本发明专利技术公开了一种半导体扩散设备的石英舟升降装置，包括驱动机构、支撑件、双直线导轨、滚珠丝杠、连接板和承载石英舟的升降臂。支撑件横截面为U形，双直线导轨直立地对称设置在支撑件两侧，滚珠丝杠设置在支撑件中部，其由驱动机构驱动转动；连接板安装于滚珠丝杠且与双直线导轨滑动连接，随着滚珠丝杠的转动沿双直线轨道的方向上升或下降；升降臂与连接板固定连接，由连接板的运动带动上升或下降。本发明专利技术的石英舟升降装置结构紧凑，受力合理且维护方便。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种半导体扩散设备的石英舟升降装置，包括驱动机构、支撑件、双直线导轨、滚珠丝杠、连接板和承载石英舟的升降臂。支撑件横截面为U形，双直线导轨直立地对称设置在支撑件两侧，滚珠丝杠设置在支撑件中部，其由驱动机构驱动转动；连接板安装于滚珠丝杠且与双直线导轨滑动连接，随着滚珠丝杠的转动沿双直线轨道的方向上升或下降；升降臂与连接板固定连接，由连接板的运动带动上升或下降。本专利技术的石英舟升降装置结构紧凑，受力合理且维护方便。【专利说明】半导体扩散设备的石英舟升降装置
本专利技术涉及硅片加工
，特别涉及一种半导体扩散设备的石英舟的升降装置。
技术介绍
半导体扩散设备是集成电路制造的重要工艺设备，是一种要求能长时间连续工作，具有优异的控温精度及良好的可靠性、稳定性的自动控制设备，适用于集成电路制造过程中各种氧化、退火和薄膜生长等工艺。在半导体扩散设备内部安装有各种零部件，如石英舟升降机构、热交换器、传硅片机械手、过滤器、自动炉门等，而考虑到设备经济性，对半导体扩散设备整体尺寸有具体要求，其内部空间尺寸有限，如何在有限的空间内，在保证功能满足、结构合理的前提下，尽可能使结构紧凑、占据空间小，便成为了对立式氧化炉内部零部件的新的要求。现有的半导体扩散设备的石英舟升降装置，结构不够紧凑，占用设备微环境内的空间较大。同时，升降装置的维护不够方便，例如拆装同步带轮等，需要对整个装置进行整体拆卸才能完成。同时，半导体扩散设备工艺需要洁净度较高的环境，现有的升降装置在运动过程中容易产生摩擦，石英舟进出炉的运动机构自动化程度低、污染工艺环境，无法满足工艺的需求。因此，有必要提出一种结构紧凑，自动化程度高的石英舟升降装置。
技术实现思路
本专利技术的主要目的旨在提供一种结构优化的石英舟升降装置，在运行灵活精确，平稳可靠，且保证工艺效果的前提下使其具备高刚性、高可靠性、结构紧凑和占据空间小等优点。为达成上述目的，本专利技术提供一种半导体扩散设备的石英舟升降装置，具体包含以下部分:驱动机构；支撑件，其横截面为U形；双直线导轨，直立地对称设置在所述支撑件两侧；由所述驱动机构驱动转动的滚珠丝杠，其设置于所述支撑件中部；连接板，安装于所述滚珠丝杠，随所述滚珠丝杠的转动沿所述双直线轨道的方向上升或下降；以及承载石英舟的升降臂，与所述连接板固定连接，由所述连接板的运动带动上升或下降。优选地,所述驱动机构通过传动机构驱动所述滚珠丝杠转动,所述传动机构包括同步带轮和同步带，所述滚珠丝杠与所述同步带轮同轴连接，所述驱动机构通过所述同步带驱动所述同步带轮。优选地，所述传动机构设于底部安装盒内，所述底部安装盒用于支撑所述驱动机构及所述支撑件和双直线导轨。优选地，所述驱动机构包括伺服电机和减速机；所述减速机的输入端与所述伺服电机相连，输出端与所述传动机构相连。 优选地，所述双直线导轨设置在所述支撑件的外侧。优选地，所述石英舟升降装置还包括滚珠丝杠护罩，其设置于所述支撑件的开口侧，用于遮蔽所述滚珠丝杠。优选地，所述石英舟升降装置还包括制动器，设于所述滚珠丝杠的顶部，用于在所述同步带断裂时防止所述滚珠丝杠下滑。优选地，所述石英舟升降装置还包括用于对所述同步带进行检测的光电传感器，其设于所述同步带附近，当检测所述同步带断裂时发出信号至所述制动器。优选地，所述石英舟升降装置还包括布置有电线和/或冷却水管的拖链，其一端通过拖链安装板安装在一导轨安装座上，所述导轨安装座沿所述双直线导轨上升或下降。优选地，所述石英舟升降装置还包括拖链护板，其以包围所述拖链的方式设置，用于遮蔽所述拖链。优选地，所述双直线导轨上设有沿所述双直线导轨上升或下降的两个滑块，所述连接板与所述两个滑块固定连接，所述导轨安装座安装于所述滑块上。