喷嘴板制造制造技术

提供了一种提高喷嘴板制造过程的成品率的方法，该方法包括：确定喷嘴板中的喷嘴的尺寸相对于喷嘴的预定尺寸或尺寸范围的变化，已经使用多个心轴来制造喷嘴板中的喷嘴，每个心轴限定喷嘴板中的相应喷嘴；以及确定对多个心轴中的一个或多个心轴的尺寸的修改，以补偿已确定的在喷嘴板中的喷嘴的尺寸的变化。还提供了一种制造喷嘴板的方法，该方法包括：使用在基板上的多个心轴来制造具有多个喷嘴的喷嘴板，每个心轴限定喷嘴板中的相应喷嘴，多个心轴中的心轴具有不同的尺寸以补偿制造过程中的局部变化，而该局部变化将导致喷嘴板中的喷嘴的尺寸相对于预定的尺寸或尺寸范围的局部变化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】喷嘴板制造专利
本专利技术涉及将存储在其中的液体雾化成细小微滴的雾化器的喷嘴板，特别是涉及改进喷嘴板制造过程的成品率的方法、实施该方法的设备、制造喷嘴板的方法以及根据该方法制造的喷嘴板。
技术介绍
雾化器(它们有时也被称为喷雾器)是从液体产生细小喷雾或气溶胶的装置。喷雾器特别有用的应用是提供含有溶解的或悬浮的微粒药物的细小喷雾以通过吸入来向患者给药。压网基雾化器常用于在这样的药物输送装置中产生气溶胶，由此压电元件使液体或网或喷嘴板振动产生细小的气溶胶喷雾。在后者的情况下，分配在喷嘴板上的微滴通过压电元件振动以生成喷雾。图1显示了一个示例性的雾化器2。雾化器2包括具有入口 6和出口 8的主体4，所述入口 6和出口 8配置成使得当雾化器2的使用者通过出口 8吸气时，空气被经由入口6和出口 8抽入并穿过雾化器2并进入使用者的身体。出口 8典型地设置成吹嘴或者面罩或鼻罩的形式，或者设置成适于连接到单独的可更换吹嘴或者面罩或鼻罩的形式。雾化器2包括在入口 6和出口 8之间的储液腔10，用于存储将要被雾化(即变成细雾或喷雾)的液体12 (例如药物或药品)。雾化器2被配置成使得，当使用者吸气以向使用者输送一定剂量的药物或药品时，雾化液体12的细小微滴与通过雾化器2抽入的空气相结八口 ο设置用于搅拌或振动存储在储液腔10中的液体12的诸如压电元件的致动器14以及用于在液体12振动时雾化液体12的喷嘴板16。喷嘴板16通常是具有多个小孔的网或膜的形式或者少量的液体可通过其中的喷嘴的形式。为了使特定药物在吸入时治疗有效，药物的气溶胶微滴的尺寸必须在很窄的治疗范围内。这种窄的范围要求在喷嘴板16的表面上产生的微滴尺寸基本均匀。微滴的尺寸由在喷嘴板16中的喷嘴的尺寸决定。在理想的情况下，在喷嘴板16中的每个喷嘴应具有相同的尺寸。因此，喷嘴的尺寸具有非常细小的公差。通常情况下，对于喷嘴来说理想的是具有2.5 μ m的直径，其中公差为+/-0.25 μ m。在典型的喷嘴板16中可以有大约5000个喷嘴。图2是示出根据传统的制造过程来制造喷嘴板16的图。通过使材料18 (如金属)围绕多个心轴22 (在图2中仅示出了其中的一个)沉积在基板20上或在基板20上生长来制造喷嘴板16。金属18被沉积在基板20上，直到它“溢过”每一心轴22’的顶部(“溢过”的部分被标记为18’和18’ ’ )并形成大致在心轴22的中间的喷嘴24。将心轴22和基板20移除，从而留下喷嘴板16。可以看出，通过制造过程获得的喷嘴24的尺寸(直径d)取决于在心轴22的顶部上方的金属18的厚度t，因此，金属层18的生长相对于希望的量的小的变化可能会导致喷嘴24的尺寸大的变化。此外，金属层18在基板20上在喷嘴板16上以及还在多个喷嘴板16上的生长可能存在局部变化。