本发明专利技术公开一种蒸镀装置，包括：多个蒸镀源，给基板之上提供互不相同的蒸镀物质；传感器单元，用于检测从所述多个蒸镀源喷射的所述蒸镀物质的蒸镀厚度；主控制单元，用于控制所述传感器单元，所述传感器单元包括多个传感器组，该多个传感器组分别对应于所述多个蒸镀源，且具有不同数量的传感器，各个所述传感器组根据所述主控制单元的控制检测从对应的所述蒸镀源喷射到所述基板上的所述蒸镀物质的蒸镀厚度。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开一种蒸镀装置，包括：多个蒸镀源，给基板之上提供互不相同的蒸镀物质；传感器单元，用于检测从所述多个蒸镀源喷射的所述蒸镀物质的蒸镀厚度；主控制单元，用于控制所述传感器单元，所述传感器单元包括多个传感器组，该多个传感器组分别对应于所述多个蒸镀源，且具有不同数量的传感器，各个所述传感器组根据所述主控制单元的控制检测从对应的所述蒸镀源喷射到所述基板上的所述蒸镀物质的蒸镀厚度。【专利说明】蒸镀装置
本专利技术涉及蒸镀装置，尤其涉及能够有效率地使用测量蒸镀厚度的传感器单元的多个传感器的蒸镀装置。
技术介绍
最近，亮度特性和视角特性优良，且与液晶显示装置不同，不需要专门的光源单元的有机发光显示装置(Organic Light Ermitting Diode Display:0LED)作为下一代平板显示装置而受到关注。有机发光显示装置不需要专门的光源，因此可制作成轻量且薄型。而且，有机发光显不装置还具有低耗电、闻売度和闻响应速度等特性。有机发光显示装置包括具备阳极、有机发光层、阴极的有机发光元件。在有机发光元件中，从阳极和阴极分别注入空穴和电子而形成激子，该激子迁移至基态而发光。用于制造有机发光显示装置的蒸镀装置包括给基板之上提供蒸镀物质的蒸镀源和用于测量被蒸镀到基板上的蒸镀物质的厚度的传感器单元。传感器单元测量从蒸镀源蒸发的蒸镀物质的蒸发量和蒸镀速度。根据由传感器单元测量的蒸发量和蒸镀速度，确定蒸镀于基板上的蒸镀物质的厚度。当使用填充有互不相同的蒸镀物质的多个蒸镀源时，可使用对应于多个蒸镀源的多个传感器单元。各个传感器单元测量从所对应的蒸镀源蒸发的蒸镀物质的蒸发量和蒸镀速度。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种有效率地使用传感器单元的多个传感器而能够有效率地测量从多个蒸发源蒸发的蒸镀物质的蒸镀厚度的蒸镀装置。根据本专利技术实施例的蒸镀装置包括:多个蒸镀源，给基板之上提供互不相同的蒸镀物质；传感器单元，用于检测从所`述多个蒸镀源喷射的所述蒸镀物质的蒸镀厚度；主控制单元，用于控制所述传感器单元，所述传感器单元包括多个传感器组，该多个传感器组分别对应于所述多个蒸镀源，且具有不同数量的传感器的多个传感器组，各个所述传感器组根据所述主控制单元的控制检测从对应的所述蒸镀源喷射到所述基板上的所述蒸镀物质的蒸镀厚度。所述多个蒸镀源包括:第一蒸镀源，将第一蒸镀物质提供给所述基板之上；第二蒸镀源，将与第一蒸镀物质不同的其他物质构成的第二蒸镀物质提供给所述基板之上。所述传感器组包括:第一传感器组，用于测量从所述第一蒸镀源喷射到所述基板之上的所述第一蒸镀物质的蒸镀厚度；第二传感器组，用于测量从所述第二蒸镀源喷射到所述基板上的所述第二蒸镀物质的蒸镀厚度。所述第一传感器组的所述传感器的数量与所述第二传感器组的所述传感器的数量的比率对应于所述第一蒸镀物质的使用量和所述第二蒸镀物质的使用量的比率。还包括用于支撑所述传感器单元的传感器支撑单元，所述传感器支撑单元布置于所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源之间，所述传感器单元通过所述传感器支撑单元被布置在相对于所述第一蒸镀源和第二蒸镀源的上部。所述传感器单元包括壳体、布置在所述壳体内部的旋转盘、形成于所述壳体下面的感测孔、粘贴于所述壳体的下部且两端开口的第一传感器盖和第二传感器盖，所述第一传感器组和第二传感器组的所述传感器相隔相同的间距在所述旋转盘的下面被排列为圆形，所述第一传感器盖和所述第二传感器盖的上端的开口部相互共享而与所述感测孔交迭。所述第一传感器盖和第二传感器盖的下端的开口部被布置为分别朝向各自对应的所述第一蒸镀源和第二蒸镀源的上侧面。所述第一传感器盖和所述第二传感器分别形成从各自对应的所述第一蒸镀源和第二蒸镀源喷射的所述第一蒸镀物质和第二蒸镀物质的进入通道。