The utility model relates to the field of crystal growth furnace, aiming at providing a sapphire furnace with a rotary heat preserving tungsten screen. The sapphire furnace comprises an insulating tungsten screen, big and small gears, bearings, transmission shaft, magnetic fluid, motor and reducer, tungsten insulation screen is arranged in a big gear, a big gear is installed on the bearing and the bearing is fixed on the furnace bottom sapphire furnace, electric motor and reducer is connected with the speed reducer is connected with the transmission shaft. The internal cavity of the magnetic fluid into the furnace from the external sapphire sapphire furnace transmission shaft, the transmission shaft inside the cavity in the sapphire furnace with small gear is fixed, a small gear and a big gear connected to the gear transmission. In the pulling process, thermal drive slow tungsten screen rotation through the motor, so that the temperature distribution in the cavity is more uniform, and can form a temperature gradient to pulling more effectively. The utility model has the advantages of seeding process for pulling process, can improve the rate of pulling and generate help high quality sapphire crystal.
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及晶体生长炉领域,旨在提供带旋转保温钨屏的蓝宝石炉。该蓝宝石炉包括保温钨屏、大齿轮、小齿轮、轴承、传输轴、磁流体、电机和减速机,保温钨屏设置在大齿轮上,大齿轮安装在轴承上,轴承固定在蓝宝石炉的炉底板上,电机与减速机相连接,减速机与传输轴连接,传输轴通过磁流体从蓝宝石炉的外部进入蓝宝石炉的腔体内部,传输轴在蓝宝石炉的腔体内部与小齿轮固定,小齿轮与大齿轮连接形成齿轮传动。在拉晶的过程中,保温钨屏通过电机带动进行低速缓慢的旋转,使腔体内的温度分布更加均匀,且能够更有效的形成拉晶中需要的温度梯度。本技术有利于拉晶过程中的引晶工序,能够提高拉晶的速率以及有助高品质蓝宝石晶体的生成。【专利说明】带旋转保温钨屏的蓝宝石炉
本技术是关于晶体生长炉领域,特别涉及带旋转保温钨屏的蓝宝石炉。
技术介绍
目前,单晶蓝宝石晶体运用于光电产业的LED已经越来越广泛。然而蓝宝石晶体的拉制需要在一个封闭的腔体内,将温度升至AL203的熔点2050°以上,在使用籽晶来实现引晶、放肩、等径、收尾一系列的操作。由于炉体内部需要达到这样的高温,蓝宝石炉的热场都是有钨钥材料制作而成,并且为了得到高品质的蓝宝石晶体,热场的设计往往都需要满足适合于蓝宝石晶体生长的温度环境。传统的蓝宝石炉的钨钥的保温制品都只是简单的对称地安装到炉子内,以此来形成一个均衡的温度环境,但是往往在安装的过程中会出现偏移,以及经过多次试验之后热场本身也会出现不同程度的变形,这样会导致在加热过程中炉内的温度越来越不均匀,从而严重地影响了整个拉晶过程中炉内温度的控制和晶体完整性的控制。
技术实现思路
本技术的主 ...
【技术保护点】
带旋转保温钨屏的蓝宝石炉,包括保温部件,其特征在于,还包括大齿轮、小齿轮、轴承、传输轴、磁流体和动力装置,所述保温部件采用保温钨屏,保温钨屏设置在大齿轮上,大齿轮安装在轴承上,轴承固定在蓝宝石炉的炉底板上;动力装置设置在蓝宝石炉的外部,包括电机和减速机,电机与减速机相连接,减速机与传输轴连接,传输轴通过磁流体从蓝宝石炉的外部进入蓝宝石炉的腔体内部;传输轴在蓝宝石炉的腔体内部与小齿轮固定,小齿轮与大齿轮连接形成齿轮传动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:曹建伟,朱亮,张俊,王巍,沈兴潮,
申请(专利权)人:杭州慧翔电液技术开发有限公司,浙江晶盛机电股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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