本发明专利技术公开了一种基片上料机械手，包括：支架；手臂，所述手臂可上下旋转地连接在所述支架上；基片吸附件，所述基片吸附件设在所述手臂的一端上用于吸附基片；和旋转检测装置，所述旋转检测装置用于检测所述手臂的旋转运动。根据本发明专利技术实施例的基片上料机械手，通过将手臂可旋转地连接在支架上，使得当基片上料机械手运动受制时可实现与上料台的互锁设计，及时避免了手臂或基片吸附件的损坏，降低了维修和替换成本，并且不耽误工作进程，提高了工作效率。本发明专利技术还公开了一种基片上料系统和具有其的PECVD设备。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种基片上料机械手，包括：支架；手臂，所述手臂可上下旋转地连接在所述支架上；基片吸附件，所述基片吸附件设在所述手臂的一端上用于吸附基片；和旋转检测装置，所述旋转检测装置用于检测所述手臂的旋转运动。根据本专利技术实施例的基片上料机械手，通过将手臂可旋转地连接在支架上，使得当基片上料机械手运动受制时可实现与上料台的互锁设计，及时避免了手臂或基片吸附件的损坏，降低了维修和替换成本，并且不耽误工作进程，提高了工作效率。本专利技术还公开了一种基片上料系统和具有其的PECVD设备。【专利说明】基片上料机械手、基片上料系统和PECVD设备
本专利技术涉及半导体器件
，特别地涉及一种基片上料机械手、具有所述基片上料机械手的基片上料系统和PECVD设备。
技术介绍
传统的太阳能平板式PECVD (等离子体增强化学气相沉积)设备工作过程中，取片机械手从上料台的料盒中不断取出电池片。当取片机械手伸入到料盒中时，如果装载系统出现故障而停止工作，此时操作人员在不熟悉整个设备的情况下极有可能直接对上料台进行升降，从而导致取片机械手被料盒压迫，进而导致取片机械手前端的吸附件损坏，甚至会使得取片机械手的手臂弯曲并导致支架变形。因此造成了对取片机械手的损坏，增加了维修和替换成本，而且耽误了工作进度。此外，在现有的PECVD设备中，通常控制上料台的控制装置设置成在上料台发生故障时对该上料台进行锁定，即现有的PECVD只能实现对上料台的单锁设计。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术 的一个目的在于提出一种基片上料机械手，所述基片上料机械手避免了损坏，降低了维修和替换成本且不耽误工作进度。本专利技术的另一个目的在于提出一种具有上述基片上料机械手的基片上料系统。本专利技术的再一个目的在于提出一种具有上述基片上料系统的PECVD设备。根据本专利技术第一方面实施例的基片上料机械手，包括:包括:支架；手臂，所述手臂可上下旋转地连接在所述支架上；基片吸附件，所述基片吸附件设在所述手臂的一端上用于吸附基片；和旋转检测装置，所述旋转检测装置用于检测所述手臂的旋转运动。根据本专利技术实施例的基片上料机械手，通过将手臂可旋转地连接在支架上，使得当基片上料机械手运动受制时可实现与上料台的互锁设计，及时避免了对手臂或基片吸附件的损坏，降低了维修和替换成本，并且不耽误工作进度，提高了工作效率。另外，根据本专利技术的基片上料机械手还具有如下附加技术特征:可选地，所述旋转检测装置包括:用于测量所述手臂旋转角度的传感器。可选地，所述手臂通过枢转轴连接在所述支架上。可选地，所述传感器设在所述枢转轴处。可选地，所述基片吸附件为吸盘。可选地，所述旋转检测装置包括:弹性件，所述弹性件固定连接至所述手臂的另一端。根据本专利技术第二方面实施例的基片上料系统，包括:料盒，所述料盒内具有用于放置基片的腔室；可升降的上料台；传送带，所述传送带将所述料盒传送到所述上料台上；根据本专利技术第一方面实施例所述的基片上料机械手，其中所述基片上料机械手伸入所述腔室中进行取片；和第一控制单元，所述第一控制单元用于控制所述基片上料机械手的运动；以及第二控制单元，所述第二控制单元用于控制所述上料台的升降。所述基片上料系统还包括升降驱动装置，所述升降驱动装置设在所述上料台底部且与所述第二控制单元电连接以驱动所述上料台的升降。可选地，所述第二控制单元在所述旋转检测装置检测到所述手臂旋转时停止所述上料台的升降。可选地，所述升降驱动装置为丝杠。由此，通过采用丝杠，从而整个结构简单、易于安装且成本低。所述基片上料系统还包括托盘和上下夹持气缸，所述上下夹持气缸设在所述上料台上用于定位所述料盒。根据本专利技术实施例的基片上料系统，结构合理且性能安全，从而极大地提高了工作效率。根据本专利技术第三方面实施例的一种PECVD设备，包括根据本专利技术第二方面实施例所述的基片上料系统。本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。【专利附图】【附图说明】 本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:图1 (a)是根据本专利技术第一方面实施例的基片上料机械手的示意图；图1 (b)是根据本专利技术第一方面实施例的另一基片上料机械手的示意图；图2是根据本专利技术第二方面实施例的基片上料系统的示意图；图3是图2中所示的基片上料系统的基片上料机械手运动受制时上料台上升状态的不意图；图4是图2中所示的基片上料系统的基片上料机械手运动受制时上料台下降状态的不意图；和图5是基片上料机械手位于准备位置时的示意图。【具体实施方式】下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。下面首先参考图2描述根据本专利技术第二方面实施例的基片上料系统，所述基片上料系统用于装载基片(图未示出)例如电池片。根据本专利技术实施例的基片上料系统，包括:料盒2、可升降的上料台3、传送带4、基片上料机械手1、第一和第二控制单元(图未示出)。如图2所示，料盒2内具有用于放置基片的腔室20，具体地，腔室20的一侧敞开。传送带4将料盒2传送到上料台3上。基片上料机械手I可从腔室20敞开的一侧伸入到腔室20中进行取出基片然后将基片装载到预定位置例如载板(图未示出)上，其中基片上料机械手I的具体结构在如下内容中进行详细描述。第一和第二控制单元分别用于控制基片上料机械手I的运动和上料台2的升降，其中基片上料机械手I的运动可包括例如直线运动和旋转运动。下面参考图1 (a)描述如上所述的基片上料机械手1，该基片上料机械手I用于将基片例如电池片从料盒2中取出并装载到预定位置。根据本专利技术实施例的基片上料机械手1，包括:支架11、手臂12、基片吸附件13和旋转检测装置(未示出)。该旋转检测`装置用于检测该手臂12的旋转运动。图1 (a)显示了根据本专利技术的一个实施例的基片上料机械手I的示意图。如图1 (本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基片上料机械手，其特征在于，包括：支架；手臂，所述手臂可上下旋转地连接在所述支架上；基片吸附件，所述基片吸附件设在所述手臂的一端上用于吸附基片；和旋转检测装置，所述旋转检测装置用于检测所述手臂的旋转运动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张文，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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