【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及一种PECVD设备的
，尤其是一种石墨舟。其包括舟体、石墨片、插孔、硅片放置区和陶瓷棒，舟体上设有石墨片，石墨片上设有插孔和硅片放置区，插孔内设有陶瓷棒，硅片放置区为镂空型。这种石墨舟结构简单、紧凑并且合理，装配方便快捷，连接可靠，提高了使用的安全性，镀膜沉积快，提高了生产效率，同时提高了镀膜的质量，大大提高了石墨舟工作的可靠性，易于使用推广。【专利说明】石墨舟
本专利技术涉及一种PECVD设备的
，尤其是一种石墨舟。
技术介绍
现有的石墨舟使用的安全性比较低，减慢了镀膜沉积的速度，降低了生产效率，同时降低了镀膜的质量，大大降低了石墨舟工作的可靠性，易于使用推广。
技术实现思路
为了克服现有的石墨舟使用安全性低、镀膜沉积慢、生产效率低以及镀膜质量低的不足，本专利技术提供了一种石墨舟。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种石墨舟，包括舟体、石墨片、插孔、硅片放置区和陶瓷棒，舟体上设有石墨片，石墨片上设有插孔和硅片放置区，插孔内设有陶瓷棒。根据本专利技术的另一个实施例，进一步包括硅片放置区为镂空型。本专利技术的有益效果是，这种石墨舟结构简单、紧凑并且合理，装配方便快捷，连接可靠，提高了使用的安全性，镀膜沉积快，提高了生产效率，同时提高了镀膜的质量，大大提高了石墨舟工作的可靠性，易于使用推广。【专利附图】【附图说明】下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术的结构示意图。图中1.舟体，2.石墨片，3.插孔，4.硅片放置区，5.陶瓷棒。【具体实施方式】如图1是本专利技术的结构示意图，...
【技术保护点】
一种石墨舟，包括舟体（1）、石墨片（2）、插孔（3）、硅片放置区（4）和陶瓷棒（5），其特征是，舟体（1）上设有石墨片（2），石墨片（2）上设有插孔（3）和硅片放置区（4），插孔（3）内设有陶瓷棒（5）。
【技术特征摘要】
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