表面处理装置以及槽体制造方法及图纸

本发明专利技术提供表面处理装置以及槽体。为了实现表面处理装置的简单化、小型化和镀层质量的提高、电解液量的减少，槽体（100）具备：液接收部（2），其用于接收顺着板状工件（10）落下的处理液（Q）；液滞留部（4），其用于使欲与板状工件（10）接触的处理液（Q）滞留；以及液流出部（6），其用于使从液滞留部（4）溢出并流下的处理液（Q）朝向板状工件（10）流出。液流出部（6）构成为，使末端（6a）从与液滞留部（4）的侧壁（4a）（或液接收部（2）的侧壁（2a））连结的连结部（5）突出。

【技术实现步骤摘要】
表面处理装置以及槽体
本专利技术涉及对印刷基板等板状工件进行非电解镀层的技术。
技术介绍
(i)以往，如图16所示，使收纳于机架的多个工件10浸溃于在槽内贮存的处理液Q中来进行非电解镀层处理(专利文献1)。在此，与进行通电的电镀不同，非电解镀层(electroless plating)是指仅通过使被处理物浸溃于电解液就能够镀层的镀层方法。通过非电解镀层，即使对于非导体(例如，塑料、陶瓷等绝缘物)也能够进行镀层。(ii)另外，还存在图17所示那样的电解镀层装置:槽V具备接近板状工件10配置的侧壁W1、W2，在槽V内，为了防止板状工件10与侧壁W1、W2接触，形成上下方向的处理液Q的流动以使板状工件10摆动(专利文献2);或者，为了在板状工件10下降时将其顺畅地引入到处理液Q中而使处理液Q从槽V的上方的锥状的开口流入下方的电解镀层装置(专利文献3、4)。(iii)另外，还存在这样的技术:在用于搬送工件的导轨上设置突起，通过在搬送时使工件越过该突起，由此对工件施加冲击来除去水分(专利文献5的图6)。专利文献1:日本特开2011-32538号公报专利文 献2:日本技术登记第3115047号公报专利文献3:日本特开2006-118019号公报专利文献4:日本特开2004-339590号公报专利文献5:日本特开2010-189736号公报(i)可是，在图16所示的专利文献1的技术中，由于需要用于使机架浸溃的升降机构，因此存在非电解镀层用的设备复杂化、大型化这样的问题，或者，由于需要使机架浸溃于在槽内贮存的非电解镀层处理液Q中，因此存在需要大量的处理液量这样的问题。(i i )另外，在将专利文献2~4的技术用于非电解镀层的情况下，存在下述这样的担忧:处理液Q顺着槽V内的侧面Wl、W2，从而无法获得所希望的镀层质量。另外，还存在需要大量的电解液这样的问题。(iii)另外，在专利文献5的技术中，在搬送时通过阶梯差时，只是暂时性地对被处理物施加冲击，无法可靠地除去水分。
技术实现思路
本专利技术就是鉴于以上情况而完成的，其目的在于提供一种表面处理装置以及槽体，实现表面处理装置的简单化、小型化和镀层质量的提高、电解液量的减少。(1)本专利技术的表面处理装置具备:搬送用吊架，其用于搬送被处理物；槽体，其用于在内部使处理液附着于被所述搬送用吊架搬送的所述被处理物；以及搬送机构，其将所述搬送用吊架搬送到所述槽体内，所述表面处理装置的特征在于，所述槽体具备:液接收部，其用于接收与所述被处理物接触后的处理液；液滞留部，其设在比所述液接收部靠上方的位置，用于使欲与所述被处理物接触的所述处理液滞留；以及液流出部，其是用于使从所述液滞留部溢出并流下的所述处理液朝向被处理物流出的液流出部，且构成为末端从与所述液滞留部或所述液接收部连结的连结部突出。由此，能够利用突出部使适量的处理液与板状工件接触来进行非电解镀层，实现了镀层质量的提高和处理液量的减少。