焊球印刷搭载装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种焊球印刷搭载装置。本发明专利技术中，做成下述结构，即、使用具备多个真空吸附垫的第一运入机构、第一运出机构、第二运入机构、第二运出机构，将基板搭载在具备平的面的第一运送承载器上，向焊剂印刷机的印刷工作台上、从焊剂印刷机向第二运送承载器上、从第二运送承载器上向焊球印刷机的印刷工作台上、从焊球印刷机向第三运送承载器上移载，同时对在印刷工作台上的基板的四角以及掩模的四角设置的对位标记同时用不同的照相机单元摄像运送方向的前侧和后侧，求出位置偏移量。

【技术实现步骤摘要】
焊球印刷搭载装置
本专利技术涉及用于向半导体基板的电极上印刷焊球的印刷机，尤其涉及使印刷焊剂的焊剂印刷机和印刷焊球的焊球印刷机联动的焊球印刷搭载装置。
技术介绍
在以往的焊球印刷搭载装置中，使用将焊剂印刷机、搭载焊球的植球机等配置成横向一列，由皮带传送器进行各装置间的基板的交接的方法。在同样的电子零件制造装置中，也如专利文献I记载的那样，公开了配置能够直线状地移动的皮带传送器，将被搭载在皮带传送器上的基板向各装置交接，由各自的装置进行处理的电子零件制造装置。即、公开了由一贯的生产线连续地进行从半导体芯片向基板上的搭载到半导体芯片的封止等为止的电子零件制造装置。在先技术文献专利文献专利文献1:日本特开平11-121473号公报在专利文献I记载的电子零件制造装置中，是通过皮带传送器使回路基板的运送移动的结构，是回路基板从传送器上向各装置的交接使用设置在装置上的升降机进行的方式。在该方式中，在回路基板在皮带传送器上移动的期间，在皮带传送器的动作起动时、停止时，力作用于基板，产生基板的位置偏移。为了防止基板的位置偏移，在处理在各装置中开始前，必须进行基板的对位的动作。再有，专利文献I记载的电子零件制造装置是将I个皮带传送器架设在各装置整体，来运送回路基板的结构。若有节拍时间(夕々卜夕4 A )长的装置，则与该装置相匹配地驱动皮带传送器，难以缩短节拍时间。另外，若基板的厚度薄到0.5mm?0.1mm,贝U在基板上产生大的挠曲，不能进行由皮带传送器进行的运送。另外，若在基板中央设置防止挠曲的皮带，则由于皮带在工作台中央穿过，而存在不能进行精度好的印刷等问题。因此，本专利技术的目的是解决上述课题，提供一种谋求装置的小型化，且能够通过简单的动作运送产生了挠曲的薄的基板，且能够精度好地印刷必要的量的焊球的焊球印刷搭载装置。
技术实现思路
为了实现上述目的，本专利技术中的特征在于，做成下述结构，S卩、包括:具备搭载基板，并向焊剂印刷机运送的第一运送承载器的第一运送部、被设置在第一运送部的焊剂印刷机侧的上部，且可在基板运送方向移动地被设置在第一运送承载器上方的第一运入机构、用于将由焊剂印刷机印刷了焊剂的基板向第二运送承载器移载的第一运出机构、从第二运送承载器向焊球印刷机移载的第二运入机构、将充填了焊球的基板向第三运送承载器移载的第二运出机构，由设置在第一运入机构上的照相机单元和设置在第一运出机构上的照相机单元，对在载置于焊剂印刷机的印刷工作台上的基板的四角设置的对位标记和设置于掩模的四角的对位标记同时进行摄像，且由设置在第二运入机构和第二运出机构上的照相机单元，对在载置于焊球印刷机的印刷工作台上的基板和掩模上设置的对位标记进行摄像，由控制部求出位置偏移量，水平移动印刷工作台，对位置偏移进行校正。专利技术效果通过做成上述结构，能够消除运送基板时的基板的变形，基板向印刷工作台上的交接也顺畅，能够缩短印刷花费的时间，且能够进行精度好的焊球印刷。【附图说明】图1是焊球印刷搭载装置的概略结构图。图2是焊剂印刷机和周边设备的正视图。图3A是第一运送部的仰视图。图3B是第一运送部的剖视图。图4A是第一运送承载器的剖视图。图4B是第一运送承载器的剖视图，是移载基板时的防基板落下板臂动作了的状态。图5是用于说明焊球印刷装置的动作的图。【具体实施方式】下面，使用附图，说明本专利技术。图1是表示本专利技术的焊球印刷搭载装置的整体配置图。图2是表示焊剂印刷部的概略结构。如图1所示，本专利技术的焊球印刷搭载装置直线状地配置焊剂印刷机4和焊球印刷机5，且由将印刷的基板向焊剂印刷机4运送的第一运送部1、将由焊剂印刷机4印刷了焊剂的基板向焊球印刷机5运送的第二运送部2、将由焊球印刷机印刷了的基板向未图示出的检查修理装置或者回流炉运送的第三运送部3构成。为了进行基板从第一运送部I向焊剂印刷机4的交接，设置成具备多个吸附垫的第一运入机构41能够在第一运送部I的上方部和焊剂印刷机4往来。另外，与第一运入机构41相邻地设置第一版下清扫机80。另外，设置用于在从焊剂印刷机4接收了基板后，将基板向第二运送部2交接的第一运出机构42和从第二运送部2向焊球印刷机5交接基板的第二运入机构51。再有，设置从焊球印刷机5接收基板，并向第三运送部3交接基板的第二运出机构52。另外，与第二运入机构51相邻地设置第二版下清扫机90。