【技术实现步骤摘要】
磨片机游星片的改良构造
本技术属于用于单晶硅片生产领域,尤其涉及一种磨片机研磨盘主要工件载具一游星片的改良构造。
技术介绍
近年来,由于电子行业的飞速发展、产品需求的多元化,用于电子产品的最初原材料晶圆片也有新的提高,而娃片本身的技术参数,如表面粗糙度Ra/Rz、TTV、warp等,对娃片的要求也是越来越高。此外,用于硅片加工生产的原辅料的成本随着市场的发展呈递增趋势增长,而产品合格率提高则是从另一方面降低生产成本,故有必要对现有的磨片机游星片进行改造。游星片属于硅片研磨过程中不可缺少的一部分,但由于钢质游星片硬度较高,对于较薄的、不倒角或偏倒角的硅片损伤较大,易造成崩边、缺口、磨损等不良;而树脂材质的游星片又较软,机械强度不够,加工薄片时无法使用。
技术实现思路
本技术要解决的问题是克服现有的磨片机游星造成硅片质量不高,提供一种磨片机主要载具-游星片的改良构造,尤其适合用于提高硅片生产中的合格率。本技术采用的技术方案是:一种磨片机游星片的改良构造,包括内圈、外圈、外圈带动齿,它们组成一个圆形的磨片机游星片。 进一步,内圈、外圈结合处设有波纹状接合。更进一步,波纹状接合布满内圈与外圈的接合处。进一步,外圈为钢材质,内圈为树脂材质。所述的游星片为研磨时带动工件在上下磨盘内呈星形运动之用,经过此次结构改良,由原来的全部钢材质或全部树脂材质变更为外圈为钢材质,内圈为树脂材质,内外圈结合处以波纹状密切咬合。本技术具有的优点和积极效果是:内部树脂材质,可以起到减缓加工时的冲击力的作用,保护了工件,降低了硅片边缘崩边、缺口的几率;外圈钢圈部分起到加强机械强度,支撑内部 ...
【技术保护点】
一种磨片机游星片的改良构造,其特征在于:包括内圈、外圈、外圈带动齿,它们组成一个圆形的磨片机游星片。
【技术特征摘要】
1.一种磨片机游星片的改良构造,其特征在于:包括内圈、外圈、外圈带动齿,它们组成一个圆形的磨片机游星片。2.根据权利要求1所述的一种磨片机游星片的改良构造,其特征在于:所述内圈、外圈结合处设有波纹状接合。3...
【专利技术属性】
技术研发人员:苏荣义,李海龙,陈宗永,孙振生,周明月,许建虹,
申请(专利权)人:天津市环欧半导体材料技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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