一种碎屑收集装置和包括该装置的EUV光源系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种碎屑收集装置。所述碎屑收集装置包括金属液滴产生装置(10)和金属液滴收集装置(11)，所述金属液滴产生装置(10)位于所述金属液滴收集装置(11)的正上方，且具有开口竖直向下的多个喷射口，每个喷射口可以喷射出具有一定间隔的金属液滴组成的金属液滴串。金属液滴收集装置(11)具有一个正对所述金属液滴帘(12)的液滴入口，使得所述金属液滴帘(12)流入该液滴入口后被收集。本实用新型专利技术能够有效地降低碎屑含量，能够应用于EUV光源系统中，从而有效地降低碎屑的污染和元件的损坏。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种碎屑收集装置，其特征在于：包括位于碎屑传播路径上的金属液滴产生装置(10)，该金属液滴产生装置(10)用于产生一个金属液滴帘。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王宇，谢婉露，吴晓斌，张罗莎，陈进新，王魁波，罗艳，
申请(专利权)人：中国科学院光电研究院，
类型：实用新型
国别省市：