本专利技术所提出的半导体扩散设备的石英舟升降装置，结构合理且紧凑，具有较高的刚性，可靠性高，易于安装和维护；此外保障了微环境的洁净度，从而保证了硅片的质量。【专利附图】【附图说明】图1为本专利技术半导体扩散设备石英舟升降装置的结构示意图；图2为图1所示的半导体扩散设备石英舟升降装置的俯视图；图3为图1所示的半导体扩散设备石英舟升降装置的正视图和剖视图；图4为本专利技术半导体扩散设备石英舟升降装置的局部示意图；`图5为本专利技术半导体扩散设备石英舟升降装置的传动机构的支撑件的结构示意图；图6为图5所示的支撑件的俯视图；图7为本专利技术半导体扩散设备石英舟升降装置的支撑件、双直线轨道以及滚珠丝杠的俯视图；图8为本专利技术半导体扩散设备石英舟升降装置的传动机构的示意图；图9为本专利技术半导体扩散设备石英舟升降装置的拖链的安装示意图；图10为本专利技术半导体扩散设备石英舟升降装置的局部示意图。【主要组件符号说明】I驱动机构；2支撑件；3滚珠丝杠；4双直线导轨；5连接板；6滑块；7升降臂；8伺服电机；9减速机；10滚珠丝杠护罩；11传动机构；12同步带轮；13同步带；14底部安装盒；15光电传感器；16制动器；17导轨安装座；18拖链；19拖链安装板；20拖链护板。【具体实施方式】为使本专利技术的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本专利技术的内容作进一步说明。当然本专利技术并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本专利技术的保护范围内。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。请结合参考图1?4，本专利技术的半导体扩散设备的石英舟升降装置包括驱动机构1，支撑件2，由驱动机构I驱动的滚珠丝杠3，双直线导轨4，滚珠丝杠上安装有与双直线导轨4滑动连接且可随滚珠丝杠转动沿双直线导轨的方向上下移动的连接板5，连接板5与承载保温桶、石英舟的升降臂7固定连接，从而当通过驱动机构I的驱动使滚珠丝杠3转动时，滚珠丝杠3将旋转运动转化为直线运动，连接板5随之沿双直线导轨方向上下移动，进而使得升降臂7进行升降动作。在本实施例中，连接板5是通过丝杠螺母安装在滚珠丝杠3上，滚珠丝杠3的转动带动丝杠螺母直线运动，连接板5也在丝杠螺母的带动下上下移动。连接板5还与滑动设置在双直线导轨4、可沿导轨4升降的两个滑块6固定连接，从而实现与双直线导轨4的滑动连接。本专利技术通过双直线导轨的结构，提高了导轨对升降臂7所承载的保温桶、石英舟和硅片等产生的力矩的承受力。如图5?7所示，支撑件2的横截面为U形，双直线导轨4分别直立对称地设置在支撑件2的两侧，滚珠丝杠3设置在支撑件2的中部，如此支撑件、双直线导轨以及滚珠丝杠所占据的空间较小，结构紧凑。而采用U形截面的支撑件2，除了对双直线导轨4起到支撑作用外，也能够增强支撑件2对力矩和扭转的刚性，因此使得整体结构具有更高的刚性。较佳的，将双直线导轨4分别对称设置在支撑件2的外侧，可更好地导向和承受保温桶、石英舟和硅片等产生的倾覆力矩。此外，在支撑件2开口的一侧还可设置长度至少覆盖滚珠丝杠3长度的滚珠丝杠护罩10 (如图3所示)，其用于遮蔽滚珠丝杠3，可有效防止滚珠本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种半导体扩散设备的石英舟升降装置，其特征在于，包括：驱动机构；支撑件，其横截面为U形；双直线导轨，直立地对称设置在所述支撑件两侧；由所述驱动机构驱动转动的滚珠丝杠，其设置于所述支撑件中部；连接板，安装于所述滚珠丝杠且与所述双直线导轨滑动连接，随所述滚珠丝杠的转动沿所述双直线轨道的方向上升或下降；以及承载石英舟的升降臂，与所述连接板固定连接，由所述连接板的运动带动上升或下降。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：林欣家，郝琪，董金卫，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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