本发明专利技术提供方向调整装置以及方向调整方法。具备方向调整装置的防尘自动立体仓库(100)具备在货物(中间掩模230)朝外部装置(曝光装置)的插入方向预先确定、且载置有货物的状态的载置台(掩模盒200)朝外部装置的插入方向预先确定的情况下使载置台旋转的旋转装置(掩模盒开启器140)；不变更货物的方向地保持货物的保持装置(中间掩模输送装置120)；及控制旋转装置以及保持装置的控制器(180)。进而，控制器使旋转装置在使货物从被保持于旋转装置的载置台离开的状态下保持货物，并使货物已离开的状态下的载置台从初始位置旋转至目标位置，将货物载置于旋转至目标位置的载置台，使载置有货物的状态的载置台从目标位置旋转至初始位置。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于调整货物和载置该货物的载置台之间的相对方向的方向调整装置。
技术介绍
以往的曝光装置通过将描绘于中间掩模的电路图案转印于半导体元件来制造电子部件。此时，为了防止污染，中间掩模在被收纳于掩模盒(pod)的状态下插入于曝光装置。并且，中间掩模朝曝光装置的插入方向根据机型而不同。更具体地说，中间掩模朝曝光装置的插入方向是预先确定的，并且收纳有中间掩模的状态的掩模盒朝曝光装置的插入方向也是预先确定的。因此，在以往的中间掩模保管库等中，设置有用于根据曝光装置的机型来调整掩模盒内的中间掩模的方向的机构。具体而言，存在如下的中间掩模保管库，该中间掩模保管库设置有作为方向调整装置的如下的机构:从掩模盒开启器(pod opener)内的掩模盒取出中间掩模，利用转台使中间掩模旋转规定的角度，并将中间掩模再次收纳于掩模盒开启器内的掩模盒。专利文献1:日本特开2008 - 30914号公报然而，根据上述的机构，产生了使中间掩模从掩模盒开启器移动至转台、并在使中间掩模旋转后再次使其从转台移动至掩模盒开启器的需要。结果，有着在掩模盒开启器与转台之间移载中间掩模的处理耗费大量时间的课题。
技术实现思路
因此，本专利技术就是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种能够短时间且利用较少的工序调整货物与载置该货物的载置台之间的相对方向的方向调整装置。本专利技术的一个实施方式所涉及的方向调整装置是如下的装置:在货物朝外部装置的插入方向预先确定、且载置有上述货物的状态的载置台朝外部装置的插入方向预先确定的情况下，调整上述货物与上述载置台之间的相对方向。具体而言，上述方向调整装置具备:旋转装置，该旋转装置使上述载置台旋转；保持装置，该保持装置不变更上述货物的方向地保持上述货物；以及控制器，该控制器控制上述旋转装置以及上述保持装置，以便将上述货物与上述载置台之间的相对方向调整成预先确定的方向。进而，上述控制器使上述保持装置在使上述货物从被保持于上述旋转装置的上述载置台离开的状态下保持上述货物，上述控制器使上述旋转装置将上述货物已离开的状态下的上述载置台从初始位置旋转至目标位置，上述控制器使上述保持装置将上述货物载置于旋转至上述目标位置的上述载置台，上述控制器使上述旋转装置将载置有上述货物的状态的上述载置台从上述目标位置旋转至上述初始位置。根据上述结构，由于无需像以往那样将货物移载至其他场所，因此能够削减移载所需要的循环时间。结果，能够短时间且以较少的工序调整货物与载置台之间的相对方向。并且，也可以形成为:上述保持装置在保持有上述货物的状态下沿上下方向移动，并在从上述载置台朝上方离开规定距离的保持位置保持上述货物。由此，当在使载置台旋转之后再次载置货物时，不需要进行定位等工序，因此能够更短时间且以更少的工序进行方向的调整。此外，也可以形成为:上述控制器在利用上述保持装置将上述货物从上述载置台离开之后、且到达上述保持位置之前，使上述旋转装置开始进行上述载置台的从上述初始位置朝上述目标位置的旋转。这样，通过并行地进行使货物从载置台离开的工序和使载置台旋转的工序，能够更短时间且以更少的工序进行方向的调整。此外，上述方向调整装置也可以还具备方向确认装置，该方向确认装置确认上述货物与上述载置台之间的相对方向。进而，上述控制器也可以在使上述旋转装置将上述载置台旋转至上述初始位置之后，使上述方向确认装置确认上述货物与上述载置台之间的相对方向。由此，能够在确认货物与载置台之间的相对方向之后朝后续工序送出。本专利技术的一个实施方式所涉及的方向调整方法是在上述货物朝外部装置的插入方向预先确定、且载置有上述货物的状态的载置台朝外部装置的插入方向预先确定的情况下，方向调整装置调整货物与载置台之间的相对方向的方法，上述方向调整装置具备:旋转装置，上述旋转装置使上述载置台旋转；以及保持装置，该保持装置不变更上述货物的方向地保持上述货物。具体而言，方向调整方法包括以下步骤:上述保持装置在使上述货物从被保持于上述旋转装置的上述载置台离开的状态下保持上述货物的步骤；上述旋转装置将上述货物已离开的状态下的上述载置台从初始位置旋转至目标位置的步骤；上述保持装置将上述货物载置于旋转至上述目标位置的上述载置台的步骤；以及上述旋转装置将载置有上述货物的状态的上述载置台从上述目标位置旋转至上述初始位置的步骤。根据本专利技术，由于无需像以往那样将货物移载至其他场所，因此能够短时间且以较少的工序调整货物与载置台之间的相对方向。【附图说明】图1是实施方式所涉及的防尘自动立体仓库(clean stocker)的主视图。