一种真空沉积系统及其旋转馈入装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种真空沉积系统及其旋转馈入装置。真空沉积系统包括旋转馈入装置及真空腔室。旋转馈入装置安装于真空腔室的安装孔，其包括第一固定组件、传动轴、第一动密封组件及第一直驱马达；第一固定组件的第一固定座上设有轴孔；第一动密封组件安装于轴孔中；传动轴绕自身轴向转动穿设第一动密封组件；第一直驱马达安装于第一固定组件。采用直驱马达作为动力源，第一直驱马达可直接驱动传动轴转动，其连接方式更加简捷，并使得整个旋转馈入装置的结构简捷轻巧，节约了整个装置的成本，且方便后期的设备安装维护；第一直驱马达的传动声音小、寿命长、控制精度更加准确，且工作时产生的振动小，可有效保证真空沉积系统的高精度、无污染。

【技术实现步骤摘要】
一种真空沉积系统及其旋转馈入装置
本专利技术涉及真空沉积镀膜，尤其涉及一种真空沉积系统及其旋转馈入装置，可应用于TFT-1XD、太阳能薄膜电池、半导体芯片、晶圆等薄膜工艺制备和生产的真空镀膜系统中。
技术介绍
薄膜沉积模块的生产包括将基片(例如玻璃板)运入且运出沉积系统中的一个或多个真空室，在沉积系统，半导体材料的薄膜层被沉积至基片的表面上。该沉积过程可以是任何已知的过程，例如封闭空间升华系统(CSS)，化学气象沉积系统(CVD)或物理气象沉积系统(PVD)。输送基片通过真空室结构的沉积系统典型地使用受驱动的输送机或其他合适的输送装置。在维持结构内高真空状态的同时，需要在真空室内建立受控制的旋转运动以驱动输送机。为该目的而提供的传统的旋转馈入是相对复杂且通常需要由室壁内或室壁外的轴承支撑的通轴。该轴又可操作地连接至齿轮箱或马达，马达经由直接联接、带传动或链传动提供旋转驱动。现有技术中一种用于真空室结构的旋转馈入装置，应用于太阳能光伏产业。其旋转馈入装置包括具有外壳和轴的齿轮箱，轴由包含在外壳内的轴承可旋转地支承。马达可操作地联接至齿轮箱外壳以驱动轴，且轴从齿轮箱延伸。第一动密封组件可操作地设置在齿轮箱外壳和室壁之间，且轴设置成穿过第一动密封组件并且延伸穿过在室壁中的孔并进入结构的内部。经由齿轮箱外壳中的轴承，轴由轴承可旋转地支承。这些传统的装置是相对昂贵、复杂且笨重 的，不利于设备的安装维护。另外，随着薄膜沉积技术的发展，生产工艺在保证膜层质量的基础上，提出了提高生产效率，降低制造成本的要求，那么传输机构就不会局限于一种动作，为降低设备成本，增加薄膜产品的竞争力，如何利用一个旋转馈入装置同时能满足两种不同运动功能就成为了行业发展迫切的需求。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于，提供一种真空沉积系统及其旋转馈入装置，结构简捷轻巧，成本低，安装维护方便，控制精度准确。为了解决上述技术问题，一方面，本专利技术的实施例提供了一种旋转馈入装置，括第一固定组件、传动轴、第一动密封组件及第一直驱马达；所述第一固定组件包括第一固定座，所述第一固定座上设有轴孔；所述第一动密封组件安装于所述轴孔中，用于所述传动轴与所述第一固定座之间的密封；所述传动轴绕自身轴向转动穿设所述第一动密封组件；所述第一直驱马达安装于所述第一固定组件，所述第一直驱马达的输出端连接于所述传动轴，以驱动所述传动轴转动。其中，所述第一固定座为一端闭合的筒状,所述轴孔开设在第一固定座的闭合端；所述第一固定座上相对闭合端的另一端密封设置以形成一密闭腔体，所述第一直驱马达的输出端位于该密闭腔体中。其中，所述第一固定组件还包括第一支撑套筒及第一端盖，所述第一固定座上相对闭合端的另一端与所述第一支撑套筒的一端固定连接，所述第一支撑套筒的另一端与所述第一端盖固定连接；所述第一直驱马达位于所述第一支撑套筒中。其中，所述第一动密封组件包括套筒、磁流体密封件及密封圈，所述套筒固定于所述轴孔中，所述密封圈设置在所述套筒与所述第一固定组件之间，所述传动轴绕自身轴向转动套设在所述套筒内，所述磁流体设置在所述套筒的内壁与所述传动轴之间。其中，所述旋转馈入装置还包括第二固定组件及第二直驱马达；所述第一固定组件转动连接于第二固定组件；所述第二直驱马达固定于第二固定组件，其输出端连接于所述第一固定组件或所述第一直驱马达，以驱动所述第一固定组件转动。其中，所述第二固定组件包括第二固定座，所述第二固定座为环状，所述第一固定座转动套设在所述第二固定座内；所述第一固定座与所述第二固定座之间设有第二动密封组件，所述第二动密封组件包括两个同轴设置的两个动密封圈及真空管道，所述第一固定座、所述第二固定座与两个所述动密封圈之间形成环状的密封空间，所述真空管道设置在所述第二固定座上，所述 真空管道的一端连通至所述密封空间、另一端连通至一真空抽气>J-U ρ?α装直。其中，所述传动轴、所述第一直驱马达及所述第二直驱马达同轴设置。另一方面，本专利技术还提供了一种真空沉积系统，包括前述的旋转馈入装置及真空腔室，所述真空腔室的腔壁上设有安装孔，所述旋转馈入装置安装于所述安装孔处；所述旋转馈入装置的第一固定组件安装于所述安装孔，所述旋转馈入装置的第一直驱马达位于所述真空腔室外、传动轴上远离所述第一直驱马达的一端位于所述真空腔室中。