还包括蒸镀控制单元，该蒸镀控制单元在所述主控制单元的控制下运行所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源中的其中一个。所述第一蒸镀源和第二蒸镀源中的其中一个根据所述蒸镀控制单元而运行，所述旋转盘在所述主控制单元的控制下旋转，从而与运行的所述蒸镀源对应的传感器组中的传感器中的其中一个传感器被布置于所述感测孔。当其中一个所述传感器达到使用寿命时，在所述主控制单元的控制下，所述旋转盘旋转而使另一个传感器布置在所述感测孔。本专利技术的蒸镀装置可以有效率地使用传感器单元的多个传感器而有效率地测量从多个蒸镀源蒸发的蒸镀物质的蒸镀厚度。【专利附图】【附图说明】图1为概略地示出根据本专利技术第一实施例的蒸镀装置的图。图2为示出图1所示的传感器单元的内部结构的概略的剖视图。图3为图1所示的传感器单元的上部平面图。图4a和图4b为图1所示的传感器单元的下部平面图。图5为概略地示出图1所示的蒸镀装置的方框图的图。图6为概略地示出根据本专利技术第二实施例的蒸镀装置的图。图7为概略地示出根据本专利技术第三实施例的蒸镀装置的图。图8为概略地示出根据本专利技术第四实施例的蒸镀装置的图。符号说明10:真空腔体100、200、300、400:蒸镀装置110、120:第一及第二蒸镀源 111、121:第一及第二坩埚112、122:第一及第二蒸镀物质113、123:第一及第二喷射孔130:传感器单元140:基板131:壳体132_1、132_2:第一及第二传感器盖132:传感器盖20:传感器支撑单元30:基板支撑单元40:旋转轴【具体实施方式】以下，参照附图对本专利技术的优选实施例进一步详细地说明。图1为概略地示出根据本专利技术第一实施例的蒸镀装置的图。参照图1，蒸镀装置100包括真空腔体10、多个蒸镀源110、120、传感器单元130、基板140、传感器支撑单元20、基板支撑单元30。真空腔体10防止异物从外部进入，且为了确保蒸镀物质的直进性，维持高真空状态。蒸镀源110、120可布置在真空腔体内部的下部，蒸镀源110、120包括第一蒸镀源110、第二蒸镀源120。为了便于说明，图1中示出了第一蒸镀源110和第二蒸镀源120，但还可以使用更多的蒸镀源。第一蒸镀源110包括第一坩埚111、装填于第一坩埚111的第一蒸镀物质112、喷射被汽化的第一蒸镀物质112的第一喷射孔113。第二蒸镀源120包括第二坩埚121、装填于第二坩埚121的第二蒸镀物质122、喷射被汽化的第二蒸镀物质122的第二喷射孔123。第一蒸镀物质111和第二蒸镀物质122可以由互不相同的物质构成。即，为了给基板提供互不相同的蒸镀物质，第一蒸镀源Iio和第二蒸镀源120中可装填有互不相同的蒸镀物质。例如，第一蒸镀源110中可装填主体物质，第二蒸镀源120中可装填掺杂物质。第一蒸镀源110和第二蒸镀源120选择性地被运行。例如，为了将第一蒸镀物质112蒸镀到基板140上，第一蒸镀源110将被运行，但第二蒸镀源120不会被运行。此时，第一蒸镀源110的第一蒸镀物质112被汽化而通过第一喷射孔113被提供至基板140上。为了将第二蒸镀物质122蒸镀到基板140上，第二蒸镀源120将会被运行，但第一蒸镀源110不会被运行。此时，第二蒸镀源120的第二蒸镀物质122将通过第二喷射孔123被提供至基板140上。通过这种动作，第一蒸镀源110的主体物质和第二蒸镀源120的掺杂物质可以被蒸镀到基板140上。虽然未图示，但第一蒸镀本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种蒸镀装置，包括：多个蒸镀源，给基板之上提供互不相同的蒸镀物质；传感器单元，用于检测从所述多个蒸镀源喷射的所述蒸镀物质的蒸镀厚度；主控制单元，用于控制所述传感器单元，所述传感器单元包括多个传感器组，该多个传感器组分别对应于所述多个蒸镀源，且具有不同数量的传感器，各个所述传感器组根据所述主控制单元的控制检测从对应的所述蒸镀源喷射到所述基板上的所述蒸镀物质的蒸镀厚度。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：朴炳熙，宋沃根，李勇翰，李映新，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
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