带电粒子束照射装置制造方法及图纸

本发明专利技术的带电粒子束照射装置（1）具备：回旋加速器（3），对带电粒子进行加速来射出带电粒子束（P）；真空导管（7），将从回旋加速器（3）射出的带电粒子束（P）向照射喷嘴（5）传输；延长导管（10），在照射喷嘴（5）内配置于带电粒子束的行进线路上，内部填充有惰性气体，并且在入口及出口具有使带电粒子束（P）透射的卡普顿膜（13、14）；气体供给部（20），向延长导管（10）内供给氦气；扫描磁铁（12），配置于延长导管（10）周围，且扫描带电粒子束（P）；及泄漏阀（36），当延长导管（10）的内部压力在设定压力以上时，使延长导管（10）内的氦气泄漏到外部，其中，气体供给部（20）具有氦气供给量各不相同的供给管路A～C。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种带电粒子束照射装置，其特征在于，具备：加速器，对带电粒子进行加速来射出带电粒子束；照射部，向被照射体照射所述带电粒子束；导管，向所述照射部传输从所述加速器射出的所述带电粒子束；筒体，在所述照射部内配置于所述带电粒子束的行进线路上，内部填充有惰性气体，并且在入口及出口具有使带电粒子束透射的粒子束透射薄膜；气体供给机构，向所述筒体内供给惰性气体；及泄漏阀，当所述筒体的内部压力在设定压力以上时，使所述筒体内的惰性气体泄漏到外部，所述气体供给机构具有惰性气体的供给量各不相同的多个供给管路。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：小笠原毅，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：
国别省市：