多层组合薄变形镜镜体结构制造技术

本发明专利技术公开了一种多层组合薄变形镜镜体结构，包括：第一镜体，所述第一镜体的上表面形成为反光面，所述第一镜体的下表面设有多个间隔开布置的镜腿；和第二镜体，所述第二镜体的厚度大于所述第一镜体的厚度，所述第二镜体上设有多个贯通所述第二镜体的上表面和下表面的通孔，所述第一镜体的镜腿穿过所述通孔且所述第一镜体的下表面贴合所述第二镜体的上表面。根据本发明专利技术实施例的多层组合薄变形镜镜体结构，在对第一镜体的上表面进行抛光时，较厚的第二镜体能为较薄的第一镜体提供支撑，使第一镜体在抛光时镜面不易发生走形，有利于提高第一镜体的抛光效果；而且第二镜体设有多个通孔，能减轻变形镜的重量，在拼接大口径变形镜时易于安装调试。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种多层组合薄变形镜镜体结构，包括：第一镜体，所述第一镜体的上表面形成为反光面，所述第一镜体的下表面设有多个间隔开布置的镜腿；和第二镜体，所述第二镜体的厚度大于所述第一镜体的厚度，所述第二镜体上设有多个贯通所述第二镜体的上表面和下表面的通孔，所述第一镜体的镜腿穿过所述通孔且所述第一镜体的下表面贴合所述第二镜体的上表面。根据本专利技术实施例的多层组合薄变形镜镜体结构，在对第一镜体的上表面进行抛光时，较厚的第二镜体能为较薄的第一镜体提供支撑，使第一镜体在抛光时镜面不易发生走形，有利于提高第一镜体的抛光效果；而且第二镜体设有多个通孔，能减轻变形镜的重量，在拼接大口径变形镜时易于安装调试。【专利说明】多层组合薄变形镜镜体结构
本专利技术涉及变形镜镜体的抛光
，更具体地，涉及一种多层组合薄变形镜镜体结构。
技术介绍
变形镜，又称变形反射镜，主要运用于各种自适应光学系统之中，作为波前校正器件校正波前误差，在自适应光学系统中起着极其重要的作用，是自适应光学系统中的重要部件之一，变形镜的研究和发展关系到整个自适应光学系统的校正能力和校正精度。变形反射镜式通过改变自己表面面形来补偿波前相位畸变，可分为连续表面形和分立表面两种类型。连续表面变形镜，其优点是可以得到连续的面形，校正精度高，其缺点是面形的变形量比较小。连续表面的变形反射镜又可分为整体致动和分立致动两种。整体致动主要有双压电变形镜和薄模变形镜，其特点是当控制电压作用于某一致动单元时，整个反射镜面都将产生变形，这类变形镜主要用于与曲率波前传感器配合校正波前畸变的低阶模式部分。分立致动变形镜的一个特点是当控制电压作用于一个致动器时，只有该致动器相邻区域产生局部变形。其中致动方向平行于镜面时，致动器作用于反射镜边缘，只能用于校正离焦和像散等特定像差，因此在自适应光学系统里的应用受到了局限。致动方向垂直于镜面的连续表面变形镜可以校正各阶像差，而且能达到很高的校正精度，因此成为自适应光学系统中应用最广的一种波前校正器。由大气引起的波面误差由一个可变形的镜面进行实时校正的光学技术叫做自适应光学。自适应光学首先要检测波前扭曲情况，然后通过安装在望远镜焦面后方的一块小型的可变形镜面对波前实时进行矫正。可变形镜面后安装有促动器。自适应光学与主动光学不同，后者通过改变主镜的形状调整因重力形变等因素造成的像质扭曲，前者用于补偿大气湍流带来的影响。目前安装在口径8米左右的地面大型光学天文望远镜上的可变形镜面尺寸为8到20厘米，促动器数量为数百个到数千个不等，每次调整要在0.5到I毫秒的时间内完成，否则大气抖动将造成波前扭曲情况发生改变。自适应光学需要以很高的频率调整镜面形状，因而可变形镜面尺寸一般比较小，对材料的要求很高。曾发生过变形镜无法承受高频调整而碎裂的事故。此外，还要求促动器的数量足够多，由此还会带来成本提高、运算量过大等一系列问题。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决现有技术中的上述技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种结构简单、能提高抛光效果的多层组合薄变形镜镜体结构。