一种掩模板清洗机的夹持机构制造技术

本发明专利技术涉及掩模板清洗机设备，具体地说是一种掩模板清洗机的夹持机构，包括底托，该底托上设有多个高度不同的支撑座，各支撑座围成夹持区域，每个支撑座上均安装有挡柱和支柱；尺寸小的掩模板通过高度较矮的支撑座上的支柱支撑，并通过挡柱夹持；尺寸大的掩模板通过高度较高的支撑座上的支柱支撑，并通过挡柱夹持；所述多个高度不同的支撑座设置在底托的边缘，分为矮支撑座和高支撑座，所述矮支撑座和高支撑座间隔设置。本发明专利技术将不同高度的支撑座间隔地设置在底托上，减少了一个底托，实现了将两种不同尺寸的掩模板安装于一个夹持机构的目的，并且类似的尺寸差别较大的两种掩模板夹持机构都可进行类似的设计，降低了制造成本。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种掩模板清洗机的夹持机构，其特征在于：包括底托（1），该底托（1）上设有多个高度不同的支撑座，各支撑座围成夹持区域，每个支撑座上均安装有挡柱（3）和支柱（5）；尺寸小的掩模板通过高度较矮的支撑座上的支柱（5）支撑，并通过挡柱（3）夹持；尺寸大的掩模板通过高度较高的支撑座上的支柱（5）支撑，并通过挡柱（3）夹持。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：海树岩，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：