涂胶系统技术方案

本发明专利技术提供一种涂胶系统，该涂胶系统包括多通阀、稀释剂容器、排水管以及至少两路光刻胶管路，其中，该至少两路光刻胶管路中的每一路光刻胶管路包括四通阀、过滤缓冲装置、第一三通阀以及光刻胶容器；该四通阀的第一端与该过滤缓冲装置的一端相连接，第二端与该排水管路相连接，第三端与该稀释剂容器相连接，第四端与该多通阀相连接；该过滤缓冲装置的另一端与该第一三通阀的第一端相连；该第一三通阀的第二端与该稀释剂容器相连，第三端与该光刻胶容器相连。本发明专利技术能够大大减少由于光刻胶切换造成设备停机的时间，提高了设备的生产效率。

【技术实现步骤摘要】
涂胶系统
本专利技术涉及显示领域，尤其涉及一种涂胶系统。
技术介绍
TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,薄膜晶体管液晶显示装置)的制造一般需要经过4-6次掩膜(Mask)，光刻胶的涂布是每一道掩膜(Mask)制程必不可少的步骤。一般在TFT-LCD设备安装之前，产线使用的光刻胶就已经检讨完毕，每条产线使用的光刻胶也已经确定，在装机后设备调试时直接使用既定的光刻胶即可，调试完成后直接进行量产。如果没有什么特殊情况，各产线使用的PR (photo resist，光刻胶)胶不会变更。但是，由于各种新工艺的出现，以及改善型PR胶的测试，使得产线不同PR胶的切换越来越频繁。参见图1，图1是现有技术中的一种涂胶系统，该系统包括备用的光刻胶容器ir，但其对于光刻胶的切换并没有任何没有帮助。在更换另外一种光刻胶时，需要使用稀释溶剂浸泡和清洗所有的光刻胶管路，具体地，将该涂胶系统停机，拆卸稀释剂容器6'接出的稀释管道5'，参见图2，将拆卸的管道5'放入塑料桶12'中，并通过加压管道13'对稀释剂容器6'加压，从而将稀释剂容器6'中的稀释剂注入塑料桶12'内，当塑料桶12'内的稀释剂达到20L时，停止注入，并将稀释剂容器6'中的压力变为常压后将稀释管道5'重新接入三通阀3'中，而后，参见图3，在当前光刻胶容器10'中，将插入光刻胶桶IOc'内的接头从光刻胶桶IOc'中取出，放入塑料桶12'中，开始进行药液充填操作，塑料桶12'内的稀释剂依次经过三通阀IOb'、隔膜泵IOa'、四通阀9'、过滤器8'、缓冲容器7'、过滤器4'、三通阀3'，然后经过真空泵2'到达涂胶机喷嘴(Coater Nozzle)Ii后流出，该药液填充操作可以进行10次左右，此外，不同树脂类型的光刻胶需要更换过滤器8'和过滤器4'，同树脂类型则不需要更换，上述操作完成后，将接头从塑料桶12'取出并接入新PR胶桶内，再次进行充填操作，将新的PR胶充满管道，从而，排挤掉管道中的稀释剂，便可以进行新胶测试或生产，当新胶测试或生产完成后，需要切换回原来的PR胶，则还需采用上述的方法，同样只能在设备停机的状态下进行。上述的涂胶系统更换光刻胶的过程需要10-12H的时间，且都需要在涂胶系统停机状态下进行，占用设备生产时间，降低了设备生产效率。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术要解决的技术问题是:如何减少由于光刻胶更换造成的设备停机的时间。(二)技术方案为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种涂胶系统，包括多通阀、稀释剂容器、排水管以及至少两路光刻胶管路，其中，所述至少两路光刻胶管路中的每一路光刻胶管路包括四通阀、过滤缓冲装置、第一三通阀以及光刻胶容器；所述四通阀的第一端与所述过滤缓冲装置的一端相连接，第二端与所述排水管路相连接，第三端与所述稀释剂容器相连接，第四端与所述多通阀相连接；所述过滤缓冲装置的另一端与所述第一三通阀的第一端相连；所述第一三通阀的第二端与所述稀释剂容器相连，第三端与所述光刻胶容器相连。进一步地，所述过滤缓冲装置包括依次连接的第一过滤器、缓冲容器及第二过滤器。进一步地，所述光刻胶容器包括隔膜泵、第二三通阀、接头以及光刻胶桶；所述隔膜泵的一端连接所述第二三通阀的第一端；所述第二三通阀的第二端与所述接头连接，所述第二三通阀通过所述接头实现与所述光刻胶桶的连接。进一步地，所述接头包括接头主体以及贯穿所述接头主体的第一管道和第二管道，当所述接头插入所述光刻胶桶时，通过所述第一管道向所述光刻胶桶内增压，以便所述光刻胶桶内的光刻胶从所述第二管道流出。进一步地，所述光刻胶桶包括桶体、用于盛装光刻胶的软袋以及光刻胶管，所述软袋以及所述光刻胶管设置在所述桶体内，所述光刻胶管的一端位于所述软袋之内，另一端位于所述软袋之外，当所述接头插入所述光刻胶桶时，所述光刻胶管的另一端与所述第二管道密封接合，以便所述软袋内的光刻胶从所述第二管道流出。进一步地，还包括用于实现所述接头与所述稀释剂容器连接的接口，所述接口的一端与所述稀释剂容器相连接，另一端通过与所述接头密封接合实现所述接头与所述稀释剂容器的密封连接。进一步地，所述接口包括接口主体、设置在所述接口主体内的稀释剂管以及设置在所述稀释剂管上的第一阀门，所述稀释剂管的一端与所述稀释剂容器连接，当所述接头插入所述接口时，所述稀释剂管的另一端与所述第二管道密封接合，以便所述稀释剂容器中的稀释剂通过所述稀释剂管流入所述第二管道。进一步地，所述稀释剂管的另一端还通过第二阀门与所述排水管相连。(三)有益效果本专利技术提供的涂胶系统包括多路光刻胶管路，不同光刻胶管路用于实现不同光刻胶的供给，当其中一路光刻胶管路工作时，即可对其他路光刻胶管路进行清洗，且该涂胶系统在不同光刻胶之间切换时，不需要对所有的管道进行清洗，从而大大减少了由于光刻胶切换造成设备停机的时间，提高了设备的生产效率。【附图说明】图1是现有技术中的一种涂胶系统的结构图；图2是图1所示的涂胶系统中稀释剂容器接取稀释剂的示意图；图3是图1所示的涂胶系统清洗管路的示意图；图4是本专利技术实施方式提供的一种涂胶系统的结构图；图5是本专利技术实施方式提供的一种接头的示意图；图6是本专利技术实施方式提供的一种光刻胶桶的示意图；图7是图5所示的接头接入图6所示的光刻胶桶的示意图；图8是本专利技术实施方式提供的一种接口的示意图。【具体实施方式】下面结合附图和实施例，对本专利技术的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。本专利技术实施方式提供了一种涂胶系统，包括多通阀、稀释剂容器、排水管以及至少两路光刻胶管路，其中，所述至少两路光刻胶管路中的每一路光刻胶管路包括四通阀、过滤缓冲装置、第一三通阀以及光刻胶容器；所述四通阀的第一端与所述过滤缓冲装置的一端相连接，第二端与所述排水管路相连接，第三端与所述稀释剂容器相连接，第四端与所述多通阀相连接；所述过滤缓冲装置的另一端与所述第一三通阀的第一端相连；所述第一三通阀的第二端与所述稀释剂容器相连，第三端与所述光刻胶容器相连。其中，该多通阀可以根据该光刻胶管路的路数进行确定，例如，若该涂胶系统包括两路光刻胶管路，则该多通阀可以为三通阀，若该涂胶系统包括三路光刻胶管路，则该多通阀可以为四通阀。该过滤缓冲装置包括依次连接的第一过滤器、缓冲容器及第二过滤器。其中，所述光刻胶容器包括隔膜泵、第二三通阀、接头以及光刻胶桶；所述隔膜泵的一端连接所述第二三通阀的第一端；所述第二三通阀的第二端与所述接头连接，所述第二三通阀通过所述接头实现与所述光刻胶桶的连接。参见图4，图4是本专利技术实施方式提供的一种涂胶系统的结构图，该涂胶系统包括涂胶机喷嘴1，真空泵2、多通阀3、稀释剂容器10、排水管11、第一路光刻胶管路和第二路光刻胶管路，其中，该多通阀3的第一端通过真空泵2与涂胶机喷嘴I相连，第二端与第一路光刻胶管路连接，第三端与第二路光刻胶管路连接。其中，该第一路光刻胶管路包括四通阀41、过滤缓冲装置、第一三通阀81以及光刻胶容器91，其中，该第一路光刻胶管路的过滤缓冲装置包括依次连接的第一过滤器51、缓冲容器61、第二过滤器71，四通阀41的第一端411通过该第一路光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂胶系统，其特征在于，包括多通阀、稀释剂容器、排水管以及至少两路光刻胶管路，其中，所述至少两路光刻胶管路中的每一路光刻胶管路包括四通阀、过滤缓冲装置、第一三通阀以及光刻胶容器；所述四通阀的第一端与所述过滤缓冲装置的一端相连接，第二端与所述排水管路相连接，第三端与所述稀释剂容器相连接，第四端与所述多通阀相连接；所述过滤缓冲装置的另一端与所述第一三通阀的第一端相连；所述第一三通阀的第二端与所述稀释剂容器相连，第三端与所述光刻胶容器相连。

