泵的流量控制方法和涂膜形成方法技术

本发明专利技术提供一种由具有滑动部的驱动系统驱动而输送液体的泵（10）的流量控制方法，在泵（10）的动作初期，使流量保持在微小的第一流量（R1）后，使流量增加至稳定的第二流量（R）。根据该方法，在泵（10）的工作初期，预先建立泵（10）稳定在微小的第一流量的状态，以免发生粘滑现象，从该状态起增加泵流量，因此不发生静摩擦至动摩擦的转移，由电动机（12）的粘滑现象引起的泵流量的紊乱受到抑制。由此，能够稳定地控制泵（10）的工作初期的流量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对输送液体的泵的流量进行控制的方法和在涂敷面排出由泵输送的涂料形成涂膜的方法。
技术介绍
一般而言，在液体的输送用所使用的活塞泵、隔膜泵等的容积泵中，具有滑动部，因此发生轻微的粘滑(stick slip)现象，为了挽回时间的、位置的延迟，利用伺服电动机(伺服电机)等具有反馈机构的电动机控制泵的流量(例如参照专利文献I)。图3是表示这种隔膜泵的一个例子的概略结构的框图。该泵10包括主体11、线性电动机12、活塞13、隔膜14、连结模块16、线性电动机模块17、线性电动机导向件18。在主体11的一端面形成有吸入口 IlA和排出口 11B。在主体11的另一端面侧安装有线性电动机12。在主体11内形成有压力室IlC和动力室11D。压力室IlC和动力室IlD由被支承于主体11的隔膜14隔离。吸入口 IlA和排出口 IlB与压力室IlC连通。在动力室IlD中，在主体11的内壁设置有线性电动机导向件18。在线性电动机导向件18，自由滑动地设置有线性电动机模块17。活塞13经由连结模块16与线性电动机模块17连结。在隔膜14的动力室IlD侧的面，突出地设置有凸起14A。在凸起14A插装有活塞13的前端。在该隔膜泵的结构中，当线性电动机12被驱动时，活塞13在固定的直线轨道上往复运动，隔膜14也与其联动进行往复运动。由此，压力室IlC内的压力发生脉动，从吸入口IlA吸入的液体被从排出口 IlB排出。线性电动机12具有反馈机构。换而言之，命令部20经由控制部30控制线性电动机12，检测器40确认控制状态并反馈至控制部30.控制部30对检测信号和指令信号(目标值)进行比较，当存在差时，使线性电动机12向减少与目标值的差量的方向动作。这样，与目标位置的差量减少。反复进行该步骤，最终到达目标值或继续该步骤直至进入允许范围。如图4 (A)所示，考虑如下情况:在作为泵10的待机期间的时间Tl之前，指令信号为零，在时间Tl，使指令信号从零开始线性增加，在时间T2 (T2 > Tl)达到稳定值S，之后保持在该值。在上述泵10的结构中，线性电动机模块17沿线性电动机导向件18滑动，因此在该滑动部F中从静摩擦转移至动摩擦的最初期间发生粘滑现象。换而言之，表示线性电动机12的实际工作状态的检测信号不能追随指令信号，稍微延迟，从时间Tl’(Tl’ > Tl)起开始增加。由此，检测信号与目标值间产生差。上述反馈机构进行控制以使该差减少。然而，反馈机构采用特有的控制也具有难点，但是为了快速挽回不足之处，对信号加速，在时间TA (Tl < TA < T2)检测信号达到目标值后，该加速的趋势不能快速停止，而如图所示导致调整过多。现在，为了消除该过剩量，反馈机构向相反方向工作。因此，使差异收敛到零附近需花费一定程度的时间TB (TA < TB < T2)。这样，反馈机构工作期间的线性电动机12的动作也会对泵10的流量带来影响。换而言之，在图4 (B)的例中，在时间Tl?TA期间，与理想流量相比，流量不足，在时间TA?TB期间，与理想流量相比，流量过剩。即，至少在时间Tl?TB期间，泵的流量出现紊乱，变得不稳定。特别是，在泵的流量对产品的品质产生直接影响的用途例如固态成分浓度高且液膜的形状原样地反映于干燥膜上的用途、在基板上均匀形成膜厚IOOnm以下的薄膜的用途等中，不能控制泵的工作初期的膜厚，存在不能有效利用涂敷在基板上的面积的问题。现有技术问题专利文献专利文献1:日本特开2005-76492号公报
技术实现思路