例如，如果金属层18在心轴22上的典型过度生长厚度t为30 μ m并且喷嘴24的目标直径为2.5 μ m，则局部厚度的2%的误差将导致喷嘴直径变化30 μ m的2%的两倍，即1.2μπι。这等同于喷嘴24的尺寸的相对误差为(1.2/2.5) =48%，这是不能接受的。事实上，在实践中很难实现局部厚度t仅仅2%的变化。为了减轻这些困难，传统技术对加工条件施加精确的控制，并且试图对形成在基板上的所有喷嘴平衡这些条件。然而，即使使用这种精确的控制，喷嘴板制造过程的产品成品率只有10%左右。因此，需要一种用于提高喷嘴板制造过程的成品率的方法和实施该方法的设备。
技术实现思路
根据本专利技术的第一方面，提供一种提高喷嘴板制造过程的成品率的方法，该方法包括:确定喷嘴板中的喷嘴的尺寸相对于喷嘴的预定的尺寸或尺寸范围的变化，已经使用多个心轴来制造喷嘴板中的喷嘴，每个心轴限定喷嘴板中的相应喷嘴；以及确定对多个心轴中的一个或多个心轴的尺寸的修改，以补偿已确定的在喷嘴板中的喷嘴的尺寸的变化。在一个实施例中，确定修改的步骤包括:增大限定具有小于预定的尺寸或尺寸范围的尺寸的喷嘴的心轴的尺寸，以及减小限定具有大于预定的尺寸或尺寸范围的尺寸的喷嘴的心轴的尺寸。在一个实施例中，确定修改的步骤包括:将增大或减小心轴的尺寸的量确定为与喷嘴板中的相应喷嘴不同于喷嘴的预定的尺寸或尺寸范围的量相对应的量。在一个实施例中，在喷嘴板制造过程中，使用掩模在基板上形成心轴，并且确定修改的步骤包括:确定对用于形成心轴的掩模的修改。在该实施例中，确定修改的步骤可以包括确定对掩模的与有关心轴相对应的区域的修改。在一些实施例中，确定喷嘴板中的喷嘴的尺寸的变化的步骤包括:用光照射喷嘴板；检测穿过喷嘴板中的一个或多个喷嘴传输的光；以及分析检测到的光以确定一个或多个喷嘴的尺寸。在这些实施例中，检测步骤可以包括检测穿过喷嘴板中的多个喷嘴传输的光，所述多个喷嘴分布在喷嘴板上；并且其中所述分析检测到的光的步骤包括:分析针对多个喷嘴中的每一个检测的光，以确定在喷嘴板上的多个喷嘴的尺寸的变化。优选地，所述方法进一步包括使用在基板上的多个心轴来制造具有多个喷嘴的喷嘴板的步骤，所述多个心轴中的心轴具有在确定修改的步骤中确定的尺寸。根据本专利技术的第二方面，提供一种制造喷嘴板的方法，该方法包括:使用在基板上的多个心轴来制造具有多个喷嘴的喷嘴板，每个心轴限定喷嘴板中的相应喷嘴，多个心轴中的心轴具有不同的尺寸以补偿制造过程中的局部变化，而该局部变化将导致喷嘴板中的喷嘴的尺寸相对于预定的尺寸或尺寸范围的局部变化。在一个实施例中，心轴具有较大的尺寸，以补偿制造过程中将导致由此限定的喷嘴的尺寸小于预定的尺寸或尺寸范围的局部变化，并且心轴具有较小的尺寸，以补偿制造过程中将导致由此限定的喷嘴的尺寸大于预定的尺寸或尺寸范围的局部变化。在一个实施例中，根据由此限定的喷嘴板中的相应喷嘴将不同于喷嘴的预定的尺寸或尺寸范围的量来确定心轴的尺寸。优选地，制造喷嘴板的步骤包括围绕心轴在基板上沉积材料，并且其中制造过程中的局部变化包括心轴周围的材料的厚度的局部变化。根据本专利技术的第三方面，提供一种根据上述的任何方法制造的喷嘴板。根据本专利技术的第四方面，提供一种用于提高喷嘴板制造过程的成品率的设备，所述设备包括用于确定所制造的喷嘴板中的喷嘴的尺寸相对于预定的尺寸或尺寸范围的变化的装置，已经使用多个心轴来制造喷嘴板中的喷嘴，每个心轴限定喷嘴板中的相应喷嘴；以及用于确定对多个心轴中的一个或多个心轴的尺寸的修改以补偿已确定的在喷嘴板中的喷嘴的尺寸的变化的装置。