振动片、振子、电子装置、电子设备、移动体制造方法及图纸

本发明专利技术实现一种振动片、振子、电子装置、电子设备以及移动体，其能够高精度地调节频率。振动片(1)具备：第一振动臂部(17)和第二振动臂部(18)；第一基部(13)和第二基部(14)，所述第一基部(13)连接第一振动臂部(17)与第二振动臂部(18)的一侧端部，所述第二基部(14)连接第一振动臂部(17)与第二振动臂部(18)的另一侧端部；锤膜(41～44)，其被设置在第一振动臂部(17)与第二振动臂部(18)中的每一个振动臂部上。驱动电极(20a～20c)和驱动电极(30a～30c)被配置在，于第一振动臂部(17)与第二振动臂部(18)上产生的变形最大的位置处，锤膜(41～44)被配置在，于第一振动臂部(17)与第二振动臂部(18)上产生的变形较小的位置处。通过去除锤膜(41～44)的一部分，从而能够高精度地调节振动片(1)的振动频率。

Vibrating sheet, vibrator, electronic device, electronic equipment, mobile body

The invention realizes a vibrating sheet, vibrator, an electronic device, an electronic device and a moving body, which can adjust frequency with high accuracy. The vibrating plate (1) includes a first vibrating arm (17), second (18); and the vibration arm first base (13) and second base (14), the first base (13) connected to the first vibrating arm (17) and the second vibration arms (18) end one side of the second base (14) connected to the first vibrating arm (17) and second (18) of the vibrating arm end of the other side; hammer film (41 ~ 44), which is arranged in the first vibrating arm (17) and second (18) vibration arm in every the vibration on the arm. The drive electrode (20a ~ 20c) and driving electrodes (30a to 30C) are arranged in, on the first vibration arm (17) and the second vibration arms (18) at the position of maximum deformation on the hammer film (41 ~ 44) is arranged in, on the first vibration arm (17) and second vibration arms (18) at a position on the deformation is smaller. By removing a portion of the hammer film (41~44), the vibration frequency of the vibrating sheet (1) can be adjusted with high accuracy.

