一种薄膜机上的钟罩的真空测漏工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种操作简单，可保证钟罩的质量的薄膜机上的钟罩的真空测漏工装，包括底板、外挡板、下密封圈、中密封圈、中挡板、上密封圈及上挡板。底板的表面中央开设一充气孔，该底板的上表面开设一内环槽和一外环槽；外挡板为中空板且内径与底板上的外环槽的外径适配，该外挡板安装在底板的上表面；下密封圈和中密封圈一一对应地嵌入外环槽和内环槽中；中挡板的表面中央开设一通孔且外径在外环槽的内径和内环槽的外径之间，该中挡板的上表面开设一上环槽，该中挡板安装在底板的上表面；上密封圈嵌入中挡板的上环槽中；上挡板为一圆环板且外径和内径一一对应地与中挡板的外径和上环槽的内径适配，该上挡板安装在中挡板的上表面。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜机上的钟罩的真空测漏工装
本技术涉及一种真空测漏工装，尤其涉及一种薄膜机上的钟罩的真空测漏工装。
技术介绍
薄膜机属于半导体产品的一种生产设备，是专用于薄膜的制造设备，钟罩为薄膜机中的关键核心零件之一，其工作环境处于无尘高度真空条件下，薄膜机本身对于漏真空的控制有着极高的要求。由于钟罩的工作环境是处在无尘真空条件下的，对其连接外部的工作面上的密封要求是严格的，绝对不能有一丝漏真空。正因为如此，所以在钟罩每次使用完后需要进行清洗，并且在清洗完后还要进行漏真空测试。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种薄膜机上的钟罩的真空测漏工装，它操作简单容易，可保证钟罩的质量。本技术的目的是这样实现的:一种薄膜机上的钟罩的真空测漏工装，包括一底板、一外挡板、一下密封圈、中密封圈、一中挡板、上密封圈及一上挡板，其中，所述底板呈矩形且表面中央开设一充气孔，该底板的上表面与所述充气孔同轴地开设一内环槽和一外环槽；所述外挡板为一外形呈与所述底板的外形适配的中空板，该外挡板的内径与所述底板上的外环槽的外径适配，该外挡板与所述底板上的外环槽同轴地安装在所述底板的上表 面；所述下密封圈和中密封圈--对应地嵌入所述底板的外环槽和内环槽中；所述中挡板为一圆形板并且表面中央开设一与所述底板上的充气孔相同的通孔，该中挡板的外径在所述底板上的外环槽的内径和内环槽的外径之间，该中挡板的上表面与所述通孔同轴地开设一与所述底板上的内环槽对应的上环槽，该中挡板与所述底板上的充气孔同轴地安装在所述底板的上表面；所述上密封圈嵌入所述中挡板的上环槽中；所述上挡板为一圆环板且外径和内径一一对应地与所述中挡板的外径和所述上环槽的内径适配，该上挡板与所述中挡板同轴地安装在所述中挡板的上表面。上述的薄膜机上的钟罩的真空测漏工装，其中，所述底板的两条相对边的中部上表面至所述内环槽的外缘之间分别开设一凹槽；所述外挡板由四块结构相同的圆弧三角板构成，每块圆弧三角板的内圆弧长在其内圆周长的四分之一与五分之一之间，该四块圆弧三角板中心对称地且以错开所述底板上的凹槽的方式安装在所述底板的上表面；所述中挡板的外圆面对应所述底板上的凹槽对称地开设两个凹槽，该中挡板以其凹槽与所述底板上的凹槽对应的方式安装在底板的上表面；所述上挡板由两块结构相同的圆弧环板构成，每块圆弧环板的内圆弧长在其内圆周长的二分之一与五分之二之间，该两块圆弧环板对称地且以错开所述中挡板上的凹槽的方式安装在所述中挡板的上表面。上述的薄膜机上的钟罩的真空测漏工装，其中，真空测漏工装还包括一通过接口密封圈插装在所述底板的充气孔和所述中挡板的通孔之间的充气接口。