专利技术想要解决的技术问题本专利技术是为了解决上述的技术问题而完成的，其目的在于能够稳定地控制泵的工作初期的流量。用于解决技术问题的技术方案本专利技术的泵的流量控制方法是由具有滑动部的驱动系统驱动而输送液体的泵的流量控制方法，其中，在泵的工作初期，使流量保持在微小的第一流量后，使流量增加至稳定的第二流量。根据该方法，在泵的工作初期，预先建立泵稳定在微小的第一流量的状态，使得不发生粘滑现象，从该状态起使泵流量增加，因此不发生静摩擦至动摩擦的转移，电动机的粘滑现象引起的泵流量的紊乱受到抑制。由此，能够稳定地控制泵的工作初始的流量。例如，能够进行使流量线性地从上述第一流量增加至上述第二流量的控制。此外，在从停止状态开始以第一流量排出的状态的情况下发生的粘滑引起的流量排出不稳定，因为第一流量极其微小，所以对膜产生的影响能够抑制得极其微小。另外，本专利技术的涂膜形成方法使用利用上述方法控制流量的泵和排出由该泵输送的涂料的喷嘴头，其中，通过使上述喷嘴头接近平坦的涂敷面，从该喷嘴头连续地排出上述涂料，而在上述喷嘴头与上述涂敷面之间形成上述涂料的积液，通过使上述涂敷面水平移动，使上述涂料的积液在上述涂敷面上相对移动。由此，沿着从喷嘴头排出的涂料的移动轨迹，在涂敷面形成涂料的涂膜。该涂膜能够通过使涂敷面的移动速度与上述泵的流量同步，能够控制膜厚。具体而言，在涂敷面的移动速度与泵的流量之间建立比例关系，由此能够使膜厚均匀。另外，也可以将喷嘴头支承于可动支承部件并使喷嘴头在涂敷面上水平移动，来替代使涂敷面水平移动。由此，也能够使涂料的积液在涂敷面上移动，同样形成涂膜。专利技术效果根据本专利技术，能够使泵的工作初期的流量稳定。【附图说明】图1 (A)是表示本专利技术方法的泵的工作初期的电动机驱动的指令信号和检测信号的时间变化的一个例子的图。图1 (B)是表示本专利技术方法的泵的工作初期的流量的时间变化的图。图2是表示本专利技术的泵的流量控制和涂敷速度控制的一个例子的时序图。图3是表示隔膜泵的一个例子的概略结构的框图。图4 (A)是表示现有技术方法的泵的工作初期的电动机驱动的指令信号和检测信号的时间变化的一个例子的图。图4 (B)是表示现有技术方法的泵的工作初期的流量的时间变化的图。【具体实施方式】以下，参照附图，对本专利技术的实施方式的泵的流量控制方法进行说明。在以下的说明中，作为容积泵的一个例子，以使用与图3相同结构的隔膜泵的情形为例进行说明。其中，本专利技术所适用的泵并不限于隔膜泵。例如，也能够适用于活塞泵等发生粘滑现象的泵。本专利技术中，如图1 (A)所示，达到作为线性电动机12的待机期间的时间Tl之前，预先赋予微小的规定信号值Si的指令信号，使检测信号与指令信号一致。换言之，用微小的输入使线性电动机12加热驱动，预先成为不发生粘滑现象的状态，即受到动摩擦力、由反馈控制引起的泵流量的紊乱受到抑制的状态。这样，在时间Tl，检测信号成为能够追随指令信号的状态。另外，从时间Tl至时间T2，使指令信号线性增加至稳定值S，之后保持该稳定值。检测信号能够追随指令信号，线性电动机12按指令信号驱动。该结果，如图1 (B)所示，泵10的流量也在时间Tl稳定为微小的第一流量R1，从时间Tl至时间T2，流量线性增加，以后维持在作为稳定流量的第二流量R。因此，能够完全控制时间Tl以后的泵10的流量，在现有技术中不能控制流量的时间带(参照图4的时间Tl?TB。)中也能够稳定地控制流量。相反而言，不能控制时间Tl前的流量，但该期间输送的液体极其微小，因此不会对液体的消耗量带来很大影响。另外，在后述的涂膜形成的用途中，该期间是保持形成在涂敷面的被称为珠(bead)的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种由具有滑动部的驱动系统驱动而输送液体的泵的流量控制方法，其特征在于：在泵的工作初期，使流量保持为微小的第一流量后，使流量增加至稳定的第二流量，由此抑制所述泵从停止状态转移至工作状态时作用于所述滑动部的摩擦引起的流量的紊乱。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.06.01 JP 2011-1232441.一种由具有滑动部的驱动系统驱动而输送液体的泵的流量控制方法，其特征在于: 在泵的工作初期，使流量保持为微小的第一流量后，使流量增加至稳定的第二流量，由此抑制所述泵从停止状态转移至工作状态时作用于所述滑动部的摩擦弓I起的流量的紊乱。2.一种涂膜形成方法，其特征在于:其使用利用如权利要求1所述的方法控制流量的泵和排出由该泵输送的涂料的喷嘴头， 通过使所述喷嘴头接近平坦的涂敷面，从该喷嘴头连续地排出所述涂料，而在所述喷嘴头与所述涂敷面之间形成所述涂料的积液，...

【专利技术属性】
技术研发人员：五十川良则，
申请(专利权)人：龙云株式会社，
类型：
国别省市：