烘干机制造技术

烘干机包括围罩和用于运输一个或多个部件经过第一和第二开口之间的运输装置。烘干机包括一个或多个加热元件，以及围罩中的第一和第二导管。上述第一和第二导管均包括多个被配置为朝向一个或多个部件排放加热的空气的开口。与围罩内部流体连通的排气管包括用于将流体从围罩内部排出的排风机，以及用于氧化蒸发的化合物的一个或多个加热元件。送风机和排风机协同操作，以便引导空气渗透通过第一和第二开口。还提供了操作烘干机的方法。

Dryer

The dryer comprises a housing and a transport device for transporting one or more components through the first and second openings. The dryer includes one or more heating elements, and the first and second conduits in the enclosure. The first and second conduits each include a plurality of openings configured to discharge heated air toward one or more components. An exhaust pipe that is in fluid communication with the inside of the enclosure includes a blower for removing fluid from the inside of the enclosure, and one or more heating elements for oxidizing the vaporized compounds. The blower and exhaust fan are coordinated to guide air penetration through the first and second openings. A method of operating a dryer is also provided.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】烘干机相关申请的交叉引用本申请要求2011年4月15日提交的美国临时专利申请序列号61/475，821的优先权，该申请通过引用并入本文。
本专利技术涉及烘干机。特别的，本专利技术涉及用于硅片的烘干机。
技术介绍
在生产过程中，许多产品出于各种原因都需要进行热处理，包括半导体晶片制造过程中的热固化、将钢铁等产品材料进行硬化的退火工序。热处理过程通常是在极高的温度下进行的。包括用于对放在其上的部件进行烘干的传送带的烘干机被广泛地应用于各个行业。这样的申请包括将光伏电池的硅片上的传导性金属化胶融化或烘干的烘干机。这种烘干机典型地运送传送带上的硅片使其经过内部具有红外线(IR)加热器的围罩，并且如果有工艺空气，则有非常少量的工艺空气被引入烘干机围罩及/或从烘干机围罩流出。在这样一些烘干机中，通过周围的绝缘体或喷雾管将一些工艺空气引入围罩中。当挥发性有机化合物(VOC)从胶中蒸发时，包括空气及来自围罩内部的蒸发的化合物的流体混合物在围罩的入口及/或出口处通过排气口被排出。这样，工艺空气对干燥过程不起什么作用，只不过充当将蒸发的化合物从围罩内部去除的媒介或工具。有的烘干机不使用红外线加热器，而是使用再循环的加压气流。然而，这种气流通常是以低速引入到围罩中，因此，不能有效地去除蒸发的化合物。由于再循环的加压气流被使用，蒸发的化合物的浓度最终达到了饱和点，在这个饱和点上可能无法排出蒸发的化合物。此外，蒸发的化合物在管道系统及系统的其他部件内开始冷凝，然而这些管道系统及系统的其他部件需要频繁停工检修。
技术实现思路
