The invention discloses a temperature control system with time delay LPCVD device self calibration method, including: the establishment of PID control model including time-delay error of LPCVD equipments of each temperature zone; includes the establishment of weight coefficient of proportion, integral, differential self-adjusting model control, weight coefficient and determined the established establishment; the supervisory control, for enhancing the stability of temperature control system with time delay LPCVD device. At the same time, the invention also discloses a temperature control system with time delay LPCVD equipment self correcting device, comprises a control module, used to contain time-delay error PID control model to establish LPCVD equipments of each temperature zone; weight PID control module for processing includes the establishment of large delay link weight coefficient of proportion, integral, differential control model, and determine the weight coefficient has been established; the supervision module, for enhancing the stability of temperature control system with time delay LPCVD device. Through this design, the accuracy of parameter setting of PID control model is improved.
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种LPCVD设备的温控时滞系统自校正方法,包括:对LPCVD设备各个温控区建立包含时滞误差的PID控制模型;建立包含权重系数的比例,积分,微分控制项的自校正调节项模型,并确定已建立的权重系数取值范围;建立监督控制项,用于加强LPCVD设备的温控时滞系统的稳定性。同时,本专利技术也公开了一种LPCVD设备的温控时滞系统自校正装置,包括:控制模型模块,用于建立LPCVD设备各个温控区的包含时滞误差的PID控制模型;权重PID控制模型模块,用于建立包含处理大时滞环节权重系数的比例,积分,微分控制项模型,并确定已建立的权值系数取值范围;监督模块,用于加强LPCVD设备的温控时滞系统的稳定性。通过此种设计,提高了PID控制模型参数设置的准确性。【专利说明】LPCVD设备的温控时滞系统自校正方法与装置
本专利技术涉及温度自动化控制领域,特别涉及一种LPCVD设备的温控时滞系统自校正方法与装置。
技术介绍
根据LPCVD工艺的要求,LPCVD设备中需要设计温度控制系统,通常使用的控制方法是PID控制,控制器的参数设计是十分重要的。由于LPCVD设备自身的实际特点,加热炉体共有5个温区,且5个温区之间相互有热干扰特性,那么5个温区控制器参数的调整考虑因素就不仅仅是自身的温区情况,还要考虑其他热干扰因素,同时设备自身具有的时滞效应使控制效应滞后,结果不尽如人意。目前的解决方法大是凭经验人为手动操作调整或离线计算调整。手动调整的缺点是需要人员实时守候,并且系统受人为因素影响大,容易受到人为误差因素的影响,而且实时性较差。离线调整的缺点为设 ...
【技术保护点】
一种LPCVD设备的温控时滞系统自校正方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:1)对LPCVD设备各个温控区建立包含时滞误差的PID控制模型;2)建立包含处理大时滞环节权重系数的比例,积分,微分控制项的自校正调节项和前馈模型,并确定已建立的权重系数取值范围;3)建立监督控制项,用于加强LPCVD设备的温控时滞系统的稳定性。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王峰,王健,孙少东,
申请(专利权)人:北京七星华创电子股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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