【技术实现步骤摘要】
振动片、振子、电子装置、电子设备、移动体
本专利技术涉及一种振动片、振子、电子装置、电子设备、以及移动体。
技术介绍
随着电子设备的小型化，从而要求使用于电子设备中的振子的小型化。为了在保持高精度的同时实现小型化，从而作为振子的主要要素、即振动片而使用双音叉振动片。在这种双音叉振动片中，已知有如下的振动片，即，通过缩减对两根振动臂的两端部进行连接的连接部和对双音叉振动片进行固定的基部之间的截面面积，来抑制振动臂部的振动传递至作为双音叉振动片的固定部的基部的、所谓的振动泄漏，从而即使小型化也欲维持精度的振动片(例如，参照专利文献I)。虽然在上述专利文献I中，通过抑制振动臂部的振动传递至基部的情况而提高了精度，但为了高精度地对振动片的频率进行管理，必须高精度地形成振动片的形状。虽然作为振动片的形成方法，一般使用蚀刻加工或光刻加工，但这些形成方法的加工精度是有极限的，从而存在如下课题，即，由于形状的偏差而无法获得作为目标的频率精度。专利文献1:日本特开昭64-29110号公报
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题的至少一部分而完成的专利技术，且能够作为以下的方式或应用例而实现。应用例I本应用例所涉及的振动片的特征在于，具备:第一振动臂部和第二振动臂部，其具有驱动电极；第一基部和第二基部，所述第一基部连接所述第一振动臂部与所述第二振动臂部的一侧端部，所述第二基部连接所述第一振动臂部与所述第二振动臂部的另一侧端部；锤膜，其被设置在所述第一振动臂部与所述第二振动臂部上。由于这种振动片由通过第一基部而连接了第一振动臂部与第二振动臂部的音叉、和通过第二基部而连接了第一振动臂部和第二振动臂部的音叉构成了两组音叉，因此也被称之为双音叉型振动片。根据本应用例，由于在第一振动臂部和第二振动臂部上分别形成有锤膜，并且当去除该锤膜的一部分时，将能够对振动片的振动频率进行调节，因此能够高精度地对由形状偏差而引起的、频率的偏差进行调节。应用例2[0011 ] 在上述应用例所涉及的振动片中，优选为，所述锤膜由金属膜构成，所述驱动电极和所述锤膜并不重叠，而是被配置在相互独立的位置处。通过采用此种方式，即使在驱动电极和锤膜之间未形成有绝缘膜，也能够防止锤膜和驱动电极之间的短路。此外，例如在用比重较大的金属膜来形成锤膜时，将能够以较小的面积来确保所必要的质量，由此能够扩大驱动电极的面积，从而能够提高激励效率。应用例3在上述应用例所涉及的振动片中，优选为，所述驱动电极被配置在，于所述第一振动臂部与所述第二振动臂部上产生的变形最大的位置处。在振动片由压电材料构成的情况下，电流在驱动电极中流动从而电荷移动，由此产生变形，而且第一振动臂部及第二振动臂部进行伸缩。因此，如果将驱动电极配置在变形最大的位置处，则能够提高激励效率。此外，如上文所述，由于锤膜配置在不与驱动电极交叉的位置处，因此不会由于附加锤膜而使激励效率降低。另外，由于变形最大的位置为，第一振动臂部及第二振动臂部各自的、靠近第一基部及第二基部的根部，因此驱动电极至少被配置在第一振动臂部及第二振动臂部的根部处。应用例4在上述应用例所涉及的振动片中，优选为，所述锤膜至少被配置在，于所述第一振动臂部与所述第二振动臂部上产生的变形最小的位置处。如此，当将锤膜配置在变形较小的位置、即产生电荷量较小的位置处时，能够在抑制由于附加锤膜而引起的产生电荷量的降低的同时，高效地实施频率调节。应用例5在上述应用例所涉及的振动片中，优选为，所述锤膜被配置于，所述第一振动臂部及所述第二振动臂部的、与长度方向中央部相比靠所述第一基部侧的位置处，和与所述长度方向中央部相比靠所述第二基部侧的位置处。虽然详细内容将在下文叙述的实施方式中进行说明，但在靠近第一基部及第二基部的位置中，存在如下的位置，即，在第一振动臂部及第二振动臂部进行振动时变形最小的位置。因此，当将锤膜配置在这些位置处时，能够在使由于附加锤膜而引起的、对产生电荷量的影响为最小的同时，有效地实施频率调节。此外，在这种结构中，可以将驱动电极配置在第一振动臂部及第二振动臂部的根部处，并且还配置在长度方向中央部处，从而能够进一步提高激励效率。应用例6在上述应用例所涉及的振动片中，优选为，所述锤膜被配置在，所述第一振动臂部以及所述第二振动臂部的长度方向中央部处。第一振动臂部及第二振动臂部的中央部为，继根部之后变形较小的位置，且为对于频率调节而言效果较大的位置。