其中，所述旋转馈入装置还包括第二固定组件及第二直驱马达；所述第二固定组件密封固定于所述安装孔，所述第一固定组件转动连接于所述第二固定组件；所述第二直驱马达固定于第二固定组件，其输出端连接于所述第一固定组件或所述第一直驱马达，以驱动所述第一固定组件转动。其中，所述真空沉积系统还包括设置在所述真空腔室中的传输装置；所述传输装置包括叉手及旋转台；所述叉手通过直线导向组件直线滑动连接于所述旋转台；所述叉手与所述传动轴之间设有传动组件，用于将所述传动轴的转动转化为所述叉手的直线移动；所述旋转台转动设置于所述真空腔室的内壁，所述旋转台固定连接于所述第一固定组件。本专利技术提供的真空沉积系统及其旋转馈入装置，采用直驱马达作为动力源，第一直驱马达可直接驱动传动轴转动，无需联轴器或传动机构等，其连接方式更加简捷，并使得整个旋转馈入装置的结构简捷轻巧，可直接安装于真空腔室的外壁而无需其他支撑结构，节约了整个装置的成本，且方便后期的设备安装维护；由于结构简捷，在工作做成中产生的颗粒粉尘等污染少，有利于保证真空腔室的洁净；第一直驱马达的传动声音小、寿命长、控制精度更加准确，且工作时产生的振动小，可有效保证真空沉积系统的高精度、无污染。【附图说明】为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术第一实施方式提供的真空沉积系统的结构示意图；图2是图1的真空沉积系统中传输装置与中转室的示意图；图3是图2中真空沉积系统的局部剖面图；图4是本专利技术第二实施方式提供的真空沉积系统的示意图；图5是本专利技术第三实施方式提供的真空沉积系统的示意图。【具体实施方式】下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。参见图1至图3，为本专利技术中第一实施例提供的一种真空沉积系统。本实施例中，真空沉积系统为簇式(cluster type)真空沉积系统。如图1所示，真空沉积系统包括真空腔室、传输装置2及旋转馈入装置3。真空腔室为多个，分别是:进出室11、至少一个反应室12、及中转室13。基片通过进出室11进行上下料，每个反应室12、进出室11、与中转室13之间均设有活动闸阀，每个真空腔室分别与真空系统连接，以保证每个真空腔室的真空环境的相对独立，可单独调节每个真空腔室内的压力大小。本实施例中反应室12为多个，可在一个真空沉积系统中对基片进行多种膜层沉积，可在一个反应室12中沉积完成一种膜层后通过中转室13利用传输装置2将基片传输到另一个反应室12中进行沉积第二膜层，既提高了生产节拍，又因为避免了膜层的交叉感染，保证了膜层质量，该种真空沉积系统也必将成为新沉积系统的发展趋势。传本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种旋转馈入装置，其特征在于，包括第一固定组件、传动轴、第一动密封组件及第一直驱马达；所述第一固定组件包括第一固定座，所述第一固定座上设有轴孔；所述第一动密封组件安装于所述轴孔中，用于所述传动轴与所述第一固定座之间的密封；所述传动轴绕自身轴向转动穿设所述第一动密封组件；所述第一直驱马达安装于所述第一固定组件，所述第一直驱马达的输出端连接于所述传动轴，以驱动所述传动轴转动。

【技术特征摘要】
1.一种旋转馈入装置，其特征在于，包括第一固定组件、传动轴、第一动密封组件及第一直驱马达； 所述第一固定组件包括第一固定座，所述第一固定座上设有轴孔； 所述第一动密封组件安装于所述轴孔中，用于所述传动轴与所述第一固定座之间的密封； 所述传动轴绕自身轴向转动穿设所述第一动密封组件； 所述第一直驱马达安装于所述第一固定组件，所述第一直驱马达的输出端连接于所述传动轴，以驱动所述传动轴转动。2.根据权利要求1所述的旋转馈入装置，其特征在于，所述第一固定座为一端闭合的筒状，所述轴孔开设在第一固定座的闭合端；所述第一固定座上相对闭合端的另一端密封设置以形成一密闭腔体，所述第一直驱马达的输出端位于该密闭腔体中。3.根据权利要求2所述的旋转馈入装置，其特征在于，所述第一固定组件还包括第一支撑套筒及第一端盖，所述第一固定座上相对闭合端的另一端与所述第一支撑套筒的一端固定连接，所述第一支撑套筒的另一端与所述第一端盖固定连接；所述第一直驱马达位于所述第一支撑套筒中。4.根据权利要求1所述的旋转馈入装置，其特征在于，所述第一动密封组件包括套筒、磁流体密封件及密封圈，所述套筒固定于所述轴孔中，所述密封圈设置在所述套筒与所述第一固定组件之间，所述传动轴绕自身轴向转动套设在所述套筒内，所述磁流体设置在所述套筒的内壁与所述传动轴之间。5.根据权利要求1至4任一项所述的旋转馈入装置，其特征在于，所述旋转馈入装置还包括第二固定组件及第二直驱马达； 所述第一固定组件转动连接于第二固定组件； 所述第二直驱马达固定于第二固定组件，其输出端连接于所述第一固定组件或所述第一直驱马达，以驱动所述第一固定组件转动。6.根据权利要求5所述的旋转馈入装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：何祝兵，苏奇聪，王春柱，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：发明
国别省市：