【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种钨靶材的制作方法,其特征在于,包括:提供钨粉末;采用热压工艺将钨粉末烧结成型,形成钨靶材坯料;完成烧结成型后,采用热等静压工艺将钨靶材坯料进行致密化处理形成钨靶材。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:姚力军,相原俊夫,大岩一彦,潘杰,王学泽,袁海军,
申请(专利权)人:宁波江丰电子材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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