钨靶材的制作方法技术

技术编号:9658116 阅读:107 留言:0更新日期:2014-02-13 02:24
一种钨靶材的制作方法,包括:提供钨粉末;采用热压工艺将钨粉末烧结成型,形成钨靶材坯料;完成烧结成型后,采用热等静压工艺将钨靶材坯料进行致密化处理形成钨靶材。采用本发明专利技术提供的钨靶材的制作方法,能够制作出99.4%以上的全致密度的钨靶材,而且,钨靶材的内部组织结构的均匀性和晶粒尺寸满足要求越来越高的溅射工艺。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种钨靶材的制作方法,其特征在于,包括:提供钨粉末;采用热压工艺将钨粉末烧结成型,形成钨靶材坯料;完成烧结成型后,采用热等静压工艺将钨靶材坯料进行致密化处理形成钨靶材。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:姚力军相原俊夫大岩一彦潘杰王学泽袁海军
申请(专利权)人:宁波江丰电子材料有限公司
类型:发明
国别省市:

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