因此，当将锤膜配置在第一振动臂部及第二振动臂部的中央部处时，能够有效地实施频率调节。应用例7在上述应用例所涉及的振动片中，优选为，所述锤膜由与所述驱动电极相同的材质成膜。对于驱动电极的材质而言，从与振动片的紧贴性、和电特性出发，多数情况下采用例如以Cr为基底层且在其上层叠了 Au的结构。当锤膜也采用相同结构的金属膜时，具有如下的效果，即，能够通过相同的工序而将驱动电极和锤膜成膜，从而能够提高制造效率，且能够使用激光微调装置等，来实施高精度的频率调节。应用例8本应用例所涉及的振子的特征在于，具备上述应用例中的任意一个应用例所述的振动片、和对所述振动片进行收纳的封装件。根据本应用例，能够实现具有上述应用例所述的效果的振子。此外，当将振动片收纳于封装件内时，能够防止来自外部的水分或尘埃的浸入，从而持续进行稳定的高精度的振动。应用例9本应用例所涉及的电子装置的特征在于，具备上述应用例中的任意一个应用例所述的振动片、和对所述振动片进行收纳的封装件。根据本应用例，能够实现具有上述应用例所述的效果的电子装置。应用例10在上述应用例所涉及的电子装置中，优选为，所述封装件具备:封装件基座，其对所述振动片的固定端部进行悬臂支承；盖体，其对所述封装件基座的开口部进行密封且具有挠性；传递部，其将所述盖体的位移向所述振动片的自由端部进行传递。上述振动片如果在正在进行振动时被迫变形，则频率将发生变化。因此，能够实现如下的电子装置，即，通过将在从外部被施加物理量时所产生的盖体的位移向振动片进行传递，从而能够对物理量进行检测。作为所述物理量，例如，可以适用于压力、力(载荷)、加速度等的检测。应用例11本应用例所涉及的电子设备的特征在于,具备上述应用例中的任意一个应用例所述的振动片。根据本应用例，能够实现具有上述应用例中的任意一个应用例所述的效果。应用例12本应用例所涉及的移动体的特征在于,具备上述应用例中的任意一个应用例所述的振动片。根据本应用例，能够实现具有上述应用例中的任意一个应用例所述的效果的移动体。【附图说明】图1为表示振动片的外形形状及电极的结构的一个示例的俯视图。图2为表示振动片正在进行振动的状态中的一个状态的立体图。图3为表示实施方式I所涉及的振动片的俯视图。图4为表示实施方式2所涉及的振动片的俯视图。图5表不振子的一个不例，图5 (a)为内部俯视图，图5 (b)为表不图5 (a)中的A-A截面的首I]视图。图6表示压力检测装置，图6 (a)为透视了内部的俯视图，图6 (b)为表示图6 (a)中的A-A截面的剖视图，图6 (c)为表示图6 (a)中的B-B截面的剖视图。图7为概要地表示作为电子设备的智能手机的立体图。图8为概要地表示作为电子设备的另一个具体示例的数码照相机的立体图。图9为概要地表示作为移动体的一个具本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振动片，其特征在于，具备：第一振动臂部和第二振动臂部，其上设置有驱动电极；第一基部和第二基部，所述第一基部连接所述第一振动臂部与所述第二振动臂部的一侧端部，所述第二基部连接所述第一振动臂部与所述第二振动臂部的另一侧端部；锤膜，其被设置在所述第一振动臂部与所述第二振动臂部上。

【技术特征摘要】
2012.07.10 JP 2012-1543541.一种振动片，其特征在于，具备: 第一振动臂部和第二振动臂部，其上设置有驱动电极； 第一基部和第二基部，所述第一基部连接所述第一振动臂部与所述第二振动臂部的一侧端部，所述第二基部连接所述第一振动臂部与所述第二振动臂部的另一侧端部； 锤膜，其被设置在所述第一振动臂部与所述第二振动臂部上。2.如权利要求1所述的振动片，其特征在于， 所述锤膜为金属膜， 所述驱动电极和所述锤膜被配置在相互独立的位置处。3.如权利要求1所述的振动片，其特征在于， 所述驱动电极至少被配置在，于所述第一振动臂部与所述第二振动臂部上产生的变形最大的位置处。4.如权利要求1所述的振动片，其特征在于， 所述锤膜至少被配置在，于所述第一振动臂部与所述第二振动臂部上产生的变形最小的位置处。5.如权利要求1所述的振动片，其特征在于， 所述锤膜被配置在，所述第一振动臂部及所述第二振动臂部的、与长...

【专利技术属性】
技术研发人员：菊岛正幸，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：