空中搬运车制造技术

空中搬运车（1）具备：主体部（4），其收纳被搬运物（30）并沿着行驶轨道（3）行驶；升降机构（6），其具有保持被搬运物（30）的保持部（8）和相对于收纳被搬运物（30）的规定位置P使保持部（8）升降的升降部（7）；盖落下防止部件（20），其在保持部（8）配置于位置P时与被搬运物（30）的盖（31）相对；和移动机构（10）。移动机构（10）以当保持部（8）配置在位置P时落下盖落下防止部件（20）配置在防止位置、当保持部（8）相对于位置P升降时盖落下防止部件（20）配置在退避位置的方式，从动于保持部（8）的升降动作而使盖落下防止部件（20）移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】空中搬运车
本专利技术涉及在例如清洁室中将安装有拆装自如的盖的被搬运物(收纳有多枚半导体晶片的晶片盒等)沿着搬运路径进行搬运的空中搬运车。
技术介绍
作为以往的空中搬运车，公知有例如专利文献I所记载的空中搬运车。在专利文献I所记载的空中搬运车中，在收纳被搬运物而进行搬运时，通过盖落下防止部件防止盖从被搬运物落下。该盖落下防止部件通过执行机构而转动，使得在被搬运物被收纳时该盖落下防止部件位于被搬运物的盖的前方，在被搬运物被升降时该盖落下防止部件从被搬运物的盖的前方退避。在先技术文献专利文献1:国际公开第2009/141976号通过上述的空中搬运车，能够防止在被搬运物的搬运时盖落下，还能够防止在被搬运物的升降时阻碍升降动作，但是，为了使盖落下防止部件转动，需要专用的执行机构。因此，特别是在比较小型的空中搬运车中，一直寻求结构的简化。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种空中搬运车，该空中搬运车能够以简易的结构来防止在被搬运物的搬运时作为被搬运物的一部分的盖落下，并能够防止在被搬运物的升降时升降动作受到阻碍。本专利技术的空中搬运车是一种将安装有拆装自如的盖的被搬运物沿着搬运路径搬运的空中搬运车，其特征在于，包括:主体部，该主体部收纳被搬运物并沿着搬运路径行驶；升降机构，该升降机构具有保持被搬运物的保持部、以及相对于收纳被搬运物的规定位置使保持部升降的升降部；盖落下防止部件，该盖落下防止部件在保持部配置于规定位置时与盖相对；和移动机构，该移动机构以当保持部配置于规定位置时盖落下防止部件配置在防止盖落下的第I位置、当保持部相对于规定位置升降时盖落下防止部件配置在比第I位置离盖远的第2位置的方式，从动于保持部的升降动作而使盖落下防止部件移动。在该空中搬运车中，在保持被搬运物的保持部被配置于规定位置时，盖落下防止部件配置在防止盖落下的第I位置。由此，能够防止在被搬运物的搬运时盖落下。另一方面，在保持被搬运物的保持部相对于规定位置升降时，盖落下防止部件配置在比第I位置离盖远的第2位置。由此，能够防止在被搬运物的升降时升降动作受到阻碍。而且，移动机构从动于保持部的升降动作而在第I位置与第2位置之间使盖落下防止部件移动。由此，通过该空中搬运车，能够通过简易的结构来防止在被搬运物的搬运时盖落下，还能够防止在被搬运物的升降时升降动作受到阻碍。另外，在本专利技术的空中搬运车中，也可以是，移动机构具有:安装有盖落下防止部件并在前进位置与后退位置之间摆动的第I摆动部；和与第I摆动部连结并在上升位置与下降位置之间摆动的第2摆动部，当保持部上升以规定位置为基点的规定的距离时，第2摆动部从下降位置向上升位置摆动，并且第I摆动部从后退位置向前进位置摆动，由此盖落下防止部件从第2位置向第I位置移动，当保持部下降规定的距离时，第2摆动部从上升位置向下降位置摆动，并且第I摆动部从前进位置向后退位置摆动，由此盖落下防止部件从第I位置向第2位置移动。通过该结构，能够谋求移动机构的结构简化，使移动机构的机械性动作的可靠性提高。另外，在本专利技术的空中搬运车中，也可以是，移动机构以在外力朝着第2位置而作用于配置在第I位置的盖落下防止部件上的情况下盖落下防止部件向第2位置侧仅移动规定的量的方式，支承盖落下防止部件，移动机构具有检测盖落下防止部件的向第2位置侧的位移的位移检测部。通过该结构，一旦在例如搬运时盖就要从被搬运物脱落，配置在第I位置的盖落下防止部件就会向第2位置侧移动。此时，通过位移检测部能够检测出盖落下防止部件的向第2位置侧的位移，所以能够知晓盖就要从被搬运物脱落的情况。由此，能够迅速地采取使盖眼看就要脱落的状态下的空中搬运车的行驶中止、使被搬运物的搬运停止并将盖重新盖在被搬运物上的措施。另外，在本专利技术的空中搬运车中，盖落下防止部件中至少与盖相对的部分也可以由具有挠性的片状部件构成。通过该结构，在设置盖落下防止部件时，能够抑制盖落下防止部件从主体部突出。另外，即使盖从被搬运物脱落，也能够可靠地承挡盖。进一步讲，即使盖落下防止部件万一与外部设备等接触，也由于盖落下防止部件容易变形而能够防止给外部设备等带来损伤。专利技术的效果根据该结构，能够以简易的结构迅速地检测到在被搬运物的搬运时盖就要脱落的情况并能够防止盖落下，还能够防止在被搬运物的升降时升降动作受到阻碍。