X射线图像生成装置及X射线图像生成方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供提供一种X射线图像生成装置和X射线图像生成方法，其能够对二维检测器在样品的相对于该二维检测器不同位置处检测的透射图像进行合成。X射线图像生成装置，其特征在于，具有：X射线发生部，其对样品照射大致平行的X射线；二维检测器，其相对于所述样品配置于所述X射线发生部的相反侧，并具有检测所述样品的透射图像的检测区域；支承台，其用于配置所述样品；工作台，其用于搭载所述支承台，可使所述支承台沿所述二维检测器的所述检测区域的平面做面内移动；和控制部，其根据所述二维检测器检测的所述样品的多个透射图像，生成合成透射图像数据，所述控制部拼合所述样品的不同的多个位置的透射图像，生成合成透射图像数据。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供提供一种X射线图像生成装置和X射线图像生成方法，其能够对二维检测器在样品的相对于该二维检测器不同位置处检测的透射图像进行合成。X射线图像生成装置，其特征在于，具有：X射线发生部，其对样品照射大致平行的X射线；二维检测器，其相对于所述样品配置于所述X射线发生部的相反侧，并具有检测所述样品的透射图像的检测区域；支承台，其用于配置所述样品；工作台，其用于搭载所述支承台，可使所述支承台沿所述二维检测器的所述检测区域的平面做面内移动；和控制部，其根据所述二维检测器检测的所述样品的多个透射图像，生成合成透射图像数据，所述控制部拼合所述样品的不同的多个位置的透射图像，生成合成透射图像数据。【专利说明】X射线图像生成装置及X射线图像生成方法
本专利技术涉及一种X射线图像生成装置及X射线图像生成方法，尤其是，涉及样品的透射图像比二维图像检测器的检测区域大时的X射线图像生成。
技术介绍
在X射线透射拍摄领域中使用二维检测器。因为二维检测器的检测区域和分辨率有限，因此为得到高分辨率的透射图像，通过使用微小焦点的X射线源，并将样品靠近X射线源，由此拍摄放大投影的样品的透射图像。即，通过缩小从X射线源到样品的距离，并设置足够的从样品到检测器的距离，可提高分辨率。通过调整其距离关系，可调整放大倍率。在日本专利技术专利公开第平9-101270号公报中，公开了对发散角大的X射线透过样品而生成的放大图像进行检测的技术。现有技术文献专利文献专利文献1:日本专利技术专利公开第平9-101270号公报专利文献2:日本专利技术专利公开第2012-80963号公报【
技术实现思路
】通过将样品靠近X射线源得到高分辨率的透射图像，但是，在对透射图像的一次拍摄中，二维检测器能够检测的可拍摄区域(可测定区域)小。在样品比该可拍摄区域大时，所得到的X射线图像为对样品的一部分进行拍摄的图像。即，很难同时使所拍摄的透射图像的分辨率提高，并扩大可拍摄区域。为提高图像的分辨率，并取得更大范围的X射线图像，专利技术人讨论了具有二维XY平台的X射线图像生成装置。其为比较例I的X射线图像生成装置。在二维XY平台上搭载样品，在与二维检测器的检测区域平面平行的平面(xy平面)内使样品移动。利用二维XY平台使样品依次移动，随之依次拍摄透射图像，拼合多个透射图像，能够生成合成透射图像数据，由此实现更大范围(例如，样品整体)高分辨率的X射线图像的图像生成。但是，由于样品在垂直于二维检测器的检测区域的方向(z方向)上具有有限的厚度，存在以下问题。图9A和图9B为表示比较例I的X射线图像生成装置的驱动的示意图。在利用X射线源Iio射出的X射线进行放大投影后的X射线图像中，对于样品200的在xy平面上为相同位置，但在z方向上为不同位置的两点，被二维检测器的不同位置检测到。在此，假设该样品为平面板状，在xy平面相同的位置处，A点在X射线源侧的平面上，B点在二维检测器侧的平面上。在图9A中，由于这两点相对于X射线源110，位于图中的上侧，因此经过位于X射线源110侧的点A的X射线与经过位于二维检测器112侧的点B的X射线相比向上侧发散，在由二维检测器112得到的X射线图像中，点A的像Ai与点B的像Bi相比位于图中上侧。与此相对，在图9B中，由于该两点相对于X射线源位于图中下侧，因此经过点A的X射线与经过点B的X射线相比向下侧发散，使点A的像Ai与点B的像Bi相比位于图中下侦U。因此，结合这两张透射图像，例如利用点A的像Ai的位置拼合图像，则点B的像Bi产生错位，在比较例I的X射线图像生成装置中，不能实现大范围高分辨率的X射线图像的图像生成。