【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板清洗装置，其特征在于，包括液体加压罐和气体加压罐，所述液体加压罐和所述气体加压罐均通过管道与泵连通以泵出气液混合物，所述泵连接有喷头；所述液体加压罐出口设置有液体控制阀，所述气体加压罐出口设置有气体控制阀，所述液体控制阀和所述气体控制阀均电连接至控制器；所述控制器用于控制所述液体控制阀从完全打开逐渐变化到完全关闭，同时，控制所述气体控制阀从完全关闭逐渐变化到完全打开，以使所述气液混合物中的气液比例动态变化。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：井杨坤，
申请(专利权)人：合肥京东方光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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