【技术实现步骤摘要】
微电子激光扫描装置
[0001 ] 本技术涉及微电子领域，特别是涉及一种微电子激光扫描装置。
技术介绍
微电子技术是随着集成电路，尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术，微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。
技术实现思路
本技术主要解决的技术问题是提供一种微电子激光扫描装置，高方向性，高单向性，高亮度和高相干性。为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是:提供一种微电子激光扫描装置，包括:物镜、切线反射镜、循迹反射镜、偏光棱镜、耦合镜和半导体激光二极管，所述物镜与切线反射镜相连接，所述循迹反射镜与偏光棱镜组合连接，所述偏光棱镜通过衍射光栅与耦合镜相连接，所述耦合镜与半导体激光二极管相连接。在本技术一个较佳实施例中，所述偏光棱镜上设有轨迹镜。在本技术一个较佳实施例中，所述耦合镜与半导体激光二极管之间设有透镜。在本技术一个较佳实施例中，所述切线反射镜和循迹反射镜构成谐振腔。本技术的有益效果是:本技术微电子激光扫描装置，高方向性，高单向性，高亮度和高相干性。【附图说明】为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中:图1是本技术的微电子激光扫描装置一较佳实施例的结构示意图；附图中各部件的标记如下:1、半导体激光二极管，2、透镜,3、稱合镜,4、偏光棱镜...
【技术保护点】
一种微电子激光扫描装置，其特征在于，包括：物镜、切线反射镜、循迹反射镜、偏光棱镜、耦合镜和半导体激光二极管，所述物镜与切线反射镜相连接，所述循迹反射镜与偏光棱镜组合连接，所述偏光棱镜通过衍射光栅与耦合镜相连接，所述耦合镜与半导体激光二极管相连接。
【技术特征摘要】
1.一种微电子激光扫描装置，其特征在于，包括:物镜、切线反射镜、循迹反射镜、偏光棱镜、耦合镜和半导体激光二极管，所述物镜与切线反射镜相连接，所述循迹反射镜与偏光棱镜组合连接，所述偏光棱镜通过衍射光栅与耦合镜相连接，所述耦合镜与半导体激光二极管相连接。2.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱伟东，林峰，
申请(专利权)人：江苏应能微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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