一种特气架、监控特气架的方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种特气架、监控特气架的方法和装置，涉及特气架技术领域，解决了现有技术中当特气架中的设备部件出现异常时，不能及时地给出提示信息，所述方法包括：接收LPG发送的低压报警信号，所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息；根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气架；提示所述特气架出现异常。本发明专利技术实施例适用于对特气架的监控过程中。

【技术实现步骤摘要】
一种特气架、监控特气架的方法及装置
本专利技术涉及特气架
，尤其涉及一种特气架、监控特气架的方法及装置。
技术介绍
特气架一般应用在半导体、微电子、太阳能等行业内的工艺制程中，由特气架中的 气瓶通过管路为工艺制造提供所需气体。在现有技术中，当特气架中的设备部件出现异常时，例如备用侧的HPI (气动隔膜 阀，)无法正常开启，或者特气架中的HPG (High Pressure Gauge,高压压力表)老化,导致 指针卡住时，不能被及时发现。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种特气架、监控特气架的方法及装置，实现了当特气架中 的设备部件出现异常时，能够及时地给出提示信息。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案:一种特气架，包括至少两套气体钢瓶和阀组面盘，一套气体钢瓶对应一套阀组面 盘，所述阀组面盘由至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空管路构成，所述供气管路由气 体钢瓶出口通过管路依次连接所述气体钢瓶出口高压压力表HPG、气动隔膜阀HP1、减压阀 REG、气体输送低压压力表LPG、过滤器LF、送气隔膜阀MIV接入供气口，其中，所述气体输送 低压压力表LPG为带电接点信号输出的低压压力表。一种监控特气架的方法，所述特气架包括气体钢瓶和阀组面盘，所述阀组面盘由 至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空管路构成，所述供气管路由气体钢瓶出口通过管路 依次连接所述气体钢瓶出口高压压力表HPG、气动隔膜阀HP1、减压阀REG、气体输送低压压 力表LPG、过滤器LF、送气隔膜阀MIV接入供气口，所述方法包括:接收LPG发送的低压报警信号，所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所 述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息；根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气架；提示所述特气架出现异常。一种监控特气架的装置，包括:接收单元，用于接收LPG发送的低压报警信号，所述低压报警信号用于指示所述 LPG出现异常，所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息；处理单元，用于根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气 架；提示单元，用于提示所述特气架出现异常。本专利技术实施例提供的一种特气架、监控特气架的方法及装置，特气架中的气体输 送低压压力表LPG为带电接点信号输出的低压压力表。接收LPG发送的低压报警信号，所 述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息；根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气架；提示所 述特气架出现异常。本专利技术实施例实现了当特气架中的设备部件出现异常时，能够及时地 给出提示信息。【附图说明】为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对本专利技术实施例中所需要使 用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于 本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他 的附图。图1为本专利技术实施例1提供的一种特气架的示意图；图2为本专利技术实施例2提供的一种监控特气架的方法的流程图；图3为本专利技术实施例2提供的另一种监控特气架的方法的流程图；图4为本专利技术实施例3提供的一种监控特气架的装置的结构图。【具体实施方式】下面结合附图对本专利技术实施例一种特气架、监控特气架的方法及装置、系统进行 详细描述。实施例1如图1所示，本专利技术实施例提供一种特气架，包括至少两套气体钢瓶和阀组面盘， 一套气体钢瓶对应一套阀组面盘，所述阀组面盘由至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空 管路构成，所述供气管路由气体钢瓶出口通过管路依次连接所述气体钢瓶出口高压压力表 HPG、气动隔膜阀HP1、减压阀REG、气体输送低压压力表LPG、过滤器LF、送气隔膜阀MIV接 入供气口，其中，所述气体输送低压压力表LPG为带电接点信号输出的低压压力表。如图1所示，特气架中有两套气体钢瓶，一个为主用，另一个为备用，每一个气体 钢瓶都有对应的一套阀组面盘。本专利技术实施例提供的一种特气架，所述特气架中的气体输送低压压力表LPG(包括 左右两个)为带电接点信号输出的低压压力表，以便能够将低压报警信号发送给监控特气 架的装置，实现了当特气架中的设备部件出现异常时，能够及时地给出提示信息。