成膜装置及成膜装置用传送托盘制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种成膜装置及成膜装置用传送托盘，其能够实现驱动机构的简单化，并且降低粒子附着于基板的风险，抑制成膜基板的品质下降。所述成膜装置（100）具有传送装置（10），且该传送装置具备对基板（101）进行传送的多个传送辊（11），由此设为简单的结构。而且，将传送辊（11）配置于基板（101）的下端侧。由此，即便伴随传送辊（11）的旋转而产生粒子，也降低粒子附着于比传送辊（11）更靠上方而配置的基板（101）的可能性。而且，构成为具备与形成于传送托盘（20）的上端部的槽部（30）的壁面抵接而旋转的从动辊（12、13）。能够从上方限制传送托盘（20）的位置，能够稳定且顺畅地传送传送托盘（20）及基板（101）。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种成膜装置及成膜装置用传送托盘，其能够实现驱动机构的简单化，并且降低粒子附着于基板的风险，抑制成膜基板的品质下降。所述成膜装置（100）具有传送装置（10），且该传送装置具备对基板（101）进行传送的多个传送辊（11），由此设为简单的结构。而且，将传送辊（11）配置于基板（101）的下端侧。由此，即便伴随传送辊（11）的旋转而产生粒子，也降低粒子附着于比传送辊（11）更靠上方而配置的基板（101）的可能性。而且，构成为具备与形成于传送托盘（20）的上端部的槽部（30）的壁面抵接而旋转的从动辊（12、13）。能够从上方限制传送托盘（20）的位置，能够稳定且顺畅地传送传送托盘（20）及基板（101）。【专利说明】成膜装置及成膜装置用传送托盘
本申请主张基于2012年7月5日申请的日本专利申请第2012-151666号的优先权。其申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。本专利技术涉及一种成膜装置及成膜装置用传送托盘。
技术介绍
例如对基板等对象物进行成膜的成膜装置中，基板搭载(保持)于托盘上而被传送。基板在多个真空腔室间移动，并被实施成膜等处理。近几年，伴随太阳能电池及液晶显示面板等的大型化，基板也被大型化。在能够应对被大型化的基板的成膜装置中，已知有以纵姿势传送基板及托盘的装置(例如参考专利文献I)。专利文献I所记载的装置中，驱动齿轮设置于真空腔室的上部侧，与该驱动齿轮啮合的齿条形成于托盘的上端侧。通过使真空腔室侧的驱动齿轮旋转来使托盘在水平方向上移动。基板与托盘一同在真空腔室内移动。专利文献1:日本特开平1-268870号公报然而，上述专利文献I所记载的技术中，采用齿条小齿轮方式的驱动机构的结构复杂，因此要求简单化。而且，上述以往技术中，齿条小齿轮方式的驱动机构比基板更靠上方而配置，因此在驱动机构产生的粒子落下时附着于基板，存在使成膜的品质下降的可能性。
技术实现思路
本专利技术是为了解决`这种课题而完成的，其目的在于提供一种能够实现驱动机构的简单化，并且降低粒子附着于基板的风险，抑制成膜基板的品质下降的成膜装置及成膜装置用传送托盘。本专利技术提供一种成膜装置，其对基板进行成膜处理，其中，所述成膜装置具备:真空容器，其能够容纳基板；及传送机构，其在真空容器内将保持所述基板的传送托盘在与所述基板的板厚方向交叉的传送方向上进行传送，且所述传送托盘以使基板的板厚方向成为水平方向或成为从水平方向倾斜的方向的方式，以使基板直立的状态、或以从直立的状态倾斜的状态来保持基板，传送机构具有:多个传送辊，其配置于基板的下端侧，绕沿着板厚方向延伸的第I轴线旋转，并对传送托盘进行传送；及多个从动辊，其配置于基板的上端侧，绕沿着与板厚方向及传送方向交叉的方向延伸的第2轴线旋转，传送托盘的上端面形成有沿着传送方向连续的槽部，从动辊与槽部内的壁面抵接且伴随传送托盘的移动而旋转。依据这种成膜装置，其为具有具备对基板进行传送的多个传送辊的传送装置的结构，因此能够设为简单的结构的装置。例如与以往的齿条小齿轮方式的传送机构进行比较，能够设为简单的结构。而且，成膜装置中，传送辊配置于基板的下端侧，因此即使伴随传送辊的旋转而产生粒子，粒子附着于比传送辊更靠上方而配置的基板的可能性也较低。由此，能够降低粒子附着于基板的风险，抑制成膜基板的品质下降。而且，构成为从动辊与形成于传送托盘的上端部的槽部内的壁面抵接而旋转，因此能够从上方限制传送托盘的位置，能够稳定且顺畅地传送传送托盘及基板。也可为传送托盘的下端面设置有向传送方向延伸且能够与传送辊的周面抵接的轨道部的结构。若传送托盘的下端面设置有轨道部，则能够使传送托盘的行驶稳定化。 