镜安装于立柱上表面，所述扩束镜位于激光发生器与振镜之间，所述场镜位于振镜下方，所述激光发生器、扩束镜和振镜的水平轴线重合；所述XY轴工作滑台安装于工作平台，所述Z轴升降系统设置于XY轴工作滑台上方，所述Z轴升降系统与XY轴工作滑台交叉呈十字状，所述Z轴升降系统上方水平安装有真空吸附平台；所述CCD视觉系统安装于场镜下前方，所述场镜与真空吸附平台之间设置有间距，所述振镜、场镜、CCD视觉系统和Z轴升降系统的中心轴线平行或重合。进一步地，还包括有操作控制箱，所述操作控制箱与控制系统电连接。其中，所述场镜安装有抽风罩，所述抽风罩的出风口正对真空吸附平台，所述抽风罩的进风口与抽风机连接。其中，所述立柱的上表面设置有光路底板，所述光源控制系统通过固定架可拆卸安装于光路底板。其中，所述机柜底座上方配合设置有机罩，所述机罩安装有升降门，所述升降门与控制系统电连接。其中，所述升降门设置有安全光栅。其中，所述机罩旁侧设置有摇臂式控制台，所述操作控制箱安装于摇臂式控制台。其中，所述机罩安装有报警灯，所述报警灯与控制系统电连接。其中，所述机柜底座开设有多个百叶窗。其中，所述机柜底座设置有多个支撑脚。本技术的有益效果在于:本技术所述的单头激光蚀刻机采用激光制程代替黄光制程，通过电脑制图将图纸直接导入蚀刻机中，可以同时实现ITO膜和银浆的激光蚀刻，有效提高了加工效率及产品的良品率；本技术通过CCD视觉系统进行定位，支持多靶位，可任意设定抓靶功能，解决了因网版变形导致激光蚀刻偏位的现象，精度稳定性高；本技术采用柔性化生产，无需制版以及昂贵的光刻模板，可有效减少耗材，使得设备投入的成本较低，加工程序简单快捷。【专利附图】【附图说明】 图1为本技术一种单头激光蚀刻机的结构示意图。图2为本技术一种单头激光蚀刻机隐藏了机罩的结构示意图。图1和图2中包括有:I——机柜底座2——工作平台3—立柱41—激光发生器42——扩束镜43——振镜44——场镜5——CCD视觉系统6——XY轴工作滑台7——Z轴升降系统8—真空吸附平台10—抽风罩11——光路底板12——机罩121—升降门13—摇臂式控制台14——百叶窗15——支撑脚。【具体实施方式】参见图1和图2，以下结合附图对本技术进行详细的描述。本技术所述的一种单头激光蚀刻机，包括有机柜底座I和工作平台2，所述工作平台2位于机柜底座I上方，所述机柜底座I设置有控制系统，所述工作平台2上方设置有立柱3、光源控制系统、CCD视觉系统5、XY轴工作滑台6和Z轴升降系统7，所述光源控制系统、CCD视觉系统5、XY轴工作滑台6和Z轴升降系统7分别与控制系统电连接，所述立柱3垂直安装于工作平台2，所述立柱3的上表面与工作平台2平行，所述光源控制系统包括有激光发生器41、扩束镜42、振镜43和场镜44,所述激光发生器41和振镜43安装于立柱3上表面,所述扩束镜42位于激光发生器41与振镜43之间,所述场镜44位于振镜43下方，所述激光发生器41、扩束镜42和振镜43的水平轴线重合；所述XY轴工作滑台6安装于工作平台2，所述Z轴升降系统7设置于XY轴工作滑台6上方，所述Z轴升降系统7与XY轴工作滑台6交叉呈十字状，所述Z轴升降系统7上方水平安装有真空吸附平台8 ;所述CCD视觉系统5安装于场镜44下前方，所述场镜44与真空吸附平台8之间设置有间距，所述振镜43、场镜44、CXD视觉系统5和Z轴升降系统7的中心轴线平行或重合；进一步地，还包括有操作控制箱，所述操作控制箱与控制系统电连接。在本技术中，将电脑完成的制程图纸直接通过操作控制箱导入，启动本技术并通过操作控制箱进行调整即可进行加工。本技术所述的工作平台2和立柱3均采用高精度的大理石制成，所述XY轴工作滑台6采用直线电机驱动，速度快，加速度大，并通过光栅实现全闭环控制，满足大幅面激光蚀刻的需要，可有效保证本技术精度的稳定性；在本技术工作时，激光发生器41产生的光束经与之同轴的扩束镜42聚焦到振镜43，经振镜43偏转后与振镜43同轴的场镜44将激光的焦点聚束，从而对真空吸附平台8上的工件进行加工；由于所述Z轴升降系统7与XY轴工作滑台6交叉呈十字状，可将真空吸附平台8与XY轴工作滑台6连接，并根据不同工件的厚度或不同场镜44的焦点调整加工工件表面与激光焦点重合，充分发挥激光的焦点的能量；而本技术采用的真空吸附平台8替代了传统的机械式夹具，能快速高效的将加工薄膜紧紧的吸附在该平台上，方便快捷，有利于加工的稳定性。本技术所述的单头激光蚀刻机采用激光制程代替黄光制程，通过电脑制图将图纸直接导入蚀刻机中，可以同时实现ITO膜和银浆的激光蚀刻，有效提高了加工效率及产品的良品率；本技术通过CCD视觉系统5定位，支持多靶位，可任意设定抓靶功能，解决了因网版变形导致激光蚀刻偏位的现象，精度稳定性高；本技术采用柔性化生产，无需制版以及昂贵的光刻本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单头激光蚀刻机，包括有机柜底座和工作平台，所述工作平台位于机柜底座上方，所述机柜底座设置有控制系统，所述工作平台上方设置有立柱、光源控制系统、CCD视觉系统、XY轴工作滑台和Z轴升降系统，所述光源控制系统、CCD视觉系统、XY轴工作滑台和Z轴升降系统分别与控制系统电连接，其特征在于：所述立柱垂直安装于工作平台，所述立柱的上表面与工作平台平行，所述光源控制系统包括有激光发生器、扩束镜、振镜和场镜，所述激光发生器和振镜安装于立柱上表面，所述扩束镜位于激光发生器与振镜之间，所述场镜位于振镜下方，所述激光发生器、扩束镜和振镜的水平轴线重合；所述XY轴工作滑台安装于工作平台，所述Z轴升降系统设置于XY轴工作滑台上方，所述Z轴升降系统与XY轴工作滑台交叉呈十字状，所述Z轴升降系统上方水平安装有真空吸附平台；所述CCD视觉系统安装于场镜下前方，所述场镜与真空吸附平台之间设置有间距，所述振镜、场镜、CCD视觉系统和Z轴升降系统的中心轴线平行或重合。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陶雄兵，
申请(专利权)人：东莞市盛雄激光设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44