一种标定位移平台线性度的方法及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种标定位移平台线性度的方法及系统，在激光成像系统中使用，包括：第1步，第一图像采集设备获取标定尺上第一固定图形位置进行定位，获取所述第一图像采集设备的位置坐标；第2步，第二图像采集设备从相邻所述第一固定图形的第二固定图形起始，沿同一方向依次获取所述标定尺上的固定图形位置进行定位，依次获取所述第二图像采集设备的位置坐标；第3步，计算图像采集设备变化的线性度，根据所述线性度值可以表征所述位移平台的线性度。本发明专利技术的有益效果为，本发明专利技术结构简单，测量误差较小，实用性较强，通过简单的结构能够实现实时有效的标定测量系统间的变化，通过测量的线性度对位移平台进行补偿。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种标定位移平台线性度的方法及系统，在激光成像系统中使用，包括：第1步，第一图像采集设备获取标定尺上第一固定图形位置进行定位，获取所述第一图像采集设备的位置坐标；第2步，第二图像采集设备从相邻所述第一固定图形的第二固定图形起始，沿同一方向依次获取所述标定尺上的固定图形位置进行定位，依次获取所述第二图像采集设备的位置坐标；第3步，计算图像采集设备变化的线性度，根据所述线性度值可以表征所述位移平台的线性度。本专利技术的有益效果为，本专利技术结构简单，测量误差较小，实用性较强，通过简单的结构能够实现实时有效的标定测量系统间的变化，通过测量的线性度对位移平台进行补偿。【专利说明】一种标定位移平台线性度的方法及系统
本专利技术属于印刷线路板设备
，尤其是涉及一种标定位移平台线性度的方法及系统。
技术介绍
光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征的构图的技术。这样的基底可包括用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等的芯片。激光成像系统是在有衬底的表面上直接显示设计的图像，用紫外光、远紫外光、准直光等经空间光调制器SLM和投影物镜将光投向衬底的表面，触发衬底的表面感光材料的光触反应，曝光结束的衬底经显影剂等处理，显示出设计的图像，成像精度高，最小线宽达10 μ m0实际使用中，激光成像设备长期处于工作状态，其图像采集设备CXDl和(XD2的相对位置受到环境(如温度等)、材料的膨胀系数等影响会发生变化。变化的区间在0-40 μ m，甚至更大，这种微小的变化会对对准要求在十几微米的目标产生巨大的影响，会导致设备工作一段时间后无法精确对准。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种标定位移平台线性度的方法及系统，以解决现有技术中存在的上述缺陷。为实现本专利技术的目的，本专利技术提供了一种标定位移平台线性度的方法，在激光成像系统中使用，第I步，第一图像采集设备获取标定尺上第一固定图形位置进行定位，获取所述第一图像采集设备的位置坐标；第2步，第二图像采集设备从相邻所述第一固定图形的第二固定图形起始，沿同一方向依次获取所述标定尺上的固定图形位置进行定位，依次获取所述第二图像采集设备的位置坐标；第3步，设定所述标定尺固定图形的间距为L，设定获取的所述第一图像采集设备的位置坐标为P1，获取的所述第二图像采集设备的位置坐标依次为P2、P3、P4，计算Pl与P2的距离为LI，计算P3与P4的距离为L2，通过下述得到线性度值X: L-LD2+(L-L2)2 ,根据所述线性度值可以表征所述位移平台的线性度。相应地，本专利技术还提供了一种标定位移平台线性度的系统，应用于激光成像系统中，包括:工作平台、吸盘、标定尺、第一图像采集设备、第二图像采集设备、位移平台、龙门，所述吸盘放置于所述工作平台上，所述标定尺设置有固定图形，且放置于所述吸盘一侧，所述工作平台上设有龙门，所述第一图像采集设备与所述龙门上固定连接，所述第二图像采集设备与所述龙门滑动连接，所述第二图像采集设备与所述位移平台固定连接。本专利技术的有益效果为，本专利技术结构简单，测量误差较小，实用性较强，通过简单的结构能够实现实时有效的标定测量系统间的变化，通过测量的线性度对位移平台进行补【权利要求】1.一种标定位移平台线性度的方法，在激光成像系统中使用，其特征在于， 第I步，第一图像采集设备获取标定尺上第一固定图形位置进行定位，获取所述第一图像采集设备的位置坐标； 第2步，第二图像采集设备从相邻所述第一固定图形的第二固定图形起始，沿同一方向依次获取所述标定尺上的固定图形位置进行定位，依次获取所述第二图像采集设备的位置坐标； 第3步，设定所述标定尺固定图形的间距为L，设定获取的所述第一图像采集设备的位置坐标为P1，获取的所述第二图像采集设备的位置坐标依次为？2、？344，计算？1与？2的距离为LI，计算P3与P4的距离为L2，通过下述得到线性度值X: I=^CL-LI)2+(L-L2)2 ,根据所述线性度值可以表征所述位移平台的线性度。2.一种标定位移平台线性度的系统，应用于激光成像系统中，其特征在于，包括:工作平台、吸盘、标定尺、第一图像采集设备、第二图像采集设备、位移平台、龙门，所述吸盘放置于所述工作平台上，所述标定尺设置有等间距的固定图形，且放置于所述吸盘一侧，所述工作平台上设有龙门，所述第一图像采集设备与所述龙门上固定连接，所述第二图像采集设备与所述龙门滑动连接，所·述第二图像采集设备与所述位移平台固定连接。【文档编号】G03F7/20GK103529655SQ201310526171【公开日】2014年1月22日 申请日期:2013年10月29日 优先权日:2013年10月29日 【专利技术者】李显杰, 赵飞, 陈勇 申请人:天津芯硕精密机械有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种标定位移平台线性度的方法，在激光成像系统中使用，其特征在于，第1步，第一图像采集设备获取标定尺上第一固定图形位置进行定位，获取所述第一图像采集设备的位置坐标；第2步，第二图像采集设备从相邻所述第一固定图形的第二固定图形起始，沿同一方向依次获取所述标定尺上的固定图形位置进行定位，依次获取所述第二图像采集设备的位置坐标；第3步，设定所述标定尺固定图形的间距为L，设定获取的所述第一图像采集设备的位置坐标为P1，获取的所述第二图像采集设备的位置坐标依次为P2、P3、P4，计算P1与P2的距离为L1，计算P3与P4的距离为L2，通过下述得到线性度值X：根据所述线性度值可以表征所述位移平台的线性度。FDA0000403964600000011.jpg

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李显杰，赵飞，陈勇，
申请(专利权)人：天津芯硕精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：