【技术实现步骤摘要】
废气处理装置
本技术属于晶体生长设备
，更具体的说是一种废气处理装置。
技术介绍
目前，电子产业领域排放的废气中，有部分含有H2和NH3等高危气体，现有技术的处理方式一般是先经废气处理机(Gas Scrubber)初步处理，再由专业处理设备处理后排放至大气中，处理过的废气中H2和NH3残余量很低，可经由酸碱排管道直接排放，但当处理设备停机保养或出现异常时，废气就无法处理，未经处理废气中H2和NH3含量较高，经切换旁路排至酸碱排管道时，由于管道材质及密封性问题，外界环境中空气极易进入管道，与氢气混合后极有可能引起燃烧，因此，此种管道设计存在很大的安全隐患。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提供了一种使用安全、废气处理过程中不会引起燃烧的废气处理装置，其具体方案为:所述的废气处理装置由酸碱管道、辅助管道、终端处理池、废气进口、酸碱三通阀、转换三通阀、预处理池组成，其特征是酸碱管道与辅助管道平行设置，酸碱管道的一端与终端处理池相连接，酸碱管道的另一端与酸碱三通阀相连接，辅助管道的一端与终端处理池相连接，辅助管道的另一端与转换三通阀相连接，酸碱三通阀的上端设置废气进口，转换三通阀的下端设置预处理池。本技术所述的酸碱三通阀、转换三通阀，其特征在于酸碱三通阀、转换三通阀通过管道相连接，管道材质采用SUS304不锈钢。本技术的有益效果是废气处理装置使用安全，废气处理过程中不会引起燃Jyti o【附图说明】附图1是本技术的结构示意图；附图1中:1.酸碱管道，2.辅助管道，3.终端处理池，4.废气进口，5.酸碱三通阀，6.转换三通阀，7.预处理池。【...
【技术保护点】
废气处理装置，由酸碱管道（1）、辅助管道（2）、终端处理池（3）、废气进口（4）、酸碱三通阀（5）、转换三通阀（6）、预处理池（7）组成，其特征是酸碱管道（1）与辅助管道（2）平行设置，酸碱管道（1）的一端与终端处理池（3）相连接，酸碱管道（1）的另一端与酸碱三通阀（5）相连接，辅助管道（2）的一端与终端处理池（3）相连接，辅助管道（2）的另一端与转换三通阀（6）相连接，酸碱三通阀（5）的上端设置废气进口（4），转换三通阀（6）的下端设置预处理池（7）。
【技术特征摘要】
1.废气处理装置，由酸碱管道(I)、辅助管道(2)、终端处理池(3)、废气进口(4)、酸碱三通阀(5)、转换三通阀(6)、预处理池(7)组成，其特征是酸碱管道(I)与辅助管道(2)平行设置，酸碱管道(I)的一端与终端处理池(3)相连接，酸碱管道(I)的另一端与酸碱三通阀(5)相连接，辅助管道(2...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈建荣，王新阳，赵海标，
申请(专利权)人：冠铨山东光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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