The transmission device, the utility model relates to a seed control rod lifting comprises a support bracket fixed on the supporting plate, the screw rod installed on the bracket in the box body; the screw rod is installed inside the box body screw, the screw rod of the upper sleeve nut, nut seat and the support plate is connected with the crystal rod; features under the screws installed in the turbine shaft mounting adapter, connecting shaft, turbine engaged with the worm, the worm and the power output of the servo motor is connected in the connecting shaft; the upper set of harmonic reducer, in the next section set of electromagnetic clutch screw rod, harmonic reducer and electromagnetic clutch through the connecting plate. The middle section of the screw rod is sheathed with a bevel gear, and a screw wheel is connected with the screw rod on the outer side of the bevel gear, and the end gear of the hand wheel is meshed with the bevel gear. The driving device of the utility model has the advantages of compact structure, no lifting speed, poor stability, conductive vibration, etc., and the pulling speed of a seed crystal rod can be stably controlled.
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种控制籽晶杆升降的传动装置,包括托板,在托板上固定支架,在支架上安装丝杆箱体;在所述丝杆箱体内部安装丝杆,在丝杆的上段套设螺母座,螺母座与晶杆支撑板连接;特征是:在所述丝杆下方安装转接轴,在转接轴上安装涡轮,涡轮与蜗杆啮合,蜗杆与伺服电机的动力输出端连接;在所述转接轴的上段套设谐波减速器,在丝杆的下段套设电磁离合器,谐波减速器与电磁离合器通过连接板连接。在所述丝杆的中段套设锥齿轮,锥齿轮外侧的丝杆箱体上连接手轮,手轮的端部齿轮与锥齿轮啮合。本技术传动装置结构紧凑,不会出现提拉速度稳定性差、传导振动等问题,可稳定控制籽晶杆的提拉速度。【专利说明】控制籽晶杆升降的传动装置
本技术涉及一种控制籽晶杆升降的传动装置,属于晶体生长
。
技术介绍
随着科学技术的发展,对晶体材料的要求越来越高,这也意味着对晶体材料的生长工艺和生长设备的要求越来越高。晶体生长的提拉速度是人工晶体生长过程中的关键技术之一,特别是在等径阶段高精度且稳定的提拉速度在高质量晶体的生长中起着非常重要的作用。为避免晶体生长过程中拉速过大造成晶格的断裂、因拉速不稳定导致晶体中产生大量严重的生长条纹,影响晶体内在质量,这就要求籽晶杆具有超低速的拉速和较高的稳定性。传统的晶体生长炉籽晶杆的升降采用结构简单的传动装置实现,由于传动装置的减速比小,导致籽晶杆提拉速度一直处在较高水平,且传动装置经常会出现稳定性差、易产生传导振动等问题。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种控制籽晶杆升降的传动装置,减速比大、结构稳定。按照本技术提供的技术方案, ...
【技术保护点】
一种控制籽晶杆升降的传动装置,包括托板(1),在托板(1)上固定支架(2),在支架(2)上安装丝杆箱体(3);在所述丝杆箱体(3)内部安装丝杆(4),在丝杆(4)的上段套设螺母座(12),螺母座(12)与晶杆支撑板(13)连接;其特征是:在所述丝杆(4)下方安装转接轴(5),在转接轴(5)上安装蜗轮(6),蜗轮(6)与蜗杆(7)啮合,蜗杆(7)与伺服电机(8)的动力输出端连接;在所述转接轴(5)的上段套设谐波减速器(9),在丝杆(4)的下段套设电磁离合器(10),谐波减速器(9)与电磁离合器(10)通过连接板(11)连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:方建东,杨宁,孙晓晓,黄小卫,
申请(专利权)人:元亮科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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