一种有机场效应管的绝缘涂层制造技术

本发明专利技术公开了一种有机场效应管的绝缘涂层，所述的绝缘涂层包括第一绝缘层和第二绝缘层，所述的第一绝缘层通过阳极氧化法制备在有机场效应管的栅极上，所述的栅极采用厚度为560nm的钽膜基片，所述的第二绝缘层通过溶液旋涂法旋涂在第一绝缘层上。本发明专利技术揭示了一种有机场效应管的绝缘涂层，该绝缘涂层表面光滑、制备简便，其不仅漏电流小，具有优异的绝缘性能，而且大大降低了有机场效应管的工作电压，易于推广运用。

【技术实现步骤摘要】
一种有机场效应管的绝缘涂层
本专利技术属于一种绝缘涂层，尤其涉及一种有机场效应管的绝缘涂层，属于绝缘材 料
。
技术介绍
有机场效应管以其制备工艺简单、成本低、可与柔性衬底相兼容、易于大面积制备 等诸多优点而在电子元器件中受到人们的青睐。栅绝缘层是有机场效应管的重要组成部 分，它主要通过电容原理来达到控制器件的目的，绝缘材料的选择及绝缘层表面性质对有 机场效应管性能会有很大影响。近年来，对于有机场效应管的应用开发取得了长足的进步。目前，对于有机场效应管的应用开发虽然取得了很大的进步，但大部分有机场效 应管由于使用低介电常数材料如二氧化硅或有机绝缘材料作为绝缘层，使得器件工作电压 较高，一般大于50V，这对于有机场效应管的实际运用非常不利。为了降低器件的工作电压， 一些制造厂家采用具有高介电常数的无机氧化物绝缘材料来作为栅绝缘层，但以这些材料 制备的栅绝缘层通常有较大的漏电流和较差的表面特性，严重降低了器件的性能。
技术实现思路
针对上述需求，本专利技术提供了一种有机场效应管的绝缘涂层，该绝缘涂层表面光 滑、制备简便，其不仅漏电流小，具有优异的绝缘性能，而且大大降低了有机场效应管的工 作电压，易于推广运用。本专利技术是一种有机场效应管的绝缘涂层，所述的绝缘涂层包括第一绝缘层和第二 绝缘层，所述的第一绝缘层通过阳极氧化法制备在有机场效应管的栅极上，所述的栅极采 用厚度为560nm的钽膜基片，所述的第二绝缘层通过溶液旋涂法旋涂在第一绝缘层上。在本专利技术一较佳实施例中，所述的第一绝缘层材料为五氧化二钽，其厚度为 210nmo在本专利技术一较佳实施例中，所述的第一绝缘层的制备包括如下步骤:1)将钽膜基 片浸入柠檬酸溶液作为阳极，以钼材料作为阴极；2)通电流3?4h完全氧化阳极，制得五氧化二钽薄膜。在本专利技术一较佳实施例中，所述的第二绝缘层材料为聚甲基丙烯酸甲酯，其厚度 为 55nm。在本专利技术一较佳实施例中，所述的第二绝缘层的制备是将钽/五氧化二钽薄膜基 片转入氮气手套箱中，旋涂溶有聚甲基丙烯酸甲酯的氯苯溶液而完成的。在本专利技术一较佳实施例中，所述的氯苯溶液浓度为2.2wt%，旋涂转速为2500r/ min,旋涂时间为lmin。本专利技术揭示了一种有机场效应管的绝缘涂层，该绝缘涂层表面光滑、制备简便，其 不仅漏电流小，具有优异的绝缘性能，而且大大降低了有机场效应管的工作电压，易于推广 运用。【附图说明】下面结合附图和【具体实施方式】对本专利技术作进一步详细的说明:图1是本专利技术实施例有机场效应管绝缘涂层及有机场效应管的结构示意图；附图中各部件的标记如下:1、钽膜基片，2、第一绝缘层，3、第二绝缘层，4、有机薄膜 层，5、金属招源漏电极。【具体实施方式】下面结合附图对本专利技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本专利技术的优点和特征能 更易于被本领域技术人员理解，从而对本专利技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。