(2)本专利技术的表面处理装置的特征在于，所述表面处理装置具备用于在大致水平方向搬送所述搬送用吊架的导轨，所述搬送用吊架被控制部控制成，在设于所述导轨的冲击产生部上往复移动预定次数。由此，能够对板状工件施加冲击以除去附着的气泡。(3)本专利技术的表面处理装置的特征在于， 所述表面处理装置具备用于在大致水平方向搬送所述搬送用吊架的导轨，所述搬送用吊架被控制部控制成，在设于所述导轨的多个冲击产生部上移动。由此，能够对板状工件施加冲击以除去附着的气泡。(4)本专利技术的表面处理装置的特征在于，所述表面处理装置具备用于在大致水平方向搬送所述搬送用吊架的多个导轨，所述搬送用吊架固定于支承部件，所述支承部件安装成横跨所述多个导轨。由此，能够减小板状工件的振动，并能够减小支承搬送机构的结构体(框架等)的变形。(5)本专利技术的表面处理装置的特征在于，在与所述搬送方向垂直的方向相邻地配置多列所述表面处理装置，在相邻的表面处理装置之间共用导轨。由此，能够在实现表面处理装置的紧凑化的同时提高生产率。(6)本专利技术的表面处理装置的特征在于，使所述液接收部与所述液滞留部经由泵连通。由此，能够减少在整个表面处理装置中使用的处理液的总量。(7)本专利技术的表面处理装置的特征在于，在所述液接收部的侧壁设有缺口，所述缺口是沿铅直方向延伸的缺口，在所述搬送用吊架移动时，所述缺口供所述被处理物通过，以使存留于所述液接收部的处理液的液面位于比所述缺口的下端靠下的位置的方式，对所述液滞留部供给处理液。由此，能够防止存留于液接收部2的处理液Q从液接收部的缺口溢出。(8)本专利技术的槽体的特征在于，所述槽体具备:液滞留部，其用于使处理液滞留；和液流出部，其是用于使从所述液滞留部溢出并流下的所述处理液朝向被处理物流出的液流出部，且构成为末端从与所述液滞留部连结的连结部突出。由此，能够使适量的处理液与板状工件接触来进行非电解镀层，因此实现了镀层质量的提闻。(9)本专利技术的槽体的特征在于，所述槽体具备液接收部，所述液接收部用于接收与所述被处理物接触后的处理液，在所述液接收部的侧壁设有缺口，所述缺口是沿铅直方向延伸的缺口，在所述搬送用吊架移动时，所述缺口供所述被处理物通过。由此，仅通过使搬送用吊架在水平方向移动就能够进行一系列的非电解镀层处理，由于不需要升降机构等，能够使装置的结构简单化、小型化。(10)本专利技术的槽体的特征在于，从所述液流出部的两端隔开间隔地设置所述液接收部的侧壁，在所述液接收部的所述侧壁设有所述缺口。由此，能够防止 处理液从切口泄漏。(11)本专利技术的槽体的特征在于，所述液流出部的末端设置成，从与所述液接收部或所述液滞留部连结的连结部朝向大致水平方向或者相对于水平方向向下倾斜。由此，能够使从液滞留部溢出的处理液从突出部的末端朝向板状工件流出。(12)本专利技术的槽体的特征在于，在所述液流出部的上表面成型有沿朝向所述被处理物的方向延伸的槽。由此，是为了防止从液滞留部溢出的处理液由于表面张力而集中在突出部的中心附近，从而使均匀的处理液量与板状工件接触。(13)本专利技术的槽体的特征在于，以下述方式成型所述槽:使所述液流出部的末端附近的处理液的流量在两端部附近比在中央附近大。由此，考虑到与板状工件接触的处理液在顺着板状工件期间由于表面张力而集中在中心附近，能够对板状工件提供均匀的处理液量。(14)本专利技术的槽体的特征在于，在所述槽体内配置有多层液流下机构，所述液流下机构由所述液滞留部和所述液流出部构成。由此，能够从在多层位置设置的突出部对板状工件提供所希望的处理液量。