上述的薄膜机上的钟罩的真空测漏工装，其中，所述底板和中挡板由铝板制作；所述外挡板和上挡板由PP塑料制作。本技术的薄膜机上的钟罩的真空测漏工装，具有以下特点:1.操作简单容易，仅需要将放到工装上即可，工装与钟罩的结合方式清楚且简单，可有效避免作业人员因为步骤繁多所造成的错误机率；2.治具保养维护容易，由于工装主体采用铝板制作，坚固且耐用，保养仅需要定期清洁外观，以保持工装干净即可；3.结构合理，能适应薄膜机中的8寸规格的钟罩和12寸规格的钟罩，可保证钟罩的质量。【附图说明】图1为本技术的薄膜机上的钟罩的真空测漏工装的立体图；图2为本技术的薄膜机上的钟罩的真空测漏工装的爆炸图；图3为本技术的薄膜机上的钟罩的真空测漏工装的使用状态图。【具体实施方式】为了能更好地对本技术的技术方案进行理解，下面通过具体的实施例并结合附图对本技术进行详细的说明。如图1和图2所示，本技术的薄膜机上的钟罩的真空测漏工装，包括一底板7、一外挡板6、一下密封圈5、中密封圈4、一中挡板3、上密封圈2、一上挡板1、一充气接口 9和接口密封圈8，其中:底板7由铝板制作且呈矩形，底板7的表面中央开设一充气孔70，该底板7的上表面与充气孔70同轴地开设一内环槽71和一外环槽72 ；外挡板6由PP塑料制作且为一外形呈与底板7的外形适配的中空板，该外挡板6的内径与底板7上的外环槽72的外径适配，该外挡板6与底板7上的外环槽72同轴地安装在底板7的上表面；下密封圈5和中密封圈4 对应地嵌入底板7的外环槽72和内环槽71中；中挡板3由铝板制作且为一圆形板，中挡板3的表面中央开设一与底板7上的充气孔70相同的通孔30，该中挡板3的外径在底板7上的外环槽72的内径和内环槽71的外径之间，该中挡板3的上表面与通孔30同轴地开设一与底板7上的内环槽71对应的上环槽31，该中挡板3与底板7上的充气孔70同轴地安装在底板7的上表面；上密封圈2嵌入中挡板3的上环槽31中；上挡板I由PP塑料制作且为一圆环板，上挡板I的外径和内径一一对应地与中挡板3的外径和上环槽31的内径适配，该上挡板I与中挡板3同轴地安装在中挡板3的上表面；充气接口 9通过接口密封圈8插装在底板7的充气孔70和中挡板3的通孔30之间。在一个最佳的实施例中,底板7最好为正方形,并且为了方便下密封圈5和中密封圈4的拿取，底板7的两条相对边的中部上表面至内环槽71的外缘之间分别开设一凹槽73 ;外挡板6由四块结构相同的圆弧三角板构成,每块圆弧三角板的内圆弧长在其内圆周长的四分之一与五分之一之间，该四块圆弧三角板中心对称地并且以错开底板7上的凹槽73方式安装在底板7的上表面；为了上挡板I的拿取，中挡板3的外圆面对应底板7上的凹槽73对称地开设两个凹槽32，该中挡板3以其凹槽32与底板7上的凹槽73对应的方式安装在底板7的上表面；上挡板I由两块结构相同的圆弧环板构成，每块圆弧环板的内圆弧长在其内圆周长的二分之一与五分之二之间，该两块圆弧环板对称地且以错开中挡板3上的凹槽32的方式安装在中挡板3的上表面。薄膜机上的钟罩有12吋规格和8吋规格，这两种规格的钟罩的开口端有径向的外翻边。本技术的薄膜机上的钟罩的真空测漏工装适用于这两种规格的钟罩，其中，下密封圈5的内径与规格为12吋的钟罩的外翻边的外径适配，中密封圈4的内径和上密封圈2的内径与规格为8吋的钟罩的外翻边的外径适配。