光学模块、电子设备以及驱动方法技术

本发明专利技术提供光学模块、电子设备以及驱动方法。其中，光学模块10具备波长可变干涉滤波器5以及控制静电致动器的间隙控制部15，上述波长可变干涉滤波器5具有固定反射膜、隔着反射膜间间隙与固定反射膜相对的可动反射膜以及改变反射膜间间隙的静电致动器。而且，间隙控制部15基于根据测定对象波长设定的次数控制静电致动器，改变反射膜间间隙。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具备波长可变干涉滤波器的光学模块、电子设备及驱动方法。
技术介绍
现有技术中，已知有使用波长可变干涉滤波器测定光谱的装置(例如，参照专利文献I)。该专利文献I所记载的装置是具备使设置有反射膜的基板彼此相对并在基板间设置有压电元件的法布里-帕罗干涉部(波长可变干涉滤波器)、以及对压电元件施加电压的控制电路的可变干涉装置(光学模块)。在该光学模块中，通过对压电元件施加电压改变基板间的间隔，从而改变透过波长可变干涉滤波器的光的波长。然而，在上述的专利文献I中，在测定对象波长区域中，设波长可变干涉滤波器的峰值波长的次数m为相同值(m=l)，取出各波长的光。然而，在将次数m固定为低次的情况下，存在随着作为测定对象的波长的不同，反射膜间的间隙变得过小的技术问题。例如，在通过波长可变干涉滤波器的2次峰值取出目标波长400nm的光的情况下，可以将反射膜间的间隙设定为340nm，为了通过I次峰值取出目标波长400nm的光，需要将反射膜间的间隙缩小至140nm。在这种情况下，例如如果在反射膜间存在目标间隙以上的尺寸的异物等时，存在在反射膜间夹有异物，引起波长可变干涉滤波器动作不良，无法取出目标波长的光这种技术问题。在先技术文献专利文献专利文献:日本专利特开平1-94312号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供能够抑制由异物引起的动作不良、且实现提高间隙控制的精度的光学模块、电子设备及驱动方法。本专利技术的光学模块的特征在于，具备第一反射膜，使入射光的一部分透过一部分反射；第二反射膜，与上述第一反射膜相对配置、使入射光的一部分透过一部分反射；间隙变更部，改变上述第一反射膜及上述第二反射膜之间的间隙的大小；以及间隙控制部，控制上述间隙变更部，上述间隙控制部根据测定对象波长、以及对两个以上的波长区域分别设定的光谱的次数控制上述间隙变更部。在本专利技术中，取得通过第一反射膜及第二反射膜取出的光中的、与测定对象波长相应的次数的峰值波长的光。即，如果对由彼此相对的第一反射膜及第二反射膜构成的法布里-帕罗标准具入射光，则根据下述式(I)取出规定波长的光。数学式Imλ = 2ndcos Θ …(I)`在上述式(I)中，λ是取出的光的波长，Θ是入射光的入射角，η是第一反射膜及第二反射膜之间的介质的折射率，d是第一反射膜及第二反射膜的距离(间隙)，m是次数，相当于本专利技术的光谱的次数。此外，实际上，由于第一反射膜和第二反射膜的膜厚，以及光学特性，支撑这些第一反射膜及第二反射膜的基板等因素，存在通过第一反射膜及第二反射膜取出的光的波长λ与式(I)稍有偏尚的情况。如式(I)所示，通过第一反射膜及第二反射膜取出的光，形成具有与次数m (m=l，2，3，4…)对应的多个峰值波长的光谱。此处，在本专利技术中，间隙控制部根据对两个以上的波长区域的每一个分别设定的次数m，设定第一反射膜及第二反射膜的间隙(即式(I)中的d)。例如,在对波长区域400nm~600nm设定次数m=2,对波长区域620nm~700设定次数m=l的情况下，在取出400nm的光作为测定对象波长的情况下，间隙控制部控制间隙变更部，控制为能够通过2次峰值波长取出400nm的光的间隙d=340nm。另外，在取出700nm的光作为测定对象波长的情况下，间隙控制部控制间隙变更部，控制为能够通过I次峰值波长取出700nm的光的间隙d=296nm。在这样的本专利技术中，以与测定对象波长相应的次数的峰值波长取出该测定对象波长的光，因而例如在取出短波长的光的情况下，将次数设定为较高而通过高次峰值波长取出该短波长的光，由此能够增大第一反射膜及第二反射膜之间的间隙，从而能够降低在反射膜间夹有异物、无法取出需要的波长的光的不良现象。另一方面，将次数固定为高次时，针对测定对象波长区域的反射膜间的间隙变化量增大。例如，在通过波长可变干涉滤波器的I次峰值依次取出400nm~700nm的测定对象波长区域的各波长的光的情况下，使反射膜间的间隙在140nm~295nm之间变化即可。与此相对，在通过波长可变干涉滤波器的2次峰值依次取出上述测定对象波长区域的各波长的光的情况下，需要使反射膜间的间隙在340nm~645nm之间变化，与使用I次峰值的情况相比，为约两倍的驱动量。这样，存在如下技术问题:当间隙的驱动量增大时，难以通过间隙变更部进行间隙控制，间隙控制的精度下降，在例如根据取出的光进行光谱分析等测定的情况下，测定精度也下降。`与此相对，在本专利技术中，通过低次峰值波长取出光时，在夹有异物的风险低的情况下，能够将次数m设定得较低。因此，与仅使用例如高次的次数的情况相比，能够抑制因间隙变更部引起的间隙的驱动量增大，能够提高间隙变更部的间隙控制的精度。