表面处理方法技术

技术编号:9592745 阅读:120 留言:0更新日期:2014-01-22 23:21
本发明专利技术涉及不使用危险性高的硝酸等除去构成真空容器等真空处理装置的部件的表面附着的药液和金属等的附着物的方法。该方法是以构成真空处理装置的金属制部件作为被处理物的表面处理方法,其特征为,对上述被处理物的表面进行电解抛光、部分电解抛光、化学抛光、酸洗或电解酸洗后,利用在大于等于0.5重量%、小于3重量%的稀碱液中,添加羧酸或羧酸盐以使浓度达到大于等于0.5重量%、小于10重量%而得到的碱系螯合物溶液对上述被处理物的表面进行洗涤。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
表面处理方法,其是以构成真空处理装置的由不锈钢构成的金属制部件作为被处理物的表面处理方法,其中,通过将被处理物连接到电源的阳极一侧的同时,在阴极一侧连接使被处理物的表面接触电解液的处理介质,在电极间通过电解液流过直流电流,对上述被处理物的表面通过处理介质进行电解抛光后,利用使碱系螯合物溶液浸透处理介质,对上述被处理物的表面进行洗涤,所述碱系螯合物溶液是在大于等于0.5重量%、小于3重量%的稀碱液中添加羧酸或羧酸盐以使浓度达到大于等于0.5重量%、小于10重量%而得到的。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:稻吉荣野村健石泽克修齐藤真一山口真奈美
申请(专利权)人:株式会社爱发科
类型:发明
国别省市:

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