(15)本专利技术的槽体具备:液滞留部，其用于使处理液滞留；液流下部件，其构成为使从所述液滞留部溢出的处理液流下；以及液接收部，其用于接收与被处理物接触后的处理液，所述槽体的特征在于，在所述液接收部设有缺口，所述缺口是设于所述液接收部的侧壁的沿铅直方向延伸的缺口，在所述搬送用吊架移动时，所述缺口供所述被处理物通过，从所述液流下部件的两端隔开间隔地设有所述液接收部的侧壁，在所述液接收部的所述侧壁设有所述缺口。由此，能够使从液滞留部溢出的处理液从突出部的末端朝向板状工件流出。【附图说明】图1是从上方观察表面处理装置300的配置图。图2是从α方向观察表面处理装置300的侧视图。图3是作为表面处理装置300的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面处理装置，所述表面处理装置具备：搬送用吊架，其用于搬送被处理物；槽体，其用于在内部使处理液附着于被所述搬送用吊架搬送的所述被处理物；以及搬送机构，其将所述搬送用吊架搬送到所述槽体内，所述表面处理装置的特征在于，所述槽体具备：液接收部，其用于接收与所述被处理物接触后的处理液；液滞留部，其设在比所述液接收部靠上方的位置，用于使欲与所述被处理物接触的所述处理液滞留；以及液流出部，其是用于使从所述液滞留部溢出并流下的所述处理液朝向被处理物流出的液流出部，且构成为末端从与所述液滞留部或所述液接收部连结的连结部突出。

【技术特征摘要】
2012.08.27 JP 2012-1864481.一种表面处理装置，所述表面处理装置具备:搬送用吊架，其用于搬送被处理物；槽体，其用于在内部使处理液附着于被所述搬送用吊架搬送的所述被处理物；以及搬送机构，其将所述搬送用吊架搬送到所述槽体内，所述表面处理装置的特征在于，所述槽体具备:液接收部，其用于接收与所述被处理物接触后的处理液；液滞留部，其设在比所述液接收部靠上方的位置，用于使欲与所述被处理物接触的所述处理液滞留；以及液流出部，其是用于使从所述液滞留部溢出并流下的所述处理液朝向被处理物流出的液流出部，且构成为末端从与所述液滞留部或所述液接收部连结的连结部突出。2.根据权利要求1的表面处理装置，其特征在于，所述表面处理装置还具备用于在大致水平方向搬送所述搬送用吊架的导轨，所述搬送用吊架被控制部控制成， 在设于所述导轨的冲击产生部上往复移动预定次数。3.根据权利要求1的表面处理装置，其特征在于，所述表面处理装置还具备用于在大致水平方向搬送所述搬送用吊架的导轨，所述搬送用吊架被控制部控制成，在设于所述导轨的多个冲击产生部上移动。4.根据权利要求1~3中的任意一项的表面处理装置，其特征在于，所述表面处理装置具备用于在大致水平方向搬送所述搬送用吊架的多个导轨，所述搬送用吊架固定于支承部件，所述支承部件安装成横跨所述多个导轨。5.根据权利要求1~4中的任意一项的表面处理装置，其特征在于，在与所述搬送方向垂直的方向相邻地配置多列所述表面处理装置，在相邻的表面处理装置之间共用导轨。6.根据权利要求1~5中的任意一项的表面处理装置，其特征在于，使所述液接收部与所述液滞留部经由循环泵连通。7.根据权利要求1~6中的任意一项的表面处理装置，其特征在于，在所述液接收部的侧壁设有缺口，所述缺口是沿铅直方向延伸的缺口，在所述搬送用吊架移动时，所述缺口供所述被处理物通过，以使存留于所述液接收部的处理液的液面位于比所述缺口的下端靠下的位置的方式，...

【专利技术属性】
技术研发人员：堀田辉幸，山本久光，内海雅之，石嵜隆浩，
申请(专利权)人：上村工业株式会社，
类型：发明
国别省市：