表面检查装置及方法、溶液制膜方法及设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种表面检查装置及方法、以及溶液制膜方法及设备。通过表面检查装置（10）检查卷绕在1对支承滚筒（12）上的流延带（11a）的表面。对卷绕在支承滚筒（12）上的部分的流延带（11a）沿宽度方向扫描激光（20）。由接收机（16）接收在流延带（11a）反射的激光（20）。接收机（16）通过具有狭缝开口（21a）的遮光板（21）遮挡不需要的光。利用定位单元（18）将扫描仪（15）及接收机（16）定位到流延带（11a）的检查位置。能够将扫描仪（15）及接收机（16）配置成与流延带（11a）的圆弧面相对，且能够高精度地检查针孔等微小缺陷。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种表面检查装置及方法、以及溶液制膜方法及设备。通过表面检查装置（10）检查卷绕在1对支承滚筒（12）上的流延带（11a）的表面。对卷绕在支承滚筒（12）上的部分的流延带（11a）沿宽度方向扫描激光（20）。由接收机（16）接收在流延带（11a）反射的激光（20）。接收机（16）通过具有狭缝开口（21a）的遮光板（21）遮挡不需要的光。利用定位单元（18）将扫描仪（15）及接收机（16）定位到流延带（11a）的检查位置。能够将扫描仪（15）及接收机（16）配置成与流延带（11a）的圆弧面相对，且能够高精度地检查针孔等微小缺陷。【专利说明】表面检查装置及方法、溶液制膜方法及设备
本专利技术涉及一种流延支承体的表面检查装置及方法、以及溶液制膜方法及设备。
技术介绍
具有透光性的热塑性薄膜为轻质且易成型，因此作为光学薄膜被广泛利用。其中，利用纤维素酰化物等的纤维素酯类薄膜，以照片感光用薄膜为代表，近几年市场要求不断扩大的液晶显示装置的构成部件即光学薄膜(例如，相位差薄膜或偏光板保护薄膜等)而被使用。这种薄膜通过溶液制膜方法进行制造。溶液制膜方法如下，即使包含聚合物和溶剂的聚合物溶液(浓液)流至支承体上来形成流延膜。接着，在流延膜固化至能够传送的程度之后，将其作为湿润薄膜从支承体剥下。然后将该湿润薄膜送至干燥室。在干燥室将湿润薄膜卷绕在辊上进行传送的同时，使溶剂从湿润薄膜蒸发而成为薄膜。另外，在通过冷却使流延膜固化的冷却流延方式的情况下，代替干燥室，送至针板拉幅机来用针板拉幅机使湿润薄膜干燥。然而，随着近几年液晶显示器(IXD)的高清晰度和智能手机(多功能移动电话)、平板型电脑等便携型终端装置的普及，对于使用于这些显示装置中的光学薄膜，比以往进一步要求表面无微细突起或孔等。关于这些光学薄膜的表面上的微细突起或孔等缺陷，如日本专利公开平6-207910号公报所记载，对连续行走的薄膜沿该宽度方向扫描光束，使透过薄膜或反射的检查光具有光束直径以下的狭缝宽度，且通过与光束的行走方向平行配置的受光窗之后入射至受光器，通过来自该受光器的光电转换输出检查被检查体的表面缺陷。另外，日本专利公开平8-261949号公报中，将狭缝开口宽度设为检查光的射束直径的(1/10)以上(2/3)以下的范围来高精度地检查表面缺陷。但是，上述日本专利公开平6-207910号公报及日本专利公开平8-261949号公报的检查装置检查作为产品的薄膜的缺陷。而且，根据缺陷检查数据来特定薄膜上的缺陷部分，并且在显示装置等中显示，以免使用该缺陷部分。进行产品化时，排除缺陷部分来使用。因此，上述日本专利公开平6-207910号公报及日本专利公开平8-261949号公报的检查装置虽然能够避免使用缺陷部分，但是并没有实现彻底地解决减少薄膜本身的缺陷部分。溶液制膜方法中，由于将流延于流延支承体上的流延膜剥下并进行干燥而作为薄膜的关系，薄膜的表面状态取决于流延支承体的表面状态。因此，流延支承体的制造阶段中，检查该表面状态，若发现微细凹凸，当其为凸出时研磨该部分，其为凹陷时进行点焊之后进行研磨，进行消除微细凹凸的表面精加工，以免作为产品的薄膜上产生微细缺陷。以往，这种流延支承体的检查通过熟练的检查员目视观察表面来发现微细凹凸缺陷。然而，随着LCD的高清晰度和智能手机、平板型电脑等便携型终端装置的普及，用于这些装置的光学薄膜的品质要求等级日益提高。因此，至今由熟练者进行的表面状态保证所要求的缺陷尺寸逐渐变得小于目视等级。因此，通过熟练者进行的检查开始受限，而要求新的流延支承体的检查方法。并且，因近几年IXD的大屏幕化要求，对于溶液制膜中的流延支承体也要求宽幅。但是，作为流延支承体材料的带钢的宽度受到制造带钢的生产线设备宽度的限制，不易对应宽幅化。