【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅锭铸造用坩埚
本技术涉及一种多晶硅锭铸造用坩埚。
技术介绍
太阳能电池通常用多晶硅片为原料制备。而多晶硅片由多晶硅铸锭再经过开方、切片加工制成。多晶硅硅锭是以高纯多晶硅为原料在高温条件下熔融成硅液,经过定向凝固结晶形成;其生产过程有:装料、加温、熔化、结晶、退火、冷却。在晶体定向凝固的初期成核方式决定晶体的后期生长。早期的铸锭工艺采用全熔工艺,然后通过控制隔热笼的位移与高度改变铸锭炉的温度场,从而给坩埚底部的硅液一个过冷度,硅液通过自由成核进行自由生长成多晶体;此工艺生产的硅片光电转换效率一般在17.0%左右;为了提高光电转换效率,通过技术改进:对原有铸锭工艺进行优化,形成一种高效多晶新工艺,即:在坩埚底部铺垫一层籽晶,在熔化过程中控制隔热笼位移与高度与铸锭炉的温度场,使得籽晶不被熔化,后期控制TCl温度实现晶体在籽晶上的生长模式,效率在17.6%左右,但是成晶比率较低,单片硅片成本较高。目前,铸锭普遍采用石英坩埚为装载多晶硅原料的容器。而光电转换效率在17.5%的高效多晶硅锭生产方法很多,如将石英坩埚底部设计成倒金字塔形状结构,为的是增大晶体在生长初期的成核环境下的粗糙度,提高成核数;另外,硅片生产企业很多厂家采用在石英坩埚底部铺放一层碎硅片作籽晶,增大晶体在生长初期的成核环境下的粗糙度,以引导硅液定向凝固形成多晶体。
技术实现思路
本技术其目的就在于提供一种多晶硅锭铸造用坩埚,改变晶体生长初期底部成核时的粗糙度,以求生长出高效多晶,具有成品收益高、单片硅片成本低的特点。实现上述目的而采取的技术方案,包括埚体、埚底,所述坩埚内表面喷涂氮化硅涂层 ...
【技术保护点】
一种多晶硅锭铸造用坩埚,包括埚体(1)、埚底(2),其特征在于,所述坩埚内表面喷涂氮化硅涂层,所述坩埚埚底(2)内表面氮化硅涂层上喷涂氮化硅粉与硅粉涂层(3)。
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅锭铸造用坩埚,包括埚体(I)、埚底(2),其特征在于,所述坩埚内表面喷...
【专利技术属性】
技术研发人员:宋丽平,张泽兴,吴彬辉,杨帅国,傅亮,
申请(专利权)人:江西旭阳雷迪高科技股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。