升针机构和升举装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种升针机构和升举装置，涉及半导体制造技术领域，使升针的固定更加牢固。该升针机构包括：导杆；升针固定套筒，所述升针固定套筒的底部与所述导杆的顶部固定连接；所述导杆的顶端与所述升针固定套筒的顶端之间设置有挡翼固定部；所述挡翼固定部包括升针通道，所述升针通道从所述升针固定套筒的顶端向底端方向延伸；所述升针通道的侧面设置有挡翼沟槽，所述挡翼沟槽从所述升针固定套筒的顶端向底端方向延伸至第一拐点，所述挡翼沟槽在所述第一拐点处弯折并沿所述升针固定套筒的横截面方向延伸；所述升针通道中设置有升针，所述升针的顶端从所述升针固定套筒的顶端伸出，所述升针上设置有挡翼，所述挡翼位于所述挡翼沟槽中。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
升针机构和升举装置
本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种升针机构和升举装置。
技术介绍
刻蚀是半导体晶片加工过程中的重要工艺过程，刻蚀工艺是在反应腔中进行的，因此需要在刻蚀之前和刻蚀之后对反应腔中的晶片进行取放，晶片的取放过程通常是由升举装置完成的。如图1所示和图2所示，现有的升举装置包括驱动机构1、传动机构3和三个升针机构，驱动机构I固定在驱动机构支架11上，每个升针机构包括波升针21、导杆22、紧固套筒23和金属套筒24，其中金属套筒24与导杆22固定连接，利用金属套筒24将紧固套筒23直径变小来夹紧升针21。该升针机构还可以包括波纹管2，导杆22套设于波纹管2中，波纹管2可以固定设置于驱动机构支架11上。具体地，传动机构3包括波纹管支架31和曲柄32，导杆22设置在波纹管支架31上，波纹管支架31通过曲柄32与驱动机构I连接，驱动机构I通过驱动传动机构来控制导杆22上下运动。然而，现有的升针机构中，紧固套筒很难牢固的夹紧升针，从而容易出现升针的松动，在工艺腔抽真空的瞬间，松动的升针可能会向上窜动，改变升针原有的位置，导致取放晶片的过程中升针被撞断，或者由于改变晶片的位置导致晶片损坏。并且升针的安装困难，需要在安装前调节紧固套筒，紧固套筒调节的太紧会使升针无法安装或者紧固套筒调节的太松会使升针达不到安装标准。
技术实现思路
本技术提供一种升针机构和升举装置，使升针的固定更加牢固。为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案:一方面，提供一种升针机构，包括导杆、升针固定套筒和升针，所述升针固定套筒的底部与所述导杆的顶部固定连接；所述导杆的顶端与所述升针固定套筒的顶端之间设置有挡翼固定部；所述挡翼固定部包括升针通道，所述升针通道从所述升针固定套筒的顶端向底端方向延伸；所述升针通道的侧面设置有挡翼沟槽，所述挡翼沟槽从所述升针固定套筒的顶端向底端方向延伸至第一拐点，所述挡翼沟槽在所述第一拐点处弯折并沿所述升针固定套筒的横截面方向延伸；所述升针通道中设置有所述升针，所述升针的顶端从所述升针固定套筒的顶端伸出，所述升针上设置有挡翼，所述挡翼位于所述挡翼沟槽中。进一步地，所述导杆的顶端与所述升针固定套筒的侧壁形成腔体，所述腔体位于所述挡翼固定部和所述导杆的顶端之间；所述升针通道从所述升针固定套筒的顶端向底端方向连通至所述腔体；所述升针固定套筒的腔体中设置有与所述升针固定套筒具有相同轴向的压缩弹簧;所述升针的底端与所述压缩弹簧的顶端之间设置有弹簧挡片；所述升针和所述压缩弹簧通过所述弹簧挡片连接。具体地，所述挡翼沟槽在所述第一拐点处弯折并沿所述升针固定套筒的横截面方向延伸至第二拐点，所述挡翼沟槽在所述第二拐点处弯折并向所述升针固定套筒的顶端方向延伸至第三拐点，所述挡翼沟槽在所述第三拐点处弯折并沿所述升针固定套筒的横截面方向延伸。进一步地，所述升针的顶端设置有橡胶减震头。具体地，所述挡翼为两个，所述两个挡翼关于所述升针的轴对称；所述挡翼沟槽为两条，所述两条挡翼沟槽关于所述升针通道的轴对称。优选地，所述升针由树脂材料制成。另一方面，提供一种升举装置，包括驱动机构、传动机构和至少三个升针机构，每个升针机构为上述的升针机构；每个所述升针机构中的导杆通过所述传动机构连接于所述驱动机构，所述驱动机构用于通过所述传动机构驱动所述导杆带动升针运动。本技术提供的升针机构和升举装置，通过设置有挡翼的升针和设置有挡翼沟槽的升针固定套筒配合安装，使升针的挡翼在挡翼沟槽的弯折处被固定，这种固定方式更加牢固，避免了在工艺腔抽真空的过程中升针的窜动，从而防止了取放晶片的过程中升针被撞断、或者由于改变晶片的位置导致晶片损坏。并且升针的安装更加方便，无需在安装前调节紧固套筒，同时避免了紧固套筒调节的太紧使升针无法安装或者紧固套筒调节的太松使升针达不到安装标准。