【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种大功率等离子体发生器电源,其特征在于:所述等离子体发生器电源包括直流电源和引弧电源;所述直流电源由N个电源模块和一个监控模块MU组成;所述电源模块均为独立的恒流源,其将三相交流电转换成电压和电流可控的直流电,使得直流电源呈恒流特性;所述N个电源模块的输出作为所述等离子发生器电源的输出;所述电源模块采用数字化双DSP控制、有源PFC、软开关技术,具有宽输入电压范围、宽工作温度范围、高功率密度、高效率、自主均流的特色;所述监控模块分别与N个电源模块和引弧电路相连接,所述电源模块的输出电压、电流和功率均由所述监控模块设置和控制。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:何锡生,陆家珍,
申请(专利权)人:深圳市健网科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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