在烘干机的一个实施例中，包含第一和第二开口的围罩包括用于运送一个或多个部件使其经过在第一和第二开口之间的围罩的运输装置。烘干机包括围罩靠近第一开口的至少一部分中的一个或多个加热元件，以及围罩中的第一和第二导管。第一和所述第二导管均包括一个闭合端、一个入口和被配置用于朝向一个或多个部件排出空气的多个开口。通过与第一和第二导管的入口流体连通的送风机，第一和第二加热器分别对供给到第一和第二导管的空气进行加热。与围罩内部流体连通的排气管包括用于从围罩内部排出流体的排风机。在一些烘干机实施例中，配置多个开口来以至少部分重叠的方式将空气排放到运输装置上的一个或多个部件表面上。在某些烘干机实施例中，围罩内部的温度被维持为至少等于或高于运输装置上的一个或多个部件上的一个或多个化合物中的每个的饱和温度。在一些烘干机实施例中，送风机和排风机协同进行操作以在围罩中产生负压力，用于引导空气渗透通过第一和第二开口。一种操作(或使用)一个烘干机实施例的方法包括运送一个或多个部件使其经过在第一和第二开口之间的围罩。一个或多个部件上面及/或里面的一个或多个化合物是通过加热元件被蒸发掉的，及/或由第一和第二导管中的多个开口朝向一个或多个部件排放的加热的空气被蒸发掉的。围罩内的流体是用排风机排出的。在某些实施例中，操作发热元件、送风机和排风机以将围罩内部的温度维持为至少等于或高于运输装置上的一个或多个部件上面及/或里面的一个或多个化合物中的每个的饱和温度。在一些实施例中，送风机和排风机以某种方式被操作以有助于通过在围罩中产生负压来引导空气渗透通过第一和第二开口。【附图说明】图1示出依照本专利技术的实施例，沿着烘干机纵向范围的剖视图；图2示出从图1所示的烘干机的内部观察的侧面剖视图；图3示出从图1所示的烘干机内部沿线3-3观察的底部剖视图；图4示出图1所示的烘干机的侧面图；图5示出图1所示的烘干机的端视图；图6示出图1所示的烘干机内的流体流动路径；图7示出图1示出的烘干机的一个实施例中的用于供应加热的空气使其通过多个开口的导管的局部详图；和图8示出图1所示的烘干机的一个实施例中的用于供应加热的空气使其通过多个开口的导管的另一个局部详图。【具体实施方式】很多种实施例在此公开，还有其他一些实施例对本领域技术人员而言也是显而易见的。在下文中，参考附图来详细描述某些说明性和非限制性实施例，其中的相同元件是由相同的附图标记来标示的。应该很清楚的了解，没有意图、隐含的，或在其他方面以任何形式或方式对文中所述的专利技术进行限制。同样，所有替代的实施例被看作是在本专利技术披露的精神、范围和意图内。本专利技术的公认范围是由附加要求及其任何等同物限定的。例如，烘干机10的实施例包括像管道一样的围罩12，围罩12配有运输装置14，该运输装置14沿着在第一开口 16和第二开口 18之间延伸的行程路径来分别运送一个或多个部件(未显示)使其经过围罩12。在此，通过透视图来描述烘干机10的实施例，其中第一开口 16是被运送经过围罩12的一个或多个部件的进口(或入口)，第二开口 18是被运送经过围罩12的一个或多个部件的输出口(或出口)。尽管示出了围罩12具有沿其纵向范围的通常的方形横截面，但是在烘干机10的某些实施例中，围罩12包括例如矩形、圆形或三角形等的横截面。虽然围罩12被示出具有沿着其纵向范围的通常的均匀的横截面，但是烘干机10的某些实施例包括在第一开口 16和第二开口 18之间有变化的横截面和/或纵横比的围罩12，这样的实施例被认定为属于该专利技术的范畴。例如，在一些实施例中，围罩12的横截面包括一个或多个截面，该截面有一个或多个均匀的横截面，这些横截面与一个或多个其他截面的横截面不同。在烘干机10的其他一些实施例中，围罩10的横截面在第一开口 16和第二开口 18之间不断地变化。总之，围罩12的尺寸或横截面积可以是均匀的，也可以随着第一开口 16和第二开口 18之间的行程路径来变化。虽然围罩12和运输装置14被描述为沿着他们的纵向范围呈线性，但不是所有情况下都如此。例如，在烘干机10的一些实施例中，围罩12和运输装置14在第一开口 16和第二开口 18之间具有曲线路径。所描述的烘干机10的实施例包括在围罩12外表面的至少一部分上的可选的热绝缘20。干燥机10的一些实施例包括位于围罩12靠近第一开口 16的至少一部分中的一个或多个加热元件22。通常，在运输装置14上的一个或多个部件被运送经过第一开口 16和第二开口 18之间的围罩12时，加热元件22被安排并配置来给这些部件加热。这样，根据加热元件22的配置，用被引导朝向一个或多个部件的热量对所述一个或多个部件内和/或其表面(如顶部及/或底部表面)上的一个或多个化合物进行加热，并使其蒸发，例如蒸发太阳能电池的硅片上的传导性金属化胶。