再有，在第一运入机构、第二运入机构以及第一运出机构、第二运出机构的印刷机侧分别设置用于检测对位标记的照相机单元41a、42a、51a、52a，构成为与第一、二运入机构、第一、二运出机构一起移动。在作为印刷对象的基板的四角设置对位标记，由运入机构以及运出机构的照相机单元41a、42a、51a、52a在检测基板运送方向的前后的标记的同时，检测该标记，进行对位。图2是表示以焊剂印刷机为中心的基板运送的状态。被运入第一运送部I的基板7在空白箭头40方向移动，由第一运入机构41向焊齐_刷机4的印刷工作台46上移载。印刷工作台46上的基板7由照相机单元41a和照相机单元42a对在基板7和掩模44上设置的对位标记进行摄像，在对位后印刷焊剂。若印刷结束，则由第一运出机构42向第二运送部2交接。第一运送部I被构成为第一运送承载器12在第一运送架台11上能够通过由线性轨道15和无杆空压缸13构成的驱动部在水平方向移动。设置用于将被载置在该第一运送承载器12上运送来的基板7向印刷工作台46上交接的第一运入机构41。该第一运入机构41将具有负压的供给孔的多个吸附垫73设置在吸附垫支撑板72上。在第一运送承载器12的基板载置面设置多个吸附孔，通过向吸附孔供给负压，保持基板7，在运送基板7时，防止基板7偏移。另外，第一运入机构41在吸附垫支撑板72的上部作为能够使吸附垫支撑板72上下移动的驱动装置连接设置有由缸构成的吸附垫上下驱动机构74。另外，在该第一运入机构41安装用于对预先设置在基板上的对位标记的位置进行检测的照相机单元41a，被设置成能够一体地在水平方向移动。另外，与第一运入机构41相邻地设置对焊剂印刷机4的掩模下面进行清扫的第一版下清扫机80。第一版下清扫机80是将清扫用布从放出鼓83放出并经由清扫部81卷取在卷取鼓82上的结构。该第一版下清扫机80和照相机单元41a由未图示出的缸连结。第一版下清扫机80 —面使清扫部81与掩模44下面接触，一面使其在基板运送方向移动，进行清扫。印刷工作台46被构成为能够搭载基板7并在上下移动和在水平方向(XY Θ方向)移动。另外，在印刷工作台46之上设置掩模44，被搭载在印刷工作台46上的基板7由照相机单元41a以及照相机单元42a检测设置在基板的四角的对位标记，在进行了对位后，印刷工作台46上的基板7能够上升到与掩模面接触的位置。即、由照相机单元42a对基板运送方向侧(前侧)2点进行摄像，由照相机单元41a对后侧2点进行摄像。另外，为了能够在将基板7向印刷工作台46载置前，在运送部I在X、Y方向进行粗定位而设置定位挡块，在向印刷工作台移载时，不会产生大的位置偏移。另外，也可以是第一运入机构41的X方向基板定位机构16以及Y方向基板定位机构17的前端部可以使用磁铁等，使挡块的安装、拆卸简单，以便在基板尺寸被变更了的情况下，能够使位置可变。在掩本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种焊球印刷搭载装置，其特征在于，做成下述结构，即、包括：具备搭载基板，并向焊剂印刷机运送的第一运送承载器的第一运送部、被设置在前述第一运送部的焊剂印刷机侧的上部，且可在基板运送方向移动地被设置在前述第一运送承载器上方，从前述第一运送承载器向前述焊剂印刷机移载的第一运入机构、用于将由前述焊剂印刷机印刷了焊剂的基板向第二运送承载器移载的第一运出机构、从前述第二运送承载器向焊球印刷机移载的第二运入机构、将充填了焊球的基板向第三运送承载器移载的第二运出机构，由设置在前述第一运入机构上的照相机单元和设置在前述第一运出机构上的照相机单元，对在载置于前述焊剂印刷机的印刷工作台上的基板的四角设置的对位标记和在被配置于前述焊剂印刷机上方以及焊球印刷机上方的掩模的四角设置的对位标记同时进行摄像，且由设置在前述第二运入机构和前述第二运出机构上的照相机单元，对在载置于焊球印刷机的印刷工作台上的基板和掩模上设置的前述对位标记进行摄像，由控制部求出位置偏移量，水平移动印刷工作台，对位置偏移进行校正。

【技术特征摘要】
2012.06.28 JP 2012-1452661.一种焊球印刷搭载装置，其特征在于，做成下述结构，即、包括:具备搭载基板，并向焊剂印刷机运送的第一运送承载器的第一运送部、被设置在前述第一运送部的焊剂印刷机侧的上部，且可在基板运送方向移动地被设置在前述第一运送承载器上方，从前述第一运送承载器向前述焊剂印刷机移载的第一运入机构、用于将由前述焊剂印刷机印刷了焊剂的基板向第二运送承载器移载的第一运出机构、从前述第二运送承载器向焊球印刷机移载的第二运入机构、将充填了焊球的基板向第三运送承载器移载的第二运出机构，由设置在前述第一运入机构上的照相机单元和设置在前述第一运出机构上的照相机单元，对在载置于前述焊剂印刷机的印刷工作台上的基板的四角设置的对位标记和在被配置于前述焊剂印刷机上方以及焊球印刷机上方的掩模的四角设置的对位标记同时进行摄像，且由设置在前述第二运入机构和前...

【专利技术属性】
技术研发人员：五十岚章雄，水鸟量介，三本胜，桥本尚明，
申请(专利权)人：株式会社日立制作所，
类型：发明
国别省市：