如上所示，在本专利技术中，能够改善因间隙过小而导致的动作不良，及使用高次峰值波长的情况下间隙变更部中的间隙控制的精度下降这两者。在本专利技术的光学模块中优选，上述间隙变更部通过施加电压改变上述间隙的大小，上述间隙控制部具备存储部，用于存储按照每一个上述测定对象波长记录针对测定对象波长的、对上述间隙变更部施加的电压的ν-λ数据，上述ν-λ数据是将上述测定对象波长、与对应于用于将该测定对象波长的光作为上述设定的次数的峰值波长而取出的上述间隙的电压进行关联的数据，上述间隙控制部根据上述ν-λ数据对上述间隙变更部施加与上述测定对象波长对应的上述电压。在本专利技术中，间隙控制部根据V-λ数据，对间隙变更部施加针对测定对象波长的电压即可，能够实现结构及处理的简化。在本专利技术的光学模块中优选，上述间隙变更部通过施加电压改变上述间隙的大小，上述间隙控制部具备存储部，用于存储针对测定对象波长的、对上述间隙变更部施加的电压，按照上述每一个测定对象波长记录的V-λ数据，上述V-λ数据，是上述测定对象波长、与对应于用于将该测定对象波长的光作为各次数的峰值波长而取出的上述间隙的电压的关系，上述间隙控制部选择与上述测定对象波长对应的次数，并对上述间隙变更部施加与上述选择的次数对应的上述电压。在本专利技术中，间隙控制部根据测定对象波长选择次数。因此，作为V-λ数据，针对各测定对象波长电压值使用按照每一个该测定对象波长的各峰值波长记录的数据。这种情况下，能够通过间隙控制部选择取出测定对象波长的峰值波长。因此，例如即使在对于既定的测定对象波长、作为初始设定设定为通过I次峰值波长取出的情况下，也能够将取出该测定对象波长的次数变更为2次峰值波长。这种情况下，例如，在与规定的测定对象波长对应地控制间隙时，在反射膜间夹有异物的情况下，也能够以通过更高次峰值波长取出该测定对象波长的方式进行控制。另外，在间隙间隔过小、间隙控制变得困难的情况下，也能够使用高次峰值波长，由此，能够提高间隙控制的精度。在本专利技术的光学模块中优选，测定波长区域包括第一波长区域，以及作为波长比上述第一波长区域长的波长区域的第二波长区域，对属于上述第一波长区域的上述测定对象波长设定的上述次数，比对属于上述第二波长区域的上述测定对象波长设定的上述次数闻。S卩，在本专利技术中，对于取出属于短波长侧的第一波长区域的测定对象波长的情况，以通过高次峰值波长取出该测定对象波长的方式控制间隙，对于取出属于长波长侧的第二波长区域的测定对象波长的情况，以通过低次峰值波长本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学模块，其特征在于，具备：第一反射膜，使入射光的一部分透过一部分反射；第二反射膜，与所述第一反射膜相对配置、使入射光的一部分透过一部分反射；以及间隙控制部，改变所述第一反射膜及所述第二反射膜之间的间隙的大小，所述间隙控制部根据针对构成测定对象波长区域的两个以上波长区域组分别设定的透过光谱的次数，控制与所述测定对象波长对应的所述间隙的大小。

【技术特征摘要】
2012.09.12 JP 2012-2002181.一种光学模块，其特征在于， 具备: 第一反射膜，使入射光的一部分透过一部分反射； 第二反射膜，与所述第一反射膜相对配置、使入射光的一部分透过一部分反射；以及 间隙控制部，改变所述第一反射膜及所述第二反射膜之间的间隙的大小， 所述间隙控制部根据针对构成测定对象波长区域的两个以上波长区域组分别设定的透过光谱的次数，控制与所述测定对象波长对应的所述间隙的大小。2.根据权利要求1所述的光学模块，其特征在于， 具有间隙变更部，所述间隙变更部通过施加电压而改变所述间隙的大小， 所述间隙控制部具备存储部，存储按照每一个所述测定对象波长记录针对所述测定对象波长的、对所述间隙变更部施加的所述电压的V-λ数据， 所述V- λ数据是将所述测定对象波长与对应于用于将所述测定对象波长的光作为设定的所述次数的峰值波长取出的所述间隙的所述电压进行关联的数据， 所述间隙控制部根据所述V- λ数据对所述间隙变更部施加与所述测定对象波长对应的所述电压。3.根据权利要求1所述的光学模块，其特征在于， 具有间隙变更部，所述间隙变更部通过施加电压改变所述间隙的大小， 所述间隙控制部具备存储部，存 储按照每一个所述测定对象波长记录针对所述测定对象波长的、对所述间隙变更部施加的所述电压的V-λ数据， 所述V-λ数据是所述测定对象波长与对应于用于将所述测定对象波长的光作为各所述次数的峰值波长取出的所述间隙的电压的关系， 所述间隙控制部选择与所述测定对象波长对应的所述次数，并对所述间隙变更部施加与选择的所述次数对应的所述电压。4.根据权利要求1所述的光学模块，其特征在于， 测定波长区域包括第一波长区域、以及作为波长比所述第一波长区域长的波长区域的第二波长区域， 对属于所述第一波长区域的所述测定对象波长设定的所述次数比对属于所述第二波长区域的所述测定对象波长设定的所述次数高。5.根据权利要求4所述的光学模块,其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：松下友纪，广久保望，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：