本技术的薄膜机上的钟罩的真空测漏工装10在使用时(如图3所示)，若测试规格为12吋的钟罩时，先将钟罩20的开口端嵌入由外挡板6和中挡板构成的环槽内，使钟罩20定位，接着将一端分别与真空泵40和氦气测漏机50相连的管道60的另一端连接在底板7的下端的充气接口 9上，再启动真空泵40，将由工装10与钟罩20形成的密闭空间内部抽至真空，当真空值达到中度真空范围(133.322Pa?0.133Pa)，其中，真空值达到13.33Pa以下为理想数值,然后启动氦气测漏机50并在钟罩20外喷入氦气,观察氦气测漏仪50的反应，如果发现漏真空，氦气测漏仪50会发出警告声响，并变动真空灵敏值表示漏真空状况。若测试规格为8吋的钟罩时，将钟罩的开口端置于上挡板I的内圆中，上挡板I可以保证钟罩定位，其余测试方式与12吋的钟罩测试手段相同。以上实施例仅供说明本技术之用，而非对本技术的限制，有关
的技术人员，在不脱离本技术的精神和范围的情况下，还可以作出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本技术的范本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜机上的钟罩的真空测漏工装，包括一底板、一外挡板、一下密封圈、中密封圈、一中挡板、上密封圈及一上挡板，其特征在于，所述底板呈矩形且表面中央开设一充气孔，该底板的上表面与所述充气孔同轴地开设一内环槽和一外环槽；所述外挡板为一外形呈与所述底板的外形适配的中空板，该外挡板的内径与所述底板上的外环槽的外径适配，该外挡板与所述底板上的外环槽同轴地安装在所述底板的上表面；所述下密封圈和中密封圈一一对应地嵌入所述底板的外环槽和内环槽中；所述中挡板为一圆形板并且表面中央开设一与所述底板上的充气孔相同的通孔，该中挡板的外径在所述底板上的外环槽的内径和内环槽的外径之间，该中挡板的上表面与所述通孔同轴地开设一与所述底板上的内环槽对应的上环槽，该中挡板与所述底板上的充气孔同轴地安装在所述底板的上表面；所述上密封圈嵌入所述中挡板的上环槽中；所述上挡板为一圆环板且外径和内径一一对应地与所述中挡板的外径和所述上环槽的内径适配，该上挡板与所述中挡板同轴地安装在所述中挡板的上表面。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜机上的钟罩的真空测漏工装，包括一底板、一外挡板、一下密封圈、中密封圈、一中挡板、上密封圈及一上挡板，其特征在于， 所述底板呈矩形且表面中央开设一充气孔，该底板的上表面与所述充气孔同轴地开设一内环槽和一外环槽； 所述外挡板为一外形呈与所述底板的外形适配的中空板，该外挡板的内径与所述底板上的外环槽的外径适配，该外挡板与所述底板上的外环槽同轴地安装在所述底板的上表面； 所述下密封圈和中密封圈 对应地嵌入所述底板的外环槽和内环槽中； 所述中挡板为一圆形板并且表面中央开设一与所述底板上的充气孔相同的通孔，该中挡板的外径在所述底板上的外环槽的内径和内环槽的外径之间，该中挡板的上表面与所述通孔同轴地开设一与所述底板上的内环槽对应的上环槽，该中挡板与所述底板上的充气孔同轴地安装在所述底板的上表面； 所述上密封圈嵌入所述中挡板的上环槽中； 所述上挡板为一圆环板且外径和内径一一对应地与所述中挡板的外径和所述上环槽的内径适配，该上挡板与所述中挡板同轴地安装在所述中挡板的上表面。2.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨苏圣，
申请(专利权)人：上海科秉电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31