【附图说明】为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术中一种升举装置的结构示意图；图2为图1中升针机构的结构示意图；图3为本技术实施例中一种升针机构的结构示意图；图4为图3中升针固定套筒的结构示意图；图5为本技术实施例中另一种升针机构的结构示意图；图6为本技术实施例中一种升针固定套筒的轴截面示意图；图7为本技术实施例中另一种升针机构的结构示意图；图8为本技术实施例中一种升针的结构示意图；图9为本技术实施例中一种升举装置的结构示意图。【具体实施方式】下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图3所示，本技术实施例提供一种升针机构，包括:导杆22、升针固定套筒25和升针21，升针固定套筒25的底部与导杆22的顶部固定连接；导杆22的顶端与升针固定套筒25的顶端之间设置有挡翼固定部；如图4所示，该挡翼固定部包括升针通道252，升针通道252从升针固定套筒25的顶端向底端方向延伸；升针通道252的侧面设置有挡翼沟槽253，挡翼沟槽253从升针固定套筒25的顶端向底端方向延伸至第一拐点，挡翼沟槽253在该第一拐点处弯折并沿升针固定套筒25的横截面方向延伸；如图3所示，升针通道中设置有升针21，升针21的顶端从升针固定套筒25的顶端伸出，升针21上设置有挡翼211，挡翼211位于挡翼沟槽中。具体地，升针固定套筒25的底部与导杆22的顶部可以通过螺纹固定连接，即升针固定套筒25的内侧壁和导杆22的侧壁分别设置有对应的螺纹。上述升针机构具体用于半导体刻蚀设备中的升举装置。升针的具体安装过程为:将升针21从升针固定套筒25的升针通道穿入，同时升针21的挡翼211从挡翼沟槽穿入，当挡翼到达挡翼沟槽中的第一拐点时，旋转升针21，使挡翼211进入挡翼沟槽的弯折处，从而被固定。本实施例中的升针机构，通过设置有挡翼的升针和设置有挡翼沟槽的升针固定套筒配合安装，使升针的挡翼在挡翼沟槽的弯折处被固定，这种固定方式更加牢固，避免了在工艺腔抽真空的过程中升针的窜动，从而防止了取放晶片的过程中升针被撞断、或者由于改变晶片的位置导致晶片损坏。并且升针的安装更加方便，无需在安装前调节紧固套筒，同时避免了紧固套筒调节的太紧使升针无法安装或者紧固套筒调节的太松使升针达不到安装标准。具体地，如图5所示，导杆22的顶端与升针固定套筒25的侧壁形成腔体251，腔体251位于挡翼固定部和导杆22的顶端之间；升针通道从升针固定套筒25的顶端向底端方向连通至腔体251 ;升针固定套筒25的腔体251中设置有与升针固定套筒25具有相同轴向的压缩弹簧5 ;升针21的底端与压缩弹簧5的顶端之间设置有弹簧挡片4 ;升针21和压缩弹簧5通过弹簧挡片4连接。压缩弹簧可以为一个或多个。压缩弹簧5用于增加挡翼211与挡翼沟槽之本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种升针机构，包括导杆、升针固定套筒和升针，所述升针固定套筒的底部与所述导杆的顶部固定连接；其特征在于：所述导杆的顶端与所述升针固定套筒的顶端之间设置有挡翼固定部；所述挡翼固定部包括升针通道，所述升针通道从所述升针固定套筒的顶端向底端方向延伸；所述升针通道的侧面设置有挡翼沟槽，所述挡翼沟槽从所述升针固定套筒的顶端向底端方向延伸至第一拐点，所述挡翼沟槽在所述第一拐点处弯折并沿所述升针固定套筒的横截面方向延伸；所述升针通道中设置有所述升针，所述升针的顶端从所述升针固定套筒的顶端伸出，所述升针上设置有挡翼，所述挡翼位于所述挡翼沟槽中。

【技术特征摘要】
1.一种升针机构，包括导杆、升针固定套筒和升针，所述升针固定套筒的底部与所述导杆的顶部固定连接；其特征在于: 所述导杆的顶端与所述升针固定套筒的顶端之间设置有挡翼固定部； 所述挡翼固定部包括升针通道，所述升针通道从所述升针固定套筒的顶端向底端方向延伸； 所述升针通道的侧面设置有挡翼沟槽，所述挡翼沟槽从所述升针固定套筒的顶端向底端方向延伸至第一拐点，所述挡翼沟槽在所述第一拐点处弯折并沿所述升针固定套筒的横截面方向延伸； 所述升针通道中设置有所述升针，所述升针的顶端从所述升针固定套筒的顶端伸出，所述升针上设置有挡翼，所述挡翼位于所述挡翼沟槽中。2.根据权利要求1所述的升针机构，其特征在于， 所述导杆的顶端与所述升针固定套筒的侧壁形成腔体，所述腔体位于所述挡翼固定部和所述导杆的顶端之间； 所述升针通道从所述升针固定套筒的顶端向底端方向连通至所述腔体； 所述升针固定套筒的腔体中设置有与所述升针固定套筒具有相同轴向的压缩弹簧； 所述升针的底端与所述压缩弹簧的顶端之间设置有弹簧挡片； 所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王福来，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：