【附图说明】图1是本专利技术的一实施方式的空中搬运车的侧视图。图2是沿着图1的I1-1I线的空中搬运车的剖视图。图3是表示在图2的空中搬运车中正在使被搬运物升降的状态的图。图4是图2的空中搬运车的主要部分放大图。【具体实施方式】以下，关于本专利技术的优选实施方式，参照附图进行详细说明。另外，在各图中对于相同或者相当部分标注相同的符号，并省略重复的说明。如图1所示，空中搬运车I沿着行驶轨道(搬运路径)3搬运被搬运物30。行驶轨道3经由支柱2而设置在用于制造半导体器件的清洁室的天花板上。另外，被搬运物30为收纳有多枚半导体晶片的晶片盒(所谓的FOUP (Front Opening Unified Pod,正面开口标准箱))。在被搬运物30的侧面安装有用于半导体晶片出入的拆装自如的盖31。另外，在被搬运物30的上表面设有由空中搬运车I保持的凸缘部32。空中搬运车I包括收纳被搬运物30并沿着行驶轨道3行驶的主体部4。主体部4经由行驶部5而悬吊于行驶轨道3。行驶部5具有与行驶轨道3的内表面接触的驱动轮以及导向轮，通过这些结构使主体部4沿着行驶轨道3行驶。另外，行驶部5具有位于行驶轨道3内的电磁线圈单元，由此，从铺设于行驶轨道3内的高频电流线以无接触的方式接受电力的供给。主体部4具有安装有行驶部5的基架4a。基架4a的在搬运方向A上的前侧及后侧分别以向下方延伸的方式设有前架4b以及后架4c。被搬运物30以盖31相对于搬运方向A朝向侧方的状态被收纳在前架4b与后架4c之间。另外，在以下的说明中，将盖31相对于搬运方向A所朝向侧称为“一方侧”，将其相反侧称为“另一方侧”。在基架4a上安装有升降机构6。升降机构6具有升降部7及保持部8。保持部8通过把持凸缘部32而保持被搬运物30。另外，升降部7使保持部8相对于收纳被搬运物30的规定位置P升降。更具体地说，升降部7通过同步抽出多根皮带9而使安装于皮带9的端部的保持部8从位置P下降。另一方面，升降部7通过同步卷绕多根皮带9而使安装于皮带9的端部的保持部8上升到位置P。另外，在基架4a上，有时设置使升降部7相对于搬运方向A向一方侧及另一方侧移动的横向进给部、和在水平面内使升降部7转动的Θ转角驱动器等。基于以上结构，空中搬运车I如下述那样动作。即，空中搬运车I停止于搬运起点(例如半导体处理装置)的端口的上方，利用升降机构6使配置于该端口上的被搬运物30上升并收纳于主体部4中。接下来，空中搬运车I沿着行驶轨道3搬运被搬运物30。接着，空中搬运车I停止于搬运目的地(例如半导体处理装置)的端口的上方，利用升降机构6使收纳于主体部4中的被搬运物30下降，并配置在该端口上。如图1以及图2所示，空中搬运车I包括:在保持部8被配置在了规定位置P时与被搬运物30的盖31相对的盖落下防止部件20 ;和从动于保持部8的升降动作而使盖落下防止部件20移动的移动机构10。盖落下防止部件2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种空中搬运车，该空中搬运车将安装有拆装自如的盖的被搬运物沿着搬运路径搬运，其特征在于，包括：主体部，所述主体部收纳所述被搬运物并沿着所述搬运路径行驶；升降机构，所述升降机构具有保持所述被搬运物的保持部、以及相对于收纳所述被搬运物的规定位置使所述保持部升降的升降部；盖落下防止部件，所述盖落下防止部件在所述保持部配置于所述规定位置时与所述盖相对；和移动机构，所述移动机构以当所述保持部配置于所述规定位置时所述盖落下防止部件配置在防止所述盖落下的第1位置、当所述保持部相对于所述规定位置升降时所述盖落下防止部件配置在比所述第1位置离所述盖远的第2位置的方式，从动于所述保持部的升降动作而使所述盖落下防止部件移动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.05.17 JP 2011-1103301.一种空中搬运车，该空中搬运车将安装有拆装自如的盖的被搬运物沿着搬运路径搬运，其特征在于，包括: 主体部，所述主体部收纳所述被搬运物并沿着所述搬运路径行驶； 升降机构，所述升降机构具有保持所述被搬运物的保持部、以及相对于收纳所述被搬运物的规定位置使所述保持部升降的升降部」 盖落下防止部件，所述盖落下防止部件在所述保持部配置于所述规定位置时与所述盖相对；和 移动机构，所述移动机构以当所述保持部配置于所述规定位置时所述盖落下防止部件配置在防止所述盖落下的第I位置、当所述保持部相对于所述规定位置升降时所述盖落下防止部件配置在比所述第I位置离所述盖远的第2位置的方式，从动于所述保持部的升降动作而使所述盖落下防止部件移动。2.如权利要求1所述的空中搬运车，其特征在于， 所述移动机构具有:安装有所述盖落下防止部件并在前进位置与后退位置之间摆动的第I摆动部；和与所述第I摆动部连...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤原佑辅，椿达雄，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：
国别省市：