在一些实施例中，加热元件22是红外线(IR)加热器；而加热的替换形式(如直接火炉等)被认定为在该专利技术的范畴内。尽管加热元件22被描述为相对于运输装置14上下并排放置，但不是所有情况下都如此。例如，在烘干机10的一些实施例中，加热元件22放置在运输装置14上方或放置在运输装置14下方。包含以不同于图中所描述的方式放置的加热元件22的烘干机10的实施例被认定为属于该专利技术的范畴。例如，烘干机10的一些实施例包括在第一开口 16和第二开口 18之间的整个运输装置14上方和/或下方的加热元件22。在烘干机10的一些实施例中，加热兀件22放置在围罩12不靠近第一开口 16和/或第二开口 18的截面内。在烘干机10的一些实施例中，加热元件22放置在相对于运输装置14上的一个或多个部件成一定角度(如45°、9本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种烘干机，包括围罩，包含第一开口和第二开口；运输装置，运送一个或多个部件使其经过在所述第一和第二开口之间的所述围罩；一个或多个加热元件，位于所述围罩靠近所述第一开口的至少一部分中；第一导管和第二导管，位于所述围罩中，所述第一导管和第二导管的每个都包含闭合端和进气孔；多个开口，位于所述第一导管和第二导管的每个中，所述多个开口被配置为朝向所述一个或多个部件排放空气；送风机，与所述第一导管和第二导管的所述进气孔流体连通；第一加热器和第二加热器，用于对由所述送风机向所述第一导管和第二导管供给的空气分别进行加热；排气管，与所述围罩的内部流体连通，所述排气管包括用于将流体从所述围罩排出的排风机。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.04.15 US 61/475,821;2012.04.04 US 13/439,3671.一种烘干机，包括 围罩，包含第一开口和第二开口； 运输装置，运送一个或多个部件使其经过在所述第一和第二开口之间的所述围罩； 一个或多个加热元件，位于所述围罩靠近所述第一开口的至少一部分中； 第一导管和第二导管，位于所述围罩中，所述第一导管和第二导管的每个都包含闭合端和进气孔； 多个开口，位于所述第一导管和第二导管的每个中，所述多个开口被配置为朝向所述一个或多个部件排放空气； 送风机，与所述第一导管和第二导管的所述进气孔流体连通； 第一加热器和第二加热器，用于对由所述送风机向所述第一导管和第二导管供给的空气分别进行加热； 排气管，与所述围罩的内部流体连通，所述排气管包括用于将流体从所述围罩排出的排风机。2.根据权利要求1所述的烘干机，其中所述多个开口被配置为用于以至少部分重叠的方式将来自相邻开口的空气排放到所述运输装置上的所述一个或多个部件的表面上。3.根据权利要求2所述的烘干机，其中(a)所述一个或多个加热元件、(b)所述送风机、(C)所述第一加热器和第二加热器和(d)所述排风机协同操作以将所述围罩的所述内部的温度维持为至少等于或高于所述一个或多个化合物中的每个的饱和温度。4.根据权利要求3所述的烘干机，包含用来将所述排出的流体加热到温度至少等于或高于所述一个或多个化合物中的每一个的氧化温度的第三加热器。5.根据权利要求4所述的烘干机，包括外壳，所述外壳在所述排气管周围并且至少局部地限定所述外壳和排气管之间的通道，其中， 所述排出的流体的流动引导空气从所述围罩的外部周围流动通过所述通道；并且 被排放的空气流包括所述排出的流体与通过所述通道的空气的混合物。6.根据权利要求3所述的烘干机，其中所述送风机和排风机协同操作以在所述围罩中产生负压，从而引导空气渗透通过所述第一开口和第二开口。7.根据权利要求3所述的烘干机，其中，所述一个或多个加热元件中的至少一个位于所述运输装置上方并且被配置为用于从上面对所述一个或多个部件加热。8.根据权利要求3所述的烘干机，其中，所述一个或多个加热元件中的至少一个位于所述运输装置下方并被配置为用于从下面对所述一个或多个部件加热。9.根据权利要求2所述的烘干机，其中，所述第一导管和第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：汉斯L米拉格罗斯，丹尼尔M鲁夫，理査德L斯特伯拉，
申请(专利权)人：伊利诺斯工具制品有限公司，
类型：
国别省市：