图2是图1的II — II线处的剖视图。图3是图1的III — III线处的剖视图。图4是示出方向调整处理的流程图。图5是掩模盒开启器内部的侧视图，且是示出Sll的状态的图。图6是掩模盒开启器内部的侧视图，且是示出S12的状态的图。图7是掩模盒开启器内部的俯视图，且是示出S13的状态的图。图8是掩模盒开启器内部的侧视图，且是示出S14的状态的图。图9是掩模盒开启器内部的俯视图，且是示出S15的状态的图。【具体实施方式】以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。首先，参照图1?图3对包括本专利技术的实施方式所涉及的方向调整装置的防尘自动立体仓库100的结构进行说明。另外，图1是实施方式所涉及的防尘自动立体仓库100的主视图。图2是图1的II 一 II线处的剖视图。图3是图1的II1-1II线处的剖视图。防尘自动立体仓库100设置于半导体车间或者液晶车间等的防尘室内，并将半导体或者液晶基板的曝光用的中间掩模(货物)和收纳中间掩模的掩模盒(容器)分开保管。并且，中间掩模朝曝光装置(外部装置)的插入方向是预先确定的，并且载置有中间掩模的状态下的掩模盒朝曝光装置的插入方向也是预先确定的。具体而言，防尘自动立体仓库100主要具备:旋转搁板110 ;中间掩模输送装置120 ;掩模盒输送装置130 ;掩模盒开启器140 ;0HT (Overhead Hoist Transfer,高架升降输送)自动装载口 150 ;手动装载口 160 ;风机过滤单元(FFU，风机过滤单元)170 ;以及控制器180。并且，旋转搁板110具备上下多层的多级，从上方开始依次划分成中间掩模用旋转搁板111和空掩模盒用旋转搁板112。另外，本专利技术的一个实施方式所涉及的方向调整装置例如由防尘自动立体仓库100的构成要素中的、作为旋转装置发挥功能的掩模盒开启器140 (更具体而言是后述的载置部142)和作为保持装置发挥功能的中间掩模输送装置120以及控制器180构成。各部分的结构以及动作将在后面叙述。中间掩模用旋转搁板111是保管半导体或者液晶基板的曝光用的中间掩模的搁板。空掩模盒用旋转搁板112是保管未收纳中间掩模的空的掩模盒(以下记为“空掩模盒”)的搁板。另外，空掩模盒用旋转搁板112中的掩模盒的保管数量可以比中间掩模用旋转搁板111中的中间掩模的保管数量少，例如可以是1/10?1/100的程度。中间掩模用旋转搁板111以及空掩模盒用旋转搁板112也可以形成为分别作为一体旋转，各级无法独立旋转。或者，为了能够更高速地进行收纳物的存取，也可以将各搁板进一步分割成上下多个块，且每个块独立地旋转。中间掩模输送装置1本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种方向调整装置，在货物朝外部装置的插入方向预先确定、且载置有所述货物的状态的载置台朝外部装置的插入方向预先确定的情况下，所述方向调整装置调整所述货物与所述载置台之间的相对方向，所述方向调整装置的特征在于，所述方向调整装置具备：旋转装置，该旋转装置使所述载置台旋转；保持装置，该保持装置不变更所述货物的方向地保持所述货物；以及控制器，该控制器控制所述旋转装置以及所述保持装置，以便将所述货物与所述载置台之间的相对方向调整成预先确定的方向，所述控制器使所述保持装置在使所述货物从被保持于所述旋转装置的所述载置台离开的状态下保持所述货物，所述控制器使所述旋转装置将所述货物已离开的状态下的所述载置台从初始位置旋转至目标位置，所述控制器使所述保持装置将所述货物载置于旋转至所述目标位置的所述载置台，所述控制器使所述旋转装置将载置有所述货物的状态的所述载置台从所述目标位置旋转至所述初始位置。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.05.02 JP 2011-1027231.一种方向调整装置， 在货物朝外部装置的插入方向预先确定、且载置有所述货物的状态的载置台朝外部装置的插入方向预先确定的情况下，所述方向调整装置调整所述货物与所述载置台之间的相对方向， 所述方向调整装置的特征在于， 所述方向调整装置具备: 旋转装置，该旋转装置使所述载置台旋转； 保持装置，该保持装置不变更所述货物的方向地保持所述货物；以及控制器，该控制器控制所述旋转装置以及所述保持装置，以便将所述货物与所述载置台之间的相对方向调整成预先确定的方向， 所述控制器使所述保持装置在使所述货物从被保持于所述旋转装置的所述载置台离开的状态下保持所述货物， 所述控制器使所述旋转装置将所述货物已离开的状态下的所述载置台从初始位置旋转至目标位置， 所述控制器使所述保持装置将所述货物载置于旋转至所述目标位置的所述载置台，所述控制器使所述旋转装置将载置有所述货物的状态的所述载置台从所述目标位置旋转至所述初始位置。2.根据权利要求1所述的方向调整装置，其特征在于， 所述保持装置在保持有所述货物的状态下沿上下方向移动，并在从所述载置台朝上方离开规定距离的保持位置保持所述货物。3.根据权利要求2所述的方向调整装置，其特征在于， 所述控制器...
【专利技术属性】
技术研发人员：雁部政彦，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：
国别省市：
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