根据本专利技术实施例的多层组合薄变形镜镜体结构，包括:第一镜体，所述第一镜体的上表面形成为反光面，所述第一镜体的下表面设有多个间隔开布置的镜腿；和第二镜体，所述第二镜体的厚度大于所述第一镜体的厚度，所述第二镜体上设有多个贯通所述第二镜体的上表面和下表面的通孔，所述第一镜体的镜腿穿过所述通孔且所述第一镜体的下表面贴合所述第二镜体的上表面。根据本专利技术实施例的多层组合薄变形镜镜体结构，通过将第一镜体的下表面和第二镜体的上表面贴合形成为一体，可以提高变形镜的镜厚比，第一镜体的厚度较第二镜体的厚度小，在对第一镜体的上表面进行抛光时，较厚的第二镜体能为较薄的第一镜体提供支撑，使第一镜体在抛光时镜面不易发生走形，有利于提高第一镜体抛光的平面度，提高抛光效果；而且第二镜体设有多个通孔，能减轻变形镜的重量，在拼接大口径变形镜时易于安装调试。另外，根据本专利技术上述实施例的多层组合薄变形镜镜体结构，还可以具有如下附加的技术特征:根据本专利技术的一个实施例，所述镜腿的轴向长度小于所述第二镜体的厚度。根据本专利技术的一个实施例，所述通孔的直径大于所述镜腿的直径。根据本专利技术的一个实施例，所述通孔的上端设有直径大于所述通孔的直径的圆孔，所述圆孔与所述通孔同轴设置且所述圆孔的上端与所述第二镜体的上表面导通。根据本专利技术的一个实施例，所述圆孔的厚度小于所述第一镜体的厚度。根据本专利技术的一个实施例，所述第一镜体的下表面上设有多个间隔开布置的定位腿，所述第二镜体的上表面上设有多个与所述定位腿位置对应的定位孔。根据本专利技术的一个实施例，所述第一镜体的上表面和下表面大体形成为矩形，所述镜腿在所述第一镜体的下表面上均勻布置。根据本专利技术的一个实施例，所述定位腿分别设在所述第一镜体的下表面上邻近四个夹角的位置。根据本专利技术的一个实施例，所述定位腿的直径小于所述镜腿的直径且等于所述定位孔的直径。根据本专利技术的一个实施例，所述镜腿与所述第一镜体一体形成。本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。【专利附图】【附图说明】本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:图1是根据本专利技术实施例的多层组合薄变形镜镜体结构的剖面图；图2是根据本专利技术实施例的多层组合薄变形镜镜体结构的第一镜体的结构示意图；图3是根据本专利技术实施例的多层组合薄变形镜镜体结构的第二镜体的结构示意图；图4是根据本专利技术实施例的多层组合薄变形镜镜体结构与基座的爆炸图；图5是根据本专利技术实施例的多层组合薄变形镜镜体结构与基座的剖面图。附图标记:多层组合薄变形镜镜体结构100 ；第一镜体10 ;反光面11 ;镜腿12 ;定位腿13 ；第二镜体20 ;通孔21 ;圆孔22 ;定位孔23 ；基座30 ;致动通道31 ;连接头32。【具体实施方式】下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底” “内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多层组合薄变形镜镜体结构，其特征在于，包括：第一镜体，所述第一镜体的上表面形成为反光面，所述第一镜体的下表面设有多个间隔开布置的镜腿；和第二镜体，所述第二镜体的厚度大于所述第一镜体的厚度，所述第二镜体上设有多个贯通所述第二镜体的上表面和下表面的通孔，所述第一镜体的镜腿穿过所述通孔且所述第一镜体的下表面贴合所述第二镜体的上表面。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：黄磊，巩马理，闫平，柳强，张海涛，闫海波，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：北京;11