因此，如韩国专利公开公报第2009-110082号公报所记载，还提出有在以往的流延支承体的两侧沿长边方向焊接(纵焊接)新的侧板来加宽侧板对应量的纵焊接带。并且，即使为以往的流延带，在制造环状带时，在宽度方向上焊接(横焊接)带钢的两端部连结成环状。因此，即使为以往的流延带，也存在沿宽度方向延伸的横焊接线。在包含这种纵焊接线或横焊接线等焊接部的流延带中，交纳流延带时，由熟练者进行严格的表面缺陷检查。而且，通过严格的检查发现焊接部的针孔或龟裂，该被发现的缺陷通过点焊或之后的研磨等的精加工处理消除。因此，作为流延带刚导入到溶液制膜设备之后，作为薄膜的缺陷面而转印的尺寸的缺陷被排除，所得到的薄膜中不会出现微细凹凸缺陷。但是，若通过溶液制膜后的研磨补修等对流延带进行研磨，则交纳流延带时为微小而没有被判定为缺陷的例如壶状的针孔等时，针孔有时因研磨较大地开口而发展为缺陷。因此，交纳流延带时的表面缺陷的检查中，还需要考虑之后的研磨补修，也需要将研磨后发展为缺陷的壶状的微细针孔判定为缺陷，而期待开发代替由熟练者进行的目视检查的检测精度较高的检查方法及检查装置。因此，也可以将如上述日本专利公开平6-207910号公报及日本专利公开平8-261949号公报的薄膜作为对象的缺陷检查方法应用于流延支承体表面的缺陷检查中。但是，流延带或流延滚筒等流延支承体已进行镜面精加工，存在即使直接应用对薄膜的缺陷检测方法，也无法高精度地检测表面缺陷的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种能够高精度地检查因流延支承体的微细凹凸而产生的缺陷的流延支承体的表面检查装置及方法、溶液制膜方法及设备。本专利技术的流延支承体的表面检查装置具备扫描仪、接收机、遮光板及缺陷判定部。扫描仪对连续行走的流延支承体沿流延支承体的宽度方向扫描激光。在流延支承体上的激光的光斑直径为20 μ m以上50 μ m以下。接收机对在流延支承体反射的激光进行光电转换。遮光板设置于接收机并具有狭缝开口。狭缝开口沿着在流延支承体反射的激光的扫描线配设。狭缝开口的狭缝宽度为光斑直径的30倍以上200倍以下。缺陷判定部对来自接收机的光电转换信号进行二进制化来生成二进制信号。缺陷判定部根据二进制信号检测缺陷候选。缺陷判定部将大于预先设定的值的缺陷候选判定为缺陷。优选流延支承体为流延滚筒和卷绕在I对支承滚筒的环状流延带中的任一方。基于激光的扫描线形成于流延滚筒的周面和卷绕在支承滚筒的流延带部分中的任一方。优选被形成扫描线的流延支承体的曲率半径为IOOmm以上4000mm以下。此时，由于对通过支承滚筒支承的流延带或流延滚筒照射激光，因此流延带振动的情况减少，且能够进行高精度的缺陷检测。优选具备将扫描仪和接收机相对于流延支承体定位的定位单元。优选定位单元具有框架、扫描仪保持部及接收机保持部。框架配设成与流延支承体相对。扫描仪保持部使扫描仪围绕与流延支承体上的激光的扫描线平行的X轴转动而在任意转动位置固定扫描仪。接收机保持部使接收机围绕X轴转动而在任意转动位置固定接收机，以便由狭缝开口接收从流延支承体反射的激光。此时，相对于检查对象即流延支承体，能够快速地对扫描仪及接收机进行定位。优选扫描仪保持部使扫描仪以流延支承体上的设计时扫描线为中心转动。优选接收机保持部使接收机以设计时扫描线为中心转动。另外，设计时扫描线是指来自扫描仪的激光在流延支承体的表面反射，该反射光到达接收机的标准本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流延支承体的表面检查装置，其特征在于，具备：扫描仪，对连续行走的流延支承体沿所述流延支承体的宽度方向扫描激光，在所述流延支承体上的所述激光的光斑直径为20μm以上50μm以下；接收机，对在所述流延支承体反射的所述激光进行光电转换；遮光板，设置于所述接收机且具有狭缝开口，所述狭缝开口沿着在所述流延支承体反射的所述激光的扫描线配设，所述狭缝开口的狭缝宽度为所述光斑直径的30倍以上200倍以下；及缺陷判定部，所述缺陷判定部对来自所述接收机的光电转换信号进行二进制化而生成二进制信号，所述缺陷判定部根据所述二进制信号检测缺陷候选，所述缺陷判定部将大于预先设定的值的缺陷候选判定为缺陷。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：柏木研二，大野清一，武田亮，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：