【技术特征摘要】
1.一种涂胶系统，其特征在于，包括多通阀、稀释剂容器、排水管以及至少两路光刻胶管路，其中，所述至少两路光刻胶管路中的每一路光刻胶管路包括四通阀、过滤缓冲装置、第一三通阀以及光刻胶容器； 所述四通阀的第一端与所述过滤缓冲装置的一端相连接，第二端与所述排水管路相连接，第三端与所述稀释剂容器相连接，第四端与所述多通阀相连接； 所述过滤缓冲装置的另一端与所述第一三通阀的第一端相连； 所述第一三通阀的第二端与所述稀释剂容器相连，第三端与所述光刻胶容器相连。2.根据权利要求1所述的涂胶系统，其特征在于，所述过滤缓冲装置包括依次连接的第一过滤器、缓冲容器及第二过滤器。3.根据权利要求1所述的涂胶系统，其特征在于，所述光刻胶容器包括隔膜泵、第二三通阀、接头以及光刻胶桶； 所述隔膜泵的一端连接所述第二三通阀的第一端； 所述第二三通阀的第二端与所述接头连接，所述第二三通阀通过所述接头实现与所述光刻胶桶的连接。4.根据权利要求3所述的涂胶系统，其特征在于，所述接头包括接头主体以及贯穿所述接头主体的第一管道和第二管道，当所述接头插入所述光刻胶桶时，通过所述第一管道向所述光刻胶桶...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹景博，徐海涛，鲁成祝，江涛，黄炳相，王守波，
申请(专利权)人：合肥京东方光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：