在此，优选多个从动辊具备--第I从动辊，其与槽部内的I对壁面的一侧抵接；及第2从动辊，其与槽部内的I对壁面的另一侧抵接，第I从动辊及第2从动辊在传送方向上交替配置。该结构的成膜装置中，第I从动辊仅与传送托盘的槽部内的I对壁面的一侧抵接，第2从动辊仅与传送托盘的槽部内的I对壁面的另一侧抵接。由此，第I从动辊及第2从动辊始终分别向不同方向旋转，因此能够防止从动辊的旋转方向向反方向转换。因此，能够减小传送托盘20被传送时的摩擦阻力，所以能够实现传送托盘的顺畅的传送。而且，优选在板厚方向上，第I从动辊的周面最靠I对壁面的一侧的位置与第2从动辊的周面最靠I对壁面的另一侧的位置的距离比槽部的I对壁面间的距离小。依据该结构的成膜装置，容许传送托盘相对于从动辊的位置偏离，能够稳定且顺畅地传送传送托盘及基板，进而，减轻从动辊与槽部壁面的摩擦阻力，较易提高传送速度。而且，优选传送辊具有I对凸缘部，所述I对凸缘部配置成向该传送辊的径向外侧突出，并且在第I轴线方向上对置且夹持传送托盘的两侧。依据该结构的成膜装置，配置成从板厚方向的两侧夹持传送托盘的下端部的I对凸缘部形成于传送辊，因此能够使传送托盘相对于传送辊的位置稳定。由此，能够使传送托盘及基板的姿势稳定并顺畅地传送。成膜装置可为具备闸阀部，所述闸阀部具备能够密封真空容器的传送托盘所通过的开口部的阀体，并且闸阀部上设置有从动辊的结构。该结构的成膜装置中，闸阀部内配置有从动辊，因此能够使传送托盘及基板的姿势稳定并顺畅地传送。本专利技术提供一种成膜装置用传送托盘，其以按基板的板厚方向成为水平方向或成为从水平方向倾斜的方向的方式将基板以直立的状态、或以从直立的状态倾斜的状态在与板厚方向交叉的方向上传送时，能够保持基板，所述成膜装置用传送托盘具备:上端部保持部，其保持基板的上端部；下端部保持部，其保持基板的下端部；及连结部，其连结上端部保持部及下端部保持部，上端部保持部的上端面形成有在传送方向上连续的槽部。这种成膜装置用传送托盘能够适用于上述成膜装置。该成膜装置用传送托盘在上端部保持部的上端面形成有在传送方向上连续的槽部，因此能够将上述成膜装置的从动辊配置于槽部。伴随传送托盘的传送，槽部壁面与从动辊抵接，从动辊旋转。从动辊在基板传送时能够适宜地引导传送托盘的传送方向。优选槽部在传送方向上的端部形成有以该槽部的宽度朝向端部而扩展的方式形成的倾斜部。该结构的成膜装置用传送托盘中，从动辊进入槽部时的入口侧端部的宽度较宽，越进入传送方向的内侧越变窄，因此能够减轻位置偏离的影响而顺畅地传送。即便产生传送托盘相对于从动辊的位置偏离，也能够防止从动辊的碰撞并进行传送。可为下端部保持部的下端面设置有向传送方向延伸的轨道部的结构。若传送托盘的下端面设置有轨道部，则能够使传送托盘的行驶稳定化。专利技术效果本专利技术能够提供一种成膜装置，其能够实现驱动机构的简单化，并且降低粒子附着于基板的风险，抑制成膜基板的品质下降。而且，本专利技术能够提供一种成膜装置用传送托盘，其能够适用于上述成膜装置，能够实现成膜装置的驱动机构的简单化，并且降低粒子附着于基板的风险，抑制成膜基板的品质下降。【专利附图】【附图说明】图1是表示本专利技术的实施方式所涉及的成膜装置的概要侧视图。图2是从侧方表示腔室内的截面图。图3是从传送方向的前方表不成膜腔室内的截面图。图4是表示传送托盘的上端部的截面图。图5是表示传送托盘的下端部的截面图。图6是表示传送托盘的上端部的俯视图。图7是表示形成于传送托盘的上端部的倾斜部的俯视图。图中:10_传送装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种成膜装置，其对基板进行成膜处理，其中，所述成膜装置具备：真空容器，其能够容纳所述基板；及传送机构，其在所述真空容器内将保持所述基板的传送托盘在与所述基板的板厚方向交叉的传送方向上进行传送，且所述传送托盘以使所述基板的板厚方向成为水平方向或成为从水平方向倾斜的方向的方式，以使所述基板直立的状态、或以使所述基板从直立的状态倾斜的状态来保持所述基板，所述传送机构具有：多个传送辊，其配置于所述基板的下端侧，绕沿着所述板厚方向延伸的第1轴线旋转，并对所述传送托盘进行传送；及多个从动辊，其配置于所述基板的上端侧，绕沿着与所述板厚方向及所述传送方向交叉的方向延伸的第2轴线旋转，所述传送托盘的上端面形成有沿着所述传送方向连续的槽部，所述从动辊与所述槽部内的壁面抵接且伴随所述传送托盘的移动而旋转。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：饭尾逸史，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：