在具体应用时，图1中的气体钢瓶出口高压压力表HPG (包括左右两个)为带电接 点信号输出的高压压力表，以便能够将报警信号发送给监控特气架的装置，通知所述装置 主用侧的气体钢瓶中气体压力值低于预定压力值，使用备用侧的气体钢瓶。实施例2本专利技术实施例提供的一种监控特气架的方法，其中所述特气架为如图1所示的特 气架，包括至少两套气体钢瓶和阀组面盘，一套气体钢瓶对应一套阀组面盘，所述阀组面盘 由至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空管路构成,所述供气管路由气体钢瓶出口通过管 路依次连接所述气体钢瓶出口高压压力表HPG、气动隔膜阀HP1、减压阀REG、气体输送低压 压力表LPG、过滤器LF、送气隔膜阀MIV接入供气口，且所述气体输送低压压力表LPG为带 电接点信号输出的低压压力表，如图2所示，具体方法包括:201、接收LPG发送的低压报警信号，所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息。由于所述特气架中的两个LPG均为带电接点信号输出的低压压力表，当所述特气 架中的某一个LPG为主用时，另一个为备用。当接收到所述LPG发送的低压报警信号时，表示与所述LPG同侧的某些设备部件 出现异常，例如HPI无法正常开启，或者HPG指针卡住，导致所述LPG的压力值出现波动，就 会接收到所述LPG发送的低压报警信号。202、根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气架。所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息的作用，是由于监控的 特气架不止一个，所以要对每一个特气架进行标识，以便在接收到低压报警信号，可以确定 是哪一个特气架出现异常。203、提示所述特气架出现异常。当确定所述LPG所属的特气架后，给出所述特气架出现异常的提示信息，以便技 术人员能够在第一时间发现所述特气架出现异常，并尽快解决所述特气架中出现异常的设 备部件，保证所述特气架能够连续稳定地供应气体。本专利技术实施例提供的一种监控特气架的方法，通过接收LPG发送的低压报警信 号，所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所述低压报警信号中包含所述LPG所属 特气架的标识信息，根据所述标识信息，确定所述LPG所属的特气架，并提示所述特气架出 现异常。本专利技术实施例实现了当特气架中的设备部件出现异常时，能够及时地给出提示信肩、O在具体应用时，所述特气架中的气体钢瓶出口高压压力表HPG为带电接点信号输 出的高压压力表，如图3所示，除了接收LPG发送的低压报警信号，还会接收HPG发送的报 警信号，具体步骤如下所示:301、接收HPG发送的报警信号，所述报警信号用于指示所述HPG的压力值低于预 定压力值，所述报警信号中包含所述HPG所属特气架的标识信息。所述HPG用于指示同一侧气体钢瓶内气体的剩余量，当所述气体钢瓶内的气体过 少时，使得所述HPG的压力值低于预定压力值时，所述HPG将发出报警信号，以便关本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种特气架，包括至少两套气体钢瓶和阀组面盘，一套气体钢瓶对应一套阀组面盘，所述阀组面盘由至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空管路构成，所述供气管路由气体钢瓶出口通过管路依次连接所述气体钢瓶出口高压压力表HPG、气动隔膜阀HPI、减压阀REG、气体输送低压压力表LPG、过滤器LF、送气隔膜阀MIV接入供气口，其特征在于，所述气体输送低压压力表LPG为带电接点信号输出的低压压力表。

【技术特征摘要】
1.一种特气架，包括至少两套气体钢瓶和阀组面盘，一套气体钢瓶对应一套阀组面盘， 所述阀组面盘由至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空管路构成，所述供气管路由气体钢 瓶出口通过管路依次连接所述气体钢瓶出口高压压力表HPG、气动隔膜阀HP1、减压阀REG、 气体输送低压压力表LPG、过滤器LF、送气隔膜阀MIV接入供气口，其特征在于，所述气体输 送低压压力表LPG为带电接点信号输出的低压压力表。2.根据权利要求1所述的特气架，其特征在于，所述气体钢瓶出口高压压力表HPG为带 电接点信号输出的高压压力表。3.—种监控特气架的方法，所述特气架包括至少两套气体钢瓶和阀组面盘，一套气体 钢瓶对应一套阀组面盘，所述阀组面盘由至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空管路构成， 所述供气管路由气体钢瓶出口通过管路依次连接所述气体钢瓶出口高压压力表HPG、气动 隔膜阀HP1、减压阀REG、气体输送低压压力表LPG、过滤器LF、送气隔膜阀MIV接入供气口， 其特征在于，所述气体输送低压压力表LPG为带电接点信号输出的低压压力表,所述方法 包括:接收LPG发送的低压报警信号，所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所述低 压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息；根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气架；提示所述特气架出现异常。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李露，贾文君，
申请(专利权)人：北大方正集团有限公司，深圳方正微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：