本专利技术有鉴于上述课题，其目的在于提供一种X射线图像生成装置和X射线图像生成方法，其能够对二维检测器在样品的相对于该二维检测器不同位置处检测的透射图像进行合成。(I)为解决上述课题，本专利技术的X射线图像生成装置的特征在于，具有:x射线发生部，其对样品照射大致平行的X射线；二维检测器，其相对于所述样品配置于所述X射线发生部的相反侧，并具有检测所述样品的透射图像的检测区域；支承台，其用于配置所述样品；工作台，其用于搭载所述支承台，可使所述支承台沿所述二维检测器的所述检测区域的平面做面内移动；和控制部，其根据所述二维检测器检测的所述样品的多个透射图像，生成合成透射图像数据，所述控制部拼合所述样品的不同的多个位置的透射图像，生成合成透射图像数据。(2)优选在上述(I)的X射线图像生成装置中，所述支承台具有旋转驱动系统，所述旋转驱动系统以沿着所述检测区域的平面的方向为旋转轴，使所述样品旋转移动至各规定数量的角度配置，所述控制部，在所述各规定数量的角度配置下，拼合所述样品的不同的多个位置的透射图像，生成合成透射图像数据，通过对所生成的所述规定数量的合成透射图像数据进行图像重构，对三维X射线CT图像进行图像生成。(3)优选在上述(2)的X射线图像生成装置中，所述工作台使所述支承台依次移动，使所述样品位于所述不同的多个位置中的任何位置，在该位置的配置下，所述旋转驱动系统使所述样品依次旋转移动，使所述样品位于所述规定数量的角度配置中的任何角度配置，在该配置下，所述二维检测器检测所述样品的透射图像，对在各所述规定数量的角度配置下所述样品的不同的多个位置的多个透射图像进行检测。(4)优选在上述(I)?(3)中任一 X射线图像生成装置中，还具有:光学摄像部，其检测所述样品的光学图像；和光学反射镜，其配置于所述X射线发生部和所述支承台之间，使来自所述X射线发生部的X射线向所述样品透射，并且，使沿所述检测区域的平面的法线方向从所述样品行进来的光反射，而射入所述光学摄像部。(5)优选在上述(4)的X射线图像生成装置中，所述光学反射镜具有使从所述X射线发生部到二维检测器的检测区域的X射线通过的开口部。(6)优选在上述(4)的X射线图像生成装置中，所述光学反射镜为金属薄膜反射镜。(7)优选在上述(I)?(6)中任一 X射线图像生成装置中，在设从所述X射线发生部到所述样品的距离为L，设从所述样品到所述二维检测器的距离为d时，d/L为0.1以下。(8)在上述(I)?(7)中任一 X射线图像生成装置中，对于射入到所述样品，贯穿所述样品，并到达所述二维检测器的所述检测区域的X射线，在设从样品的入射部位到出射部位的距离为t，设所述检测区域的法线方向与X射线的行进方向所成的角为θ时，t与所述二维检测器的空间分辨率相比充分大，t.Θ为所述二维检测器的空间分辨率以下。(9)本专利技术的X射线图像生成方法，其使用，X射线发生部，其对样品照射大致平行的X射线；二维检测器，其相对于所述样品配置于所述X射线发生部的相反侧，并具有检测所述样品的透射图像的检测区域；支承台，其用于配置所述样品；工作台，其用于搭载所述支承台，可使所述支承台沿所述二维检测器的所述检测区域的平面做面内移动；和控制部，其根据所述二维检测器检测的所述样品的多个透射图像，生成合成透射图像，在所述X射线图像生成方法中，所述控制部拼合所述样品的不同的多个位置的透射图像，生成合成透射图像数据。根据本专利技术，能够提供一种X射线图像生成装置和X射线图像生成方法，其能够对二维检测器在样品的相对于该二维检测器不同位置处检测的透射图像进行合成。【本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种X射线图像生成装置，其特征在于，具有：X射线发生部，其对样品照射大致平行的X射线；二维检测器，其相对于所述样品配置于所述X射线发生部的相反侧，并具有检测所述样品的透射图像的检测区域；支承台，其用于配置所述样品；工作台，其用于搭载所述支承台，可使所述支承台沿所述二维检测器的所述检测区域的平面做面内移动；和控制部，其根据所述二维检测器检测的所述样品的多个透射图像，生成合成透射图像数据，所述控制部拼合所述样品的不同的多个位置的透射图像，生成合成透射图像数据。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：表和彦，武田佳彦，
申请(专利权)人：株式会社理学，
类型：发明
国别省市：