一种薄膜体声波谐振器及一种滤波器、振荡器、射频模块制造技术

本实用新型专利技术提供一种薄膜体声波谐振器及一种滤波器、振荡器、射频模块，其中一种薄膜体声波谐振器包括衬底层（1）和制备于所述衬底层（1）上的环形功能层（2）；所述环形功能层（2）包括沿远离所述衬底层（1）方向设置的第一电极（201）、铁电材料层（202）和第二电极（203）；所述衬底层（1）上开设空气空腔（101），所述空气空腔（101）横向上面积大于所述环形功能层（2）外边界所围成的面积，其中的谐振器利用铁电材料的电致伸缩效应，通过改变外加直流电压的大小，控制铁电材料应力的变化，进而控制声波的速度，而谐振频率与声波速度成正比，从而控制谐振频率的变化。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括衬底层（1）和制备于所述衬底层（1）上的环形功能层（2）；所述环形功能层（2）包括沿远离所述衬底层（1）方向设置的第一电极（201）、铁电材料层（202）和第二电极（203）；所述衬底层（1）上开设空气空腔（101），所述空气空腔（101）横向上面积大于所述环形功能层（2）外边界所围成的面积。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱欣恩，
申请(专利权)人：张家港恩达通讯科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：