图1是本专利技术实施例有机场效应管绝缘涂层及有机场效应管的结构示意图；该绝 缘涂层包括第一绝缘层2和第二绝缘层3，所述的第一绝缘层2通过阳极氧化法制备在有机 场效应管的栅极上，所述的栅极采用厚度为560nm的钽膜基片1，所述的第二绝缘层3通过 溶液旋涂法旋涂在第一绝缘层2上。本专利技术提及的有机场效应管的绝缘涂层采用了双绝缘层结构，其中，第一绝缘层2 材料为五氧化二钽，第二绝缘层3材料为聚甲基丙烯酸甲酯，与传统的单一绝缘层有机场 效应管相比，该双绝缘层有机场效应管不仅电学性能极大提高，而且工作电压大幅降低。本 专利技术中的有机场效应管采用99.999%的钽耙材，通过直流溅射的方式将钽沉积在洗净的玻 璃基片上作为栅极；溅射时本底的真空度为0.0OlPa，溅射功率为130W，溅射时间为25min。本专利技术提出的有机场效应管绝缘涂层中的第一绝缘层2厚度为210nm，其通过在 2g/L的柠檬酸溶液中进行阳极氧化反应而制得。具体制备过程为:先将栅极钽膜基片I浸 入柠檬酸溶液作为阳极，以钼材料作为阴极，然后加0.2mA/cm2的恒定电流密度，当两电极 之间的电压升高到100V时，保持恒定这个电压不变，随着两极间的电阻逐渐变大，电流逐 渐变小，通流3?4h后，电流达到luA，此时阳极氧化反应结束，栅极钽膜基片I表面形成厚 度为2IOnm的五氧化二钽薄膜。该有机场效应管绝缘涂层中的第二绝缘层3厚度为55nm，其通过溶液旋涂法制 备，具体制备过程为:先将制备好的钽/五氧化二钽薄膜基片洗净烘干，然后将其转入氮气 手套箱中，旋涂溶有聚甲基丙烯酸甲酯的氯苯溶液，即可制得厚度为55nm的聚甲基丙烯酸 甲酯薄膜；其中，氯苯溶液浓度为2.2wt%，旋涂转速为2500r/min，旋涂时间为lmin。由于在 第一绝缘层2上又制备了一层聚甲基丙烯酸甲酯薄膜，大大增加了绝缘层表面的平滑度， 经测试，其表面粗糙度仅为0.3nm，从而大幅提高了有机场效应管器件的电学性能。将制备 好的钽/五氧化二钽/聚甲基丙烯酸甲酯基片转入蒸发系统蒸镀有机薄膜层4，再掩膜蒸镀 金属铝源漏电极5，即可制成有机场效应管器件。本专利技术揭示了一种有机场效应管的绝缘涂层，该绝缘涂层表面光滑、制备简便，其 不仅漏电流小，具有优异的绝缘性能，而且大大降低了有机场效应管的工作电压，易于推广 运用。以上所述，仅为本专利技术的【具体实施方式】，但本专利技术的保护范围并不局限于此，任何 熟悉本领域的技术人员在本专利技术所揭露的技术范围内，可不经过创造性劳动想到的变化或 替换，都应涵盖在本专利技术的保护范围之内。因此，本专利技术的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机场效应管的绝缘涂层，其特征在于，所述的绝缘涂层包括第一绝缘层和第二绝缘层，所述的第一绝缘层通过阳极氧化法制备在有机场效应管的栅极上，所述的栅极采用厚度为560nm的钽膜基片，所述的第二绝缘层通过溶液旋涂法旋涂在第一绝缘层上。

【技术特征摘要】
1.一种有机场效应管的绝缘涂层，其特征在于，所述的绝缘涂层包括第一绝缘层和第 二绝缘层，所述的第一绝缘层通过阳极氧化法制备在有机场效应管的栅极上，所述的栅极 采用厚度为560nm的钽膜基片，所述的第二绝缘层通过溶液旋涂法旋涂在第一绝缘层上。2.根据权利要求1所述的有机场效应管的绝缘涂层，其特征在于，所述的第一绝缘层 材料为五氧化二钽，其厚度为210nm。3.根据权利要求2所述的有机场效应管的绝缘涂层，其特征在于，所述的第一绝缘层 的制备包括如下步骤:1)将钽膜基片浸入柠檬酸溶液作为阳极，以钼材料作...

【专利技术属性】
技术研发人员：周巧芬，
申请(专利权)人：昆山市奋发绝缘材料有限公司，
类型：发明
国别省市：