一种多晶硅制造设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多晶硅制造设备，包括底盘、钟罩和封盖，所述的底盘、封盖都为双层结构，底盘和封盖上都设有冷却液进口和冷却液出口，所述的钟罩的中心设有若干电极，电极的下端与底盘固定，电极的上端连接有竖直的硅芯，每根硅芯的外侧都套设有冷却夹套，冷却夹套包括内夹套和外夹套，所述的内夹套和外夹套的上端连通下端隔离，所述的内夹套的下端设有冷却液进口，外夹套的下端设有冷却液出口，底盘上还设有进气管和出气管。冷却夹套直接对硅棒生长腔进行冷却，从而准确的控制反应温度，减少副反应的发生，减少不定性硅的产生，从而提高多晶硅的纯度。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多晶硅制造设备，包括底盘（1）、钟罩（2）和封盖（3），所述的底盘（1）、封盖（3）都为双层结构，底盘（1）和封盖（3）上都设有冷却液进口（4）和冷却液出口（5），其特征是，所述的钟罩（2）的中心设有若干电极（6），电极（6）的下端与底盘（1）固定，电极（6）的上端连接有竖直的硅芯（7），每根硅芯（7）的外侧都套设有冷却夹套（8），冷却夹套（8）包括内夹套（81）和外夹套（82），所述的内夹套（81）和外夹套（82）的上端连通下端隔离，所述的内夹套（81）的下端设有冷却液进口，外夹套（82）的下端设有冷却液出口，底盘（1）上还设有进气管（13）和出气管（14）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李波，金越顺，朱烨俊，
申请(专利权)人：浙江精功新材料技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：