【技术实现步骤摘要】
太阳能电池激光开孔波形
本专利技术涉及一种太阳能电池激光开孔波形，属于太阳能光伏电池制造领域。
技术介绍
降低生产成本、提高转换效率几乎是所有太阳能电池厂商迫切需要解决的问题，为此各类技术层出不穷，激光技术就是其中一种。目前很多太阳能电池工艺中如激光刻边、激光掺杂、钝化介质膜烧蚀、MWT\IBC\LFC\薄膜电池等都有用到激光技术。激光技术为优化太阳电池制造、提高转换效率发挥着越来越重要的作用。目前光伏电池中使用的激光一般都采用YAG激光器以单脉冲输出波形，其中波形形状各异，有矩形方波也有高斯波形等。虽然有很多优点，但是也存在很多缺点，特别是在激光开孔工艺中，如激光烧蚀SiN/AlOx膜、MWT\IBC等工艺，由于这种单脉冲波形的能量范围一般为几个焦耳，高能量带来的熔融物在孔中的体积很大，产生较大的孔径误差容易出现锥形、孔尺寸重复性差等缺陷；另外由于升降温速度快容易造成热应力、损伤、微裂纹等缺陷；同时飞溅物对激光的吸收、光束的散焦等原因，使激光功率密度降低，使气化速度降低，由此熔融物增加造成溅污，甚至堵塞孔造成开孔失效。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种太阳能电池激光开孔波形，解决现有单脉冲激光开孔采用矩形方波或高斯波形存在的上述不足，通过本专利技术使形成的孔更加光滑、更小的损伤和更加稳定的开孔尺寸。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的，一种太阳能电池激光开孔波形，其特征是，将若干个单脉冲波形叠加在一个脉冲波形中，从而形成一个大的有多个能量峰值的多脉冲波形。所述若干个单脉冲波形叠加为二至十个单脉冲波形。所述多脉冲波形的脉宽为几个单脉冲波...
【技术保护点】
一种太阳能电池激光开孔波形，其特征是，将若干个单脉冲波形叠加在一个脉冲波形中，从而形成一个大的有多个能量峰值的多脉冲波形。
【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池激光开孔波形，其特征是，将若干个单脉冲波形叠加在一个脉冲波形中，从而形成一个大的有多个能量峰值的多脉冲波形。2.根据权利要求1所述的太阳能电池激光开孔波形，其特征是，所述若干个单脉冲波形叠加为2-10个单...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶权华，郑飞，
申请(专利权)人：中电电气扬州光伏有限公司，
类型：发明
国别省市：
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