【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种等位近距离薄膜沉积生长系统，它包括箱体，箱体上设有炉体，炉体两端设有支撑杆，其特征在于：炉体的下端设有下法兰，下法兰上端通过下加热台支撑架固定连接有下加热台，下加热台上设有载物台，炉体的上端设有上外接法兰，上外接法兰下端通过上加热台支撑架固定连接有上加热台，所述的支撑杆上设有旋转支撑架，该旋转支撑架包括转动连接在支撑杆上的固定座和固定螺栓，该固定座和固定螺栓之间垂直设有导向杆，导向杆上滑动连接一升降杆，升降杆与上外接法兰固定连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：孔令杰，
申请(专利权)人：安徽贝意克设备技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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