根据本专利技术的设备的特定实施例提供用于实施上述的方法步骤的装置。本专利技术的第五方面提供一种计算机程序产品，包括包含其中的计算机可读代码，所述计算机可读代码被配置成使得在通过适当的计算机或处理器执行时，计算机或处理器执行以下步骤:确定所制造的喷嘴板中的喷嘴的尺寸相对于预定的尺寸或尺寸范围的变化，已经使用多个心轴来制造喷嘴板中的喷嘴，每个心轴限定喷嘴板中的相应喷嘴；以及确定对多个心轴中的一个或多个心轴的尺寸的修改，以补偿已确定的在喷嘴板中的喷嘴的尺寸的变化。根据本专利技术的计算机程序产品的特定实施例提供被配置为实施该方法步骤和/或控制上述的设备的另外的代码。本专利技术的第六方面提供了一种确定喷嘴板上的喷嘴尺寸的变化的方法，该方法包括:用光照射喷嘴板；检测穿过喷嘴板中的多个喷嘴传输的光；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.04.27 EP 11163885.41.一种提高喷嘴板制造过程的成品率的方法，所述方法包括: 确定喷嘴板中的喷嘴的尺寸相对于所述喷嘴的预定的尺寸或尺寸范围的变化，已经使用多个心轴来制造所述喷嘴板中的喷嘴，每个心轴限定所述喷嘴板中的相应喷嘴；以及 确定对所述多个心轴中的一个或多个心轴的尺寸的修改，以补偿已确定的在所述喷嘴板中的喷嘴的尺寸的变化。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定修改的步骤包括:增大限定具有小于所述预定的尺寸或尺寸范围的尺寸的喷嘴的心轴的尺寸，以及减小限定具有大于所述预定的尺寸或尺寸范围的尺寸的喷嘴的心轴的尺寸。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述确定修改的步骤包括:将增大或减小所述心轴的尺寸的量确定为与所述喷嘴板中的相应喷嘴不同于所述喷嘴的预定的尺寸或尺寸范围的量相对应的量。4.根据权利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，在喷嘴板制造过程中，使用掩模在基板上形成所述心轴，并且所述确定修改的步骤包括:确定对用于形成所述心轴的掩模的修改。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述确定修改的步骤包括确定对所述掩模的与有关心轴相对应的区域的修改。6.根据任一前述权利要求所述的方法，其特征在于，所述确定所述喷嘴板中的喷嘴的尺寸的变化的步骤包括: 用光照射所述喷嘴板； 检测穿过所述喷嘴板中的一个或多个喷嘴传输的光；以及 分析检测到的光以确定所述一个或多个喷嘴的尺寸。7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述检测步骤包括:检测穿过所述喷嘴板中的多个喷嘴传输的光，所述多个喷嘴分布在喷嘴板上，并且 其中所述分析检测到的光的步骤包括:分析针对所述多个喷嘴中的每一个检测的光，以确定在喷嘴板上的多个喷嘴的尺寸的变化。8.根据任一前述权利要求所述的方法，其特征在于，所述方法进一步包括下述步骤: 使用在基板上的多个心轴来制造具有多个喷嘴的喷嘴板，所述多个心轴中的心轴具有在所述确定修改的步骤中确定的尺寸。9.一种制造喷嘴板的方法，所述方法包括: 使用在基板上的多个心...

【专利技术属性】
技术研发人员：P·范德斯路易斯，A·R·M·韦许尔雷恩，A·A·J·奥普特霍赫，J·H·拉莫斯，
申请(专利权)